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[問題求助] λ -base esign rules中有些規則不懂 想請教謝謝^^

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1#
發表於 2007-6-11 12:57:51 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
小妹我從唐經洲的書上看到其介紹!- d: E3 R2 j2 F+ d. h1 c
而首先Mead&Conway只是提出λ基礎設計規則作者吧?
: n: L3 D9 h# u接著是書上寫的名詞規則有些不是很了解 ,在此提出麻煩大大們 提供意見謝謝^^2 V! Q: C% Q3 r6 l( q/ i
------------------------------------
) L* i) B* M* D0 d" p! S8 t規則/說明
0 \  Y. `; e; k+ @6 c' [5 LEpd>=2λ  :閘poly需超過diffusion的最小長度。若不超過話,在diffusion  or  Implant  source/drain時,將使source/drain因為6 M. L: k! |, u  \1 m
                 diffusion overlap而短路。4 i4 ]7 L, P' P7 }
------------------------------------" K+ X6 N( ^5 A$ l; K$ T4 n
關於diffusion overlap 這點 不懂diffusion為何會部份重疊而短路? 因為畫layout view時 畫棵mos不就先畫好diffusion後再畫poly閘極等,但diffusion已畫好了 那來的第2個diffusion來讓它部份重疊而短路呢?  還是說poly畫上 形成了s及d的diffusion 而poly未超過diffusion的最小長度將使這2區的diffsion短路呢?& B  q2 c" y) H4 t  h7 J& ~/ r2 p
-------------------------------------
4 j, H5 m; u/ _, [名詞定義:
; n: n. [0 W9 `6 h- d6 P7 X. Hi:implantation region  3 G+ u3 T; ?2 r2 R
implantation region  這是畫mos有 畫到嗎? 這是什麼東西?implantation好像指摻雜區吧?
- ]9 f/ m8 U4 l6 P3 a-------------------------------------5 d( W) P9 x* o5 M& G
Emc>=1λ:contact hole 和包覆著洞外面的metal區的最小寬度/ z2 ?! f6 F  q( L: Q5 i9 p
------------------------------------# |. [+ c* l% O  U) I& X
上述規則是不是指包覆著洞外面的metal區從contact往外延伸的最小寬度呢?5 y. L* m* S1 \$ ~" ~3 [
------------------------------------8 o7 g* G, b. _9 t& S+ K
Opd=1λ:poly與diffusion對接成接觸的重疊寬度。通常poly與diffusion均作成4λ寬,兩者重疊1λ的寬度,在兩者之間開一個2λ寬、4λ長的
5 D! P, O" W6 r- v              contact hole置於中間,而覆蓋於其上的metal為4λ寬、6λ長的metal。
0 P: S2 a9 m0 X1 _& [" G/ a9 K-----------------------------------: w: y$ e; G: B6 O
上述規則介紹poly、diffusion、contact hole、metal的尺吋,但是業界每間公司都是用Mead&Conway提出λ基礎設計規則嗎?
$ l2 l& i" }# E/ S3 s8 a& k還有我是使用calibre驗証軟體,我曾開啟drc  command file來看 有看過這些規則如wd>=2λ  ,sdd>=3λ ,wp>=2λ等等,只是每間公司desing rule要求的線性尺吋λ的大小 應該與Mead&Conway提出λ基礎設計規則不同大小吧?5 E. s- p$ B$ n
---------------------------------
/ F  D# |; A. U3 D$ M還有我跑drc 出現的錯誤訊息看不懂,但訊息中有出現這些規則如wd>=2λ 等之類的訊息,於是我去開啟drc command file內容想看看裡面的設計規則,而我不會寫command file 所以也看不懂別人寫的內容,但是跑drc時除錯的錯誤訊息的內容 不都是撰寫drc command file時寫好各物質之間的距離、寬度 及不符合規則時要出現的錯誤文字訊息嗎?( C) k4 ~. S2 V' k+ M
所以我只要看的懂command file就能知drc的所有規則吧?8 u' a& z) G$ ]3 Z' G* |, K
簡單的就是問 如何看懂command file? 看的懂的話 那我跑drc、lvs時 的錯誤訊息 我就能清楚了解是那裡的錯誤 ,讓我方便很快的除錯。
  F9 ~/ Y( h2 s是有書還是網站有介紹嗎?# N6 c8 i& e8 N: n0 f
--------------------------------------. i) [( R, l1 C- h! k( n# M
Eig>=1.5λ :implantation區需超出閘poly的最小長度。
6 P2 [9 L% @& z: w* ]. {--------------------------------------5 K% d) T& i( i7 I" Z3 H
上述規則的 implantation區 我沒看過 ,到底是什麼?2 P9 h/ N, u) t* \
0 A6 ?  G. ^' d3 T

