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[問題求助] poly fuse 的問題

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1#
發表於 2007-7-5 15:27:40 | 顯示全部樓層 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
不知道發這個版對不對...
* _3 Y( b, G" J. K7 S) ]+ y$ O- p( S! R7 ]; ]) v. R) }# W6 z
想請教版上有使用過 poly fuse 的前輩們..
5 G  d- q( N* ]  `一般在 C/P 時要確保 fuse 燒斷的條件是如何?? 小弟目前有個產品使用 0.35um process 生產, ( ]3 l. x5 `8 m1 Y5 F4 [
poly fuse 區域 W=0.4um, L=0.8um, trim 的條件為 5.5V, 限流 150mA, 持續 70ms, 不過ㄧ個
9 t+ w2 P1 ]" Y" g- Dlot 生產下來仍有 2% 到 8% 不等的失敗比率 (從 log 看起來是沒有完全燒斷)...2 E7 T  r8 u1 W

0 w5 A9 k! r1 e. b( H; g目前沒有什麼方向...不知道該怎麼解決說...
8 f4 H+ d; B. z2 t. E1 A3 E# z$ L2 s1 ~/ Y8 O) E6 h4 n
先感謝前輩們的分享... L, M3 K  V: Q6 k; a
/ ^3 j( G/ A- z! h
以下是 Fuse & Trim 的相關討論:' |4 D& s. S5 F: s
e-fuse?  3 m8 h- S! T' D" C3 w3 ?8 s
poly fuse 大約多少能量便可以燒斷? - J. [2 o* ^- t" J; E/ G, |' k2 h' R
如何判断poly fuse 已经blown  9 y" Q) s  h1 b' V$ ?1 x
有關poly FUSE的不錯paper給大家參考  - l! W* T' K- y0 _! z" A* i
Laser Trim
( H5 `9 \0 p5 _, M0 W9 D9 i0 m做完laser trim後內部的電路被打傷的情況嗎?  
2 h& I: J6 r6 i/ V, l% `5 LTrimming method?   3 C' I8 Q" `# G8 e2 U  ?
Current Sensing Resistor Trimming!!   ; e* B5 O2 N, I8 r
请教做laser trim的注意事项  
' b9 X+ K! y, n, y  Z  p9 Q* {Current trimming 要如何做呢?  
1 Y5 q+ _( ?+ U7 |0 W. v& w. `5 p

& K! A! ?+ C0 e+ F1 a  ~( q' f

2 V8 `* @% y6 B! ?1 J7 h) ]& O! W4 c; P
[ 本帖最後由 sjhor 於 2009-3-17 06:39 PM 編輯 ]

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monkeybad + 3 Good question!

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2#
 樓主| 發表於 2007-7-10 21:55:34 | 顯示全部樓層
嗯..感謝兩位大大的經驗分享... C5 c' V2 s" n( J

' x) G: G8 R. \: ?9 F( m4 G關於 ssejack1 大的建議, 從過往的 WAT 來看這個製程 3V MOS gate oxide 的 break down 電壓大約都在 8V 上下, 雖然 WAT 的 spec low 是只有 6V 啦 (foundry 的 spec 都訂得超級寬...)
; Z- l. {+ L0 X! G. B3 y3 B$ C5 X% o/ B$ I8 t: n
不過應該還是 ok, 所以我們已經修改測試程式提高 trimming 的 stress, 這幾天應該就會試試看...
  Z) Y6 A' m6 N. a  K' b  [! s* ]- w* G. q0 E) W, i
另外關於 kkk000777 大的經驗, 有個可以分享的是, 我們之前針對沒有燒斷的 die 去做 PFA, 剝到 poly 那層發現就像大大說的一樣, 燒的時候是有熔斷, 不過又"流"回去了 (foundry 的說法) 就又 short 了, 而第一次沒斷要再燒就很難斷了 (應是因為阻抗變大, 同樣外加電壓下的電流就又更小了)...
! ^" \. r: I' f- W: ?) N
1 |* W$ p, E" V不過 foundry 的人說, 我們的 poly fuse 被 power ring 蓋住, 是造成 poly 燒完又搭回去的主因, 建議改光罩, 關於這點不知各位看法如何? 我是覺得不太能說服我, 就算我上面沒有 metal 蓋住, 也是有其他的 field oxide 以及 passivation 蓋住, 應該也有一樣的問題不是嗎??/ s5 }4 a, }/ U5 B# \; P1 Y

