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[問題求助] λ -base esign rules中有些規則不懂 想請教謝謝^^

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1#
發表於 2007-6-11 12:57:51 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
小妹我從唐經洲的書上看到其介紹!7 [6 S5 ~# c# ^7 s- A; x
而首先Mead&Conway只是提出λ基礎設計規則作者吧?' ]8 l: g' L  i- w) b
接著是書上寫的名詞規則有些不是很了解 ,在此提出麻煩大大們 提供意見謝謝^^
! S: }2 ~5 t( e, O------------------------------------9 n; ]6 E  r4 r( N, V+ }
規則/說明" J# n* C( Y- @
Epd>=2λ  :閘poly需超過diffusion的最小長度。若不超過話,在diffusion  or  Implant  source/drain時,將使source/drain因為
# Z9 Z5 c% M5 T- v4 {1 {/ s; |                 diffusion overlap而短路。% h4 p0 S2 Y/ L% G# j2 T
------------------------------------9 ]) c+ o! B1 s) `8 k, N7 E+ w! r
關於diffusion overlap 這點 不懂diffusion為何會部份重疊而短路? 因為畫layout view時 畫棵mos不就先畫好diffusion後再畫poly閘極等,但diffusion已畫好了 那來的第2個diffusion來讓它部份重疊而短路呢?  還是說poly畫上 形成了s及d的diffusion 而poly未超過diffusion的最小長度將使這2區的diffsion短路呢?' ^- d2 v5 g3 Z4 w; z  Z1 t
-------------------------------------
3 d9 G! F+ q: X) H9 w/ H名詞定義:
1 ~4 Q0 T. j( mi:implantation region  7 A7 B& i5 t6 U: m; @
implantation region  這是畫mos有 畫到嗎? 這是什麼東西?implantation好像指摻雜區吧?
, _5 B  K; M  b. R3 I. h9 A* {" ~-------------------------------------
* C' m! @% L2 z+ b; ]' p0 `9 {$ \Emc>=1λ:contact hole 和包覆著洞外面的metal區的最小寬度  d! |. @/ N8 @9 E) n" B
------------------------------------/ }& b6 A- K) w+ _/ P% I" A5 S, h
上述規則是不是指包覆著洞外面的metal區從contact往外延伸的最小寬度呢?
$ C/ _' b' L$ w; }8 b: L4 m------------------------------------
8 N5 n: P# `, s7 c. M& d" K$ F- POpd=1λ:poly與diffusion對接成接觸的重疊寬度。通常poly與diffusion均作成4λ寬,兩者重疊1λ的寬度,在兩者之間開一個2λ寬、4λ長的
! ^% e$ R0 s( l: y( B              contact hole置於中間,而覆蓋於其上的metal為4λ寬、6λ長的metal。% X2 V/ h& I/ N
-----------------------------------
4 t# X1 A/ i5 p9 w+ @( w上述規則介紹poly、diffusion、contact hole、metal的尺吋,但是業界每間公司都是用Mead&Conway提出λ基礎設計規則嗎?0 f2 P9 R3 C- N! s
還有我是使用calibre驗証軟體,我曾開啟drc  command file來看 有看過這些規則如wd>=2λ  ,sdd>=3λ ,wp>=2λ等等,只是每間公司desing rule要求的線性尺吋λ的大小 應該與Mead&Conway提出λ基礎設計規則不同大小吧?
  K$ Z. M% L3 y, \# P, c5 d( y---------------------------------, g; \1 [- v# k: H  c; C
還有我跑drc 出現的錯誤訊息看不懂,但訊息中有出現這些規則如wd>=2λ 等之類的訊息,於是我去開啟drc command file內容想看看裡面的設計規則,而我不會寫command file 所以也看不懂別人寫的內容,但是跑drc時除錯的錯誤訊息的內容 不都是撰寫drc command file時寫好各物質之間的距離、寬度 及不符合規則時要出現的錯誤文字訊息嗎?3 \4 K  I- ?4 D+ r* B1 {/ ]1 t5 O  f
所以我只要看的懂command file就能知drc的所有規則吧?+ \6 a2 `2 H* @6 O- q/ [
簡單的就是問 如何看懂command file? 看的懂的話 那我跑drc、lvs時 的錯誤訊息 我就能清楚了解是那裡的錯誤 ,讓我方便很快的除錯。
8 e3 B5 \5 ]+ q是有書還是網站有介紹嗎?