  E: Q3 q# v9 ~  D. Z2 _
7 i6 ]; @% F# \( j) Y" h" H麻煩大大們有空 協助解決小妹的問題  3q  ^^
1 t# V( q$ _1 S8 b1 B/ ]
! Q4 y# o. m& w- s: n9 b[ 本帖最後由 君婷 於 2007-6-11 01:08 PM 編輯 ]
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2#
 樓主| 發表於 2007-6-11 21:18:27 | 只看該作者
還有一堆規局雖然寫各材質間的距離、寬度為多少λ?  但是λ只是個參數用以表示物質的線性大小,所以這與畫layout view時有關嗎?  因為畫layout時 不是都必須符合drc command file裡所設定的規則,否則跑drc就不會過了。% o$ K4 d" J4 B- R, F$ |2 b
那麼書上的這些規則 在應用的實作上 到底是用在那阿?
# p& j2 g$ c8 ?+ b' J8 Q+ _希望有大大 願意回答小妹我那麼多的問題,因為才7個人看過我的文章 @@ 感恩><
3#
發表於 2007-6-11 23:16:13 | 只看該作者
λ -base 這是一個示意的 Design Rule, 也就是差不多的 rule, 相當的不經精確, 但是好備好記!
* [: z3 G* g" z# z4 u# d所以  RULE 就不需要被太多了!!
4#
發表於 2007-6-12 03:55:37 | 只看該作者
我不知道各家公司是如何運用λ參數來撰寫design rule
5 i9 j, ~4 w3 |0 C2 t6 C不過,我以前待過的公司是不寫λ參數的,因為,那是學術理論教學用的,它是讓你有一個概念知道各個參數的定義值是以那個作為標準
! Y6 z3 }7 M$ t* p但,在實際情況裡,我們是直接用design rule來看待layout rule與command file
& g) G8 B6 c% J所以,只要照著design rule上面的定義來畫layout,就不會有問題
! D" R% ^' I* ~  a' J1 {而LVS,DRC,ERC等check都是依據design rule來定的,所以,有任何的錯誤訊息出現,都是因為layout上有某些地方違返了design rule+ m8 u+ w& W4 [8 L" N) v
所以,清楚且了解design rule上面的描述,對於在除錯會有很大的幫助. [9 p" R. g$ d$ T# _3 U, d
最後,design rule上面會有圖示標出各個rule的值的定義方式,當你遇到錯誤訊息時,首先先判讀錯誤的地方是在那裡,然後翻design rule看看裡面的rule值為何
5#
 樓主| 發表於 2007-6-12 06:40:52 | 只看該作者
謝謝2位大大的答覆,請問λ -base上定義許多規則分別多少λ  只是為了讓你看懂這名詞所代表那裡不符合design rule的意思嗎?/ `$ w1 K" @3 }3 B( X
而design rule定義的內容不是都在DRC,LVS,ERC的command file並且在裡面也定義了 若跑這3樣
7 e8 h' G1 r8 I/ d! z7 f' i9 @check時 若有違反design rule 將出現什麼錯誤訊息,我的確主要目的是 想問 怎看定義>< 才方便除錯,請問關於design rule內定義的規則和錯誤訊息 的撰寫 都是固定語法嗎?還是有相關資訊有教你怎看這間公司design rule定義的內容? 像我作DRC  check都是直接看layout view上圖示標示那裡違反規則 再從錯誤訊息中看其要求所規定的最小長度或寬度,但我錯誤訊息只看的懂上面寫的數字其它都不懂,而作LVS check時 因為design rule定義更不了解 ,而跑LVS時除錯時 沒像DRC還有在layout view有圖示 直接清楚告訴你就是那裡錯誤要修改 所以 小妹我才請教是否有相關資訊教你怎看design rule定義的內容   ^^
3 A8 D- W1 P4 z: s- m; d' P* T同時也謝謝2位的答覆   感恩^^