3 S' h; O2 I2 a8 |/ ?另外我再衍生兩個問題 (我問題真多.. )
% P5 i- Q, d7 ^7 E* P1st. poly fuse 與 metal fuse 有孰優孰劣 (可靠度) 的分別嗎?? 上次有個 foundry 的人跟我們說, poly fuse 的良率是很低的..(??) 因為我們使用這個東西的經驗並不是很多, 一開始就是用 poly fuse..目前有新產品在進行, 應該也會放入 trimming 的機制, 想了解一下業界在使用 fuse 上的一些習慣..6 z$ x* n* G  P% p+ S4 o8 a0 Y
: j& U0 M5 A+ x/ m6 p
2nd. metal fuse 除了面積較大外, 因為他燒斷時是"爆開"的, 會不會有 short 到另外的 pad 的問題?? 還有就是大大提到的水氣, 是否要考慮 package 品質導致日久也是會有水氣跑進去導致 short 造成的一些誤動作??  假如終端應用上是單價較高或環境較嚴苛的產品, 需不需要考慮這個問題??

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mt7344 + 3 大大感謝啦!
sjhor + 2 感謝經驗分享!
chip123 + 3 不怕問題多!怕的是沒人討論?論壇吶!

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3#
 樓主| 發表於 2007-8-3 14:12:36 | 顯示全部樓層
原帖由 kkk000777 於 2007-7-12 08:40 PM 發表
3 X# g, V' T+ ]4.其實我看過atmel ir demodulator fuse 的做法,提出來僅供參考
) V3 ]" K5 F. ~( |$ R& [2 b   它也是使用metal fuse ,也有開window ,但是.......
" P+ G- I# k) y. R   它是pad direct driver , 居然把fuse pad 擺到切割道上,還比一般的: E3 _& J- K8 ^, J7 x, E$ X, {# x
   pad (90X90)還小,(70X70)啦,(測試針頭可以容許較小的誤差),
) `  X, e& y+ l" I$ _' V* }   面積當然省啦.....
9 C7 A# r2 K3 L- r   由於不會受限於buffer ,所以metal fuse 阻抗可以大一點,就是可以# i+ I- m! F* B1 w6 t, a$ \; E
   長一點啦,yield 當然好啊 ,像我們跟fab. 沒有那麼深厚的交情,不給$ v7 d/ e" I" D! _4 n( u$ Q
   我們這樣做, 真是差很多說.......可以試著凹凹看...& U" b4 w8 k' D  ?7 ]( \# E, S

& W4 M/ r3 D9 @6 j6 i; T& I! K' w7 d4 P  \# r9 i+ V
看到 kk 大的回應才想到好像之前忘記聽誰提到過有這樣的 "偷雞" 法...
$ ?$ s$ X; T8 p- a# L嗯...如果是這樣確實可以節省很多面積, 用 metal fuse 的話也不用擔心
+ k) H# Q( l% }水氣累積的問題 (D/S 後 trim pad 都被切掉了..)
+ U2 C" M( c/ O1 N2 T- L- h, j# d: `
不過 ATMEL 應該有他們自己的 foundry, 自己想怎麼搞都行...
/ E) v' a2 ]' y; c+ ~手邊正好有個新 project 在進行, 看來是考驗我們跟 foundry 交情的時候了...( G7 E3 K) o6 P* @+ ]6 q: [
呵呵...
+ t* U- Z" o- x0 M
+ q8 A0 y" x" Z0 O" W8 C2 U順便 update 一下情報, 後來我把 trimming stress 提高後 trim fail 的數目- H  A, ]4 K4 ^! B
就減少許多了, 不過因為只測了一兩批, 這個部份還會持續 monitor...
4#
 樓主| 發表於 2007-8-17 18:04:56 | 顯示全部樓層
原帖由 wpwang 於 2007-8-10 11:51 AM 發表 , m: f% i2 a7 \( [
請問 各位高手 ! j' N" V' A4 u- \0 a8 i
   是否有人試過 trimming pad 與正常pad 共用?  方法是什麼? 有哪一下注意事項?7 Q* r# a( J7 x( K! z* }0 Q7 J
謝謝
" i$ E2 s1 }/ h/ }# C9 @% q  K
9 J6 T9 {; T* `- w
您的共用是指用一般的 I/O Pad 來當成 trimming pad 嗎?? 還是說一個 pad 可以跑信號
" d; l, f' P8 v+ M6 M4 o又可以用來 trim fuse??
* b" C+ |9 ]/ T4 S( v8 N3 u2 {9 [/ _+ h; |) [/ G
如果是後者應該是不行的吧....  @# _- W! G7 T& t+ b( c- c
如果是前者應該也是不行, 因為一般 I/O pad 上會有 ESD 電阻, 會限制你 trimming 時的
" Y; y* `" L. `3 U電流, 所以一般大概都是另外畫一個 pad 給 trim 的 function 用...
, k8 ~, z2 ?% H5 D- b% f% K& i$ j# L" j5 S! S0 w8 j1 p
不知道是否有回答您的問題.......

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wpwang + 4 學到不少!

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