( \+ ~  P7 S5 H! g2 X--------------------------------------9 E: _% W" w( U7 G
Eig>=1.5λ :implantation區需超出閘poly的最小長度。
- H4 k0 }$ c, @3 K% d--------------------------------------
2 p, m# Y: {7 S上述規則的 implantation區 我沒看過 ,到底是什麼?
( J( o& Q* q; A
$ `7 G+ h) }: ?: H
: L* ~5 c$ m1 l: V0 N4 r8 n8 o6 B5 a& j) }, i) X
麻煩大大們有空 協助解決小妹的問題  3q  ^^. z8 S) M: B4 V4 D2 Z) @9 s4 ^
  z3 y& Y2 _3 C$ M$ ~- [
[ 本帖最後由 君婷 於 2007-6-11 01:08 PM 編輯 ]
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2#
 樓主| 發表於 2007-6-11 21:18:27 | 只看該作者
還有一堆規局雖然寫各材質間的距離、寬度為多少λ?  但是λ只是個參數用以表示物質的線性大小,所以這與畫layout view時有關嗎?  因為畫layout時 不是都必須符合drc command file裡所設定的規則,否則跑drc就不會過了。
3 c. Q3 G3 m7 m/ {+ y1 @( k' ?& |那麼書上的這些規則 在應用的實作上 到底是用在那阿?
* z# t; o4 ^# J: {希望有大大 願意回答小妹我那麼多的問題,因為才7個人看過我的文章 @@ 感恩><
3#
發表於 2007-6-11 23:16:13 | 只看該作者
λ -base 這是一個示意的 Design Rule, 也就是差不多的 rule, 相當的不經精確, 但是好備好記!" N/ F  u3 g; Y5 k
所以  RULE 就不需要被太多了!!
4#
發表於 2007-6-12 03:55:37 | 只看該作者
我不知道各家公司是如何運用λ參數來撰寫design rule
8 k: }  r8 s/ m3 r) U不過,我以前待過的公司是不寫λ參數的,因為,那是學術理論教學用的,它是讓你有一個概念知道各個參數的定義值是以那個作為標準! B) M3 x& I& j! U9 T
但,在實際情況裡,我們是直接用design rule來看待layout rule與command file
; @# S  @8 l# f$ ]1 d& R; j所以,只要照著design rule上面的定義來畫layout,就不會有問題
2 [, Q6 G9 s1 u) y而LVS,DRC,ERC等check都是依據design rule來定的,所以,有任何的錯誤訊息出現,都是因為layout上有某些地方違返了design rule4 C* z8 V' P8 {! E: V8 O
所以,清楚且了解design rule上面的描述,對於在除錯會有很大的幫助
1 T) Q, O: r8 k; d% A+ Y7 y& |最後,design rule上面會有圖示標出各個rule的值的定義方式,當你遇到錯誤訊息時,首先先判讀錯誤的地方是在那裡,然後翻design rule看看裡面的rule值為何
5#
 樓主| 發表於 2007-6-12 06:40:52 | 只看該作者
謝謝2位大大的答覆,請問λ -base上定義許多規則分別多少λ  只是為了讓你看懂這名詞所代表那裡不符合design rule的意思嗎?