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6#
發表於 2007-6-12 21:13:14 | 只看該作者
我回答一下有關於LVS check
  _2 q  p" z+ ]- U2 ~LVS check是檢查電路與layout兩者的差異7 T: q5 |  h+ G5 }
如一: 電路中有一NMOS,W=5.05um,L=0.88um,而你在layout上故意畫個畫了一個NMOS,W=5.04um,L=0.88um,讓W少了0.01um,所以你在作LVS check時,就會出現電路和layout的size不符的錯誤訊息
$ }+ [$ }: K1 P. o6 S: C如二:原本電路上有一條線是要接到vdd,但你在layout上卻把它接到gnd,故而在作LVS check時也會出現電路和layout不符的錯誤訊息
/ M) j% Y0 q' O2 K因為layout是要畫出電路上的元件與各個接點接法,一旦layout並沒有完全畫出電路該有的接法與元件大小,那在作LVS check時就會出現錯誤訊息5 e$ e. e9 Y  w
: ^$ \7 _8 x& J' T
所以,在畫layout時,一般的作法都是先畫一個小電路,然後作LVS check,確保小電路的LVS沒問題,然後再繼續畫其他的小電路  g0 A* k* q- a' p
如此一來,在作整個大電路的LVS check時,比較不會出現找不到LVS錯誤的地方在那
) W1 ~) `- J% a, [當然.這是經驗談+ y+ K( x) x# L9 B( b! s! h: R0 Z) ]
試想一下,你要在50個元件的layout中找出一個LVS error,和如果你要在100個元件中的layout中要找出一個LVS error,那一個比較容易些" z, H7 O7 A  \6 x' F
所以,一個很大的電路layout,通常LVS check會切割成好幾個小電路的LVS check,等到每個小電路的LVS都過了之後,再作完整電路的LVS check

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7#
 樓主| 發表於 2007-6-12 21:57:39 | 只看該作者
喔喔^^想請問一下您的業界經驗,因為畫的是vlsi 具有1000個邏輯閘、1000~1萬個元件,如此超大的電路畫layout view一定畫死人><
* Y8 M% P( d% d& d+ ]是不是習慣上 先建好各基本邏輯閘和電子元件的schematic,symbol,layout view,然後作到DRC,LVS check就好 並存在library,當要開始畫設計工程師交給你的schematic為其建layout view時 才叫出已建好的邏輯閘 來方便畫?
! Q/ l% q) ~, r, A3 X( R而事先建好的電子元件和邏輯閘作到DRC,LVS check就可以了?
. \+ j' V6 w' r6 x4 N4 p/ k: y我的想法大略只有這樣畫vlsi電路才較快 不然會畫死人 不知畫到民國幾年@@+ ?% q' s* Z  \  e9 _, e6 Y' Y
還有公司裡的cell library裡應該有先前的layout engineer早先建好的元件才對吧?% s" ^3 _" z: J4 w8 Y