- q' |7 U2 `* a, w2 v而design rule定義的內容不是都在DRC,LVS,ERC的command file並且在裡面也定義了 若跑這3樣3 b. ]  i/ V7 t7 k4 m$ ]
check時 若有違反design rule 將出現什麼錯誤訊息,我的確主要目的是 想問 怎看定義>< 才方便除錯,請問關於design rule內定義的規則和錯誤訊息 的撰寫 都是固定語法嗎?還是有相關資訊有教你怎看這間公司design rule定義的內容? 像我作DRC  check都是直接看layout view上圖示標示那裡違反規則 再從錯誤訊息中看其要求所規定的最小長度或寬度,但我錯誤訊息只看的懂上面寫的數字其它都不懂,而作LVS check時 因為design rule定義更不了解 ,而跑LVS時除錯時 沒像DRC還有在layout view有圖示 直接清楚告訴你就是那裡錯誤要修改 所以 小妹我才請教是否有相關資訊教你怎看design rule定義的內容   ^^! I2 k' @- j# b" I
同時也謝謝2位的答覆   感恩^^

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6#
發表於 2007-6-12 21:13:14 | 只看該作者
我回答一下有關於LVS check& v) F& [& R* p3 S9 q
LVS check是檢查電路與layout兩者的差異& i5 K3 }7 {( l0 i0 k! f
如一: 電路中有一NMOS,W=5.05um,L=0.88um,而你在layout上故意畫個畫了一個NMOS,W=5.04um,L=0.88um,讓W少了0.01um,所以你在作LVS check時,就會出現電路和layout的size不符的錯誤訊息. h. o& t% h' G- I: [. J+ Y6 Y( f
如二:原本電路上有一條線是要接到vdd,但你在layout上卻把它接到gnd,故而在作LVS check時也會出現電路和layout不符的錯誤訊息9 U0 n8 k- t3 Q( R
因為layout是要畫出電路上的元件與各個接點接法,一旦layout並沒有完全畫出電路該有的接法與元件大小,那在作LVS check時就會出現錯誤訊息& P4 ~9 _8 k: E6 z# C0 g# r' ^
/ I: a& }! L1 [) e* ?2 G
所以,在畫layout時,一般的作法都是先畫一個小電路,然後作LVS check,確保小電路的LVS沒問題,然後再繼續畫其他的小電路  B4 P9 J  E/ a, o: Y
如此一來,在作整個大電路的LVS check時,比較不會出現找不到LVS錯誤的地方在那3 n8 Q1 B$ X6 `) R
當然.這是經驗談8 I& ?3 S8 q  ~8 u6 m8 C! _. ^2 n
試想一下,你要在50個元件的layout中找出一個LVS error,和如果你要在100個元件中的layout中要找出一個LVS error,那一個比較容易些: A* N3 M7 u1 [# m. b" G2 {
所以,一個很大的電路layout,通常LVS check會切割成好幾個小電路的LVS check,等到每個小電路的LVS都過了之後,再作完整電路的LVS check

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7#
 樓主| 發表於 2007-6-12 21:57:39 | 只看該作者
喔喔^^想請問一下您的業界經驗,因為畫的是vlsi 具有1000個邏輯閘、1000~1萬個元件,如此超大的電路畫layout view一定畫死人><7 ]! H1 U: D4 X" I2 {/ K" O, C
是不是習慣上 先建好各基本邏輯閘和電子元件的schematic,symbol,layout view,然後作到DRC,LVS check就好 並存在library,當要開始畫設計工程師交給你的schematic為其建layout view時 才叫出已建好的邏輯閘 來方便畫?
0 g3 K( j. D5 Q7 i* j# A而事先建好的電子元件和邏輯閘作到DRC,LVS check就可以了?
# V4 c  X# p( _0 M4 L' A我的想法大略只有這樣畫vlsi電路才較快 不然會畫死人 不知畫到民國幾年@@
% s' E- w: [4 M4 D# f& m還有公司裡的cell library裡應該有先前的layout engineer早先建好的元件才對吧?
% o2 [6 i5 [4 I9 T4 ~5 ^8 O' U- k% g: q. \
[ 本帖最後由 君婷 於 2007-6-12 09:58 PM 編輯 ]
8#
發表於 2007-6-12 22:42:20 | 只看該作者
現在的 logic circuit 很少用人畫了說!!5 g0 z; v' a" p1 R9 o3 o1 Y/ E
現階段  都是用 APR 比較多!!!  而且 foundry 廠都會提供 cell library!
9 N2 `: J& _8 l# Z! G+ Y% a當然也有可能提供 MACRO cell 供 design hourse 使用!' O5 G1 x  S9 |
0.35um  以上的製程,才有可能自己建 cell library!!
9 n% s- `9 K+ N/ N5 q" R. p: o9 B" E0 S+ h1 A8 N/ }) H
現在的數位 designer 也很少自建 schematic entry!
( c0 ?- N& X4 g/ m! q2 {都是用 Verylog-L ........ 等等 tools, simulation, 合成, APR, .........
9#
 樓主| 發表於 2007-6-12 23:29:06 | 只看該作者
很多公司仍用0.35um以上的製程嗎?因為我學的正好是0.35的,而您介紹的verylog等tools應該是屬semi custom中分類在programmable device這一類 的tools 如FPGA、PLC等這些IC設計軟體且會自動幫你佈局拉線  設計者只要會寫程式就好 是吧^^
10#
發表於 2007-6-13 01:20:53 | 只看該作者
CIC 現在.35以下歸類為先進製程(真的有先進嘛= =?),反正差不多,不過數位的很少自己畫吧?都是直接auto placement吧?  P5 D  `( q- b7 V) W; f* b
% I1 x& k4 q& e5 A4 ^( c- ]9 T
λ -base只是比較適用於製程的轉換,規範不同的λ,所以rule之間的關係沒變,只要改變λ就可以。現在還有人在上這個嘛....( \7 @& C. i4 H6 ~

& C9 R% V# H5 a; h還有類比跟數位那差很多的方式...妳如果要用verylog那就是tool要熟,不需要來看layout....也不用在電路元件上探討...當然是指基本的數位的,如果是特殊的比如memory那令當別論。反正就是verlog寫一寫然後轉一轉,只要跑個看有沒有timing不吻合的問題然後他就自己幫你弄到差不多了,沒人在那邊一條一條畫的。8 Y! V5 y1 S& b% f" j1 ]
1 O# \/ w- L' v( ~: K0 z3 d1 k
妳是不是搞混了數位跟類比.....這差很多捏...主要探討的項目也不太相同,數位著重在一件事情:right go the right thing!
" m- b! s( S1 `% \# k+ Y. u如果是VLSI那要看教學的人,我看大部分都偏數位,少部分偏類比。數位你只要不要弄到meta上面去,隨便弄不要太離譜都不會有什麼大問題,所以才可以使用這種自動佈線的方式。類比的那個可能WL差一些特性天差地遠,才會特別專注在layout跟元件上面的探討。數位的差一點反正我只要0跟1,準位差點那沒差別。我看數位好像都是套裝好的。你要memory就寫一寫他就生出一塊,然後就貼一貼拼個圖上去,然後要什麼就用tool弄一弄,貼一貼兜一兜,大該這樣就差不多了,這樣才能做的很大又很快。慢慢用手拉不僅沒意義(功能又沒比較好 做心酸)而且又浪費時間(時間=產品上市日期=金錢=公司生存率)。

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11#
發表於 2007-7-13 13:58:59 | 只看該作者

回復 #1 君婷 的帖子

關於你的問題:
3 X) v7 l% O/ Z# J# D: PEpd>=2λ:閘poly需超過diffusion的最小長度。若不超過話,在diffusion  or  Implant  source/drain時,將使source/drain因為diffusion overlap而短路。+ K4 ^- o/ O. Z1 l7 ^) ~5 u

9 E" z5 v5 E% i其實是多慮了,這只是特殊情況,沒有人會犯這種錯
+ X7 w) C6 U( U( i2 T8 Y我們在畫MOS的時候不是會把poly覆蓋在diffusion上嗎?: R4 ~# J9 U. V! N
其中的兩邊就是source跟drain,$ o: s: L$ {5 \9 j* l
而poly跟diffusion覆蓋的區域就是gate6 L- O6 l$ U, m2 O  H* A, b
這是無庸置疑的嘛~
+ Q0 N; Y& J0 e+ ]5 P- ?6 P# PMOS一般的digital操作我們知道就是在gate上施加電壓以使其導通或截止; b8 w) }" f, @
書上寫的意思是說poly我們都會使它超過diffusion,' r, ^$ N$ a2 a" c9 U3 s
而超過多少則有design rule規範2 P" G5 f( |, g
如果今天poly的某一端沒有超過deffusion,
, g* U, ^2 C) W也就是說poly並沒有整個把兩塊diffusion區隔開來# i5 w5 @1 ?4 ?8 L1 f0 ?+ M0 i7 D: }
這樣的話就沒有形成source跟drain" H" X7 M7 u' ~
也就不算是一顆MOS,
9 p- B% a0 A- E3 F$ }5 l; Q所以書上才會說兩端短路,是因為根本沒有區隔出source跟drain
0 N$ Q/ K7 l2 n2 s, f
5 C" h; y5 f0 U3 f( c而λ只是一個單位符號,看看就好,! ]2 b: S5 m5 r+ T7 N) `
他只是為了要讓看書的人大概知道幾λ幾λ,
- H! ]/ ?) |4 L, f這個rule跟那個rule大概的比值是多少,
  B) V2 \( q1 {6 W: r所以不用太在意,畢竟每個process的rule都不一樣
( r6 N4 H/ y1 Q所以書上為了不想表示成一個定值- ?! G. C- p1 O2 D2 s  X- E
就用λ來表示,意思相信也是希望讀者不要認為它是個絕對的值
* a6 E7 H& B- ?' e* `# k: Q% V6 @  w; O" g+ {. U
從您的發問可以看出來您是位剛入門的同事
; f# G4 c/ }- T1 e$ w因此建議您書上的看看就好,design rule比較重要!
& T6 A; @& g: X! ]5 X" C, U, l8 f8 M! a8 ?
小弟的淺見!
, [% Q  s) y7 h% w; e7 A+ m3 d如果有不對的地方還請指教~
, S0 m; t5 [  f
' s1 }9 t6 ?) U6 Z# o. j[ 本帖最後由 vlsi5575 於 2007-7-13 02:06 PM 編輯 ]

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12#
 樓主| 發表於 2007-10-22 23:38:53 | 只看該作者
使用cadence tools學習至今 發生了一個很大的問題 即LVS的除錯訊息根本幾乎不太明白其所表達的意思,無法直接從訊息中直接了解 就是指電路那裡節點有誤。# y- o) h' j# T* b3 c
LVS的除錯訊息有教學網站嗎?因為小妹認為除錯花最多時間的地方乃在於LVS 而DRC本身就會顯示那裡的佈局不符合規局,所以小妹現在為了LVS的除錯能力很頭疼。, N4 l( {* d$ G; A( H2 W) ^
對於finster  副版主所提的LVS看法....
* |( ~8 a. y: [1 W小妹覺得將netlist與layout作 LVS比對時,netlist因為之前跑過pri-sim所以netlist本身一定正確,LVS有錯誤訊息 一定是Layout部份有畫錯。
* m8 ]9 c8 z  R* ~' [  W) f0 l6 V假設layout的晶體寬度與電路的寬度不同 所出現的錯誤訊息 應該是表示電路寬度與layout不符吧?% }6 ]$ W, U9 x  v7 ~
而不是表示layout與電路寬度不符吧?
7 F2 V1 m. X" ^, O不知小妹對LVS的想法是否正確? layout錯了 但除錯訊息卻都是表示netlist與layout不符 讓初學者以為是netlist錯了?( J9 k9 o* c3 y1 ]4 u
麻煩大大們提供LVS除錯經驗及是否有教學資訊     謝謝唷^^
13#
發表於 2007-10-23 13:01:16 | 只看該作者
不知您是使用哪一套軟體去跑LVS
, H, s& E4 t1 l# @& z% X5 Ldracula還是calibre
6 n  @% ~& B, E! p. Y" W8 w4 m一般來說circuit轉出來的netlist file很少會有錯的1 Y& Q0 }) H: k& b! S; L
您說的layout mos width 跟netlist 的不符9 q6 R  U0 a! P5 Q" c3 C
這不就是代表您所lay的mos有錯嗎?!
- x, l. Q$ U0 E3 P' b$ R怎會想去netlist錯了 = =& c5 y4 P$ G8 H& p3 t" C7 M! ^' M
總覺得您把LVS report所要表達的意思給誤解了' S6 U. h% x, z& u# n
LVS除錯大多數都是靠經驗累積的
9 g& Q1 Z* }& [2 m  D$ p' `, O而初學者大多靠前輩帶著做學習debug的能力, N+ T1 Z+ e" |: k
倒是沒聽過有教學資訊) f, B- _+ S4 }2 O3 A8 ]3 n
或許改天請版主開個專門把LVS驗證出現的問題3 x. D) q/ B; v' r
集中在一起的版好了 ^O^
14#
 樓主| 發表於 2007-10-23 15:18:49 | 只看該作者
抱歉 我所用的是calibre   2 b8 B7 S- d3 B/ H, j' J
對於除錯訊息心裡的確認為不符部份 絕不會指netlist部份有誤,除非是後來schematic被修改過而忘了重轉一次netlist。1 T' e( _" d; `+ N/ |' j
假設layout檢查出有17個net s和netlist 有16個nets) w6 |* u6 {8 ]! w. X' a
就表示可能layout有某處開路 難到不會有可能是短路嗎?
' b; l; ~  R9 `& v" k9 M/ d/ x% v) Y" s' d
假設layout檢查出有16個net s和netlist 有17個nets
( ~8 e3 `" e  h表示可能layout有某處短路 難到不會有可能是開路嗎?1 W3 S8 \) @0 P8 u
9 E1 ^$ O$ A' O" v
想請教calibre有沒很直接的指明就是layout處那裡開路或短路以及很清楚的說明就是那個一個點?      謝謝唷><+ N, i5 \* k: {( f' d6 ~6 C

( ~. r/ B9 m1 w8 r, U小妹還想請教一下關於節點node在spice的定義,node指輸入端或輸出端的端點及2接腳以上連接在同一個點都算node吧...
  a3 P" A  L- _, P* d' q. S5 Q所以若2元件中有2接腳本來是連線在一起(只有一個node),若開路了 則在開路的2端也各算1個node於是變成2個node嗎? 謝謝
5 g: C0 t0 h& U' C5 P- z- P$ C3 n' ]% K
[ 本帖最後由 君婷 於 2007-10-23 03:40 PM 編輯 ]
15#
發表於 2007-10-23 19:28:12 | 只看該作者
假設layout檢查出有16個net s和netlist 有17個nets
) X" z+ f4 f, D5 V1 m# I表示可能layout有某處短路 難到不會有可能是開路嗎?6 Z1 E/ M+ k; y$ j9 D
Ans: 是的....不可能是open.....如果是open的話  b4 r- C* u" b5 [7 j
         layout會多出一條net+ O+ \( n$ r: ]% n0 F+ O
ㄟ....不知道小妹您有沒有開啟RVE
7 b" e+ |+ r$ y) p# B0 l一般來說用RVE LVS來debug應該會很容易找到錯
, n, p% c8 N! B除了power&ground的short比較難找之外* u- M2 [8 H! a- J. w
照理說應不難除錯唷 ^^
16#
發表於 2007-10-24 11:17:46 | 只看該作者
有些問題必須從半導體製程去解釋,比方說,9 l7 Y8 k' H" r, L% J( I7 [, {
=====================================================
1 u2 w/ L; w) U% NEpd>=2λ  :閘poly需超過diffusion的最小長度。若不超過話,在diffusion  or  Implant  source/drain時,將使source/drain因為- \2 S8 x. f  o; Q! l( D7 m
                 diffusion overlap而短路。
% d) m3 g9 ]& s9 F# o=====================================================1 \9 z0 V' w: L9 ?, x/ O
上述應該指的是endcap,如果layout上的poly是突出diff的,實際上製程廠做出來的型狀,是會往後縮,並且尾! ?9 G3 n( c0 L
端呈圓弧狀,為了避免poly縮進diff中,而造成s跟d導通,所設定的rule.
  ?" s8 I" N& F# d& @. C當然有些比較特殊的mos不在此限,比如說可變電容之類.
' T& n1 R' ^7 y- Y0 N3 Z9 z妳把poly也就是gate當成一個控制s跟d的開關,也就不難理解了,妳後面所說的diff短路應該是指這個吧.
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