6 w9 q, b) e* x8 J& S3 u( S[ 本帖最後由 君婷 於 2007-6-12 09:58 PM 編輯 ]
8#
發表於 2007-6-12 22:42:20 | 只看該作者
現在的 logic circuit 很少用人畫了說!!: h' C- C- H. |* b( Y+ r0 g. r  }. X
現階段  都是用 APR 比較多!!!  而且 foundry 廠都會提供 cell library!# u4 v$ A5 }, |. x' ?. y. @8 B
當然也有可能提供 MACRO cell 供 design hourse 使用!
/ A# Q  {) m/ M! E% G0.35um  以上的製程,才有可能自己建 cell library!!
: L+ J: p3 F9 B! o$ e" B- z# x: |" O1 j, O2 Z3 \, A8 n- ?/ }
現在的數位 designer 也很少自建 schematic entry!; e0 `! e9 l! g, ^, D1 X1 Z
都是用 Verylog-L ........ 等等 tools, simulation, 合成, APR, .........
9#
 樓主| 發表於 2007-6-12 23:29:06 | 只看該作者
很多公司仍用0.35um以上的製程嗎?因為我學的正好是0.35的,而您介紹的verylog等tools應該是屬semi custom中分類在programmable device這一類 的tools 如FPGA、PLC等這些IC設計軟體且會自動幫你佈局拉線  設計者只要會寫程式就好 是吧^^
10#
發表於 2007-6-13 01:20:53 | 只看該作者
CIC 現在.35以下歸類為先進製程(真的有先進嘛= =?),反正差不多,不過數位的很少自己畫吧?都是直接auto placement吧?& f9 {5 w: }5 m( |' c5 s; O  C
6 Y) d' ~$ }$ A; B. {' |6 ?
λ -base只是比較適用於製程的轉換,規範不同的λ,所以rule之間的關係沒變,只要改變λ就可以。現在還有人在上這個嘛....
4 S0 o8 \: K: r" a7 f  k
# `2 Z/ C# I6 F6 ^  x* X還有類比跟數位那差很多的方式...妳如果要用verylog那就是tool要熟,不需要來看layout....也不用在電路元件上探討...當然是指基本的數位的,如果是特殊的比如memory那令當別論。反正就是verlog寫一寫然後轉一轉,只要跑個看有沒有timing不吻合的問題然後他就自己幫你弄到差不多了,沒人在那邊一條一條畫的。0 d3 c2 }, _  ~7 u  z8 T# m* R

; |+ P$ i2 ]* c0 k妳是不是搞混了數位跟類比.....這差很多捏...主要探討的項目也不太相同,數位著重在一件事情:right go the right thing!& B& d1 |  s: W
如果是VLSI那要看教學的人,我看大部分都偏數位,少部分偏類比。數位你只要不要弄到meta上面去,隨便弄不要太離譜都不會有什麼大問題,所以才可以使用這種自動佈線的方式。類比的那個可能WL差一些特性天差地遠,才會特別專注在layout跟元件上面的探討。數位的差一點反正我只要0跟1,準位差點那沒差別。我看數位好像都是套裝好的。你要memory就寫一寫他就生出一塊,然後就貼一貼拼個圖上去,然後要什麼就用tool弄一弄,貼一貼兜一兜,大該這樣就差不多了,這樣才能做的很大又很快。慢慢用手拉不僅沒意義(功能又沒比較好 做心酸)而且又浪費時間(時間=產品上市日期=金錢=公司生存率)。

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11#
發表於 2007-7-13 13:58:59 | 只看該作者

回復 #1 君婷 的帖子

關於你的問題:
9 y" k- C/ u$ ?# x2 J5 g/ AEpd>=2λ:閘poly需超過diffusion的最小長度。若不超過話,在diffusion  or  Implant  source/drain時,將使source/drain因為diffusion overlap而短路。
6 z& Z) }3 d- g- a% W
/ _! m; M. M# e0 E! |其實是多慮了,這只是特殊情況,沒有人會犯這種錯
. E; g+ |8 U2 p& @9 x! \我們在畫MOS的時候不是會把poly覆蓋在diffusion上嗎?
2 J1 y& f9 Y+ p4 L: |$ @# {其中的兩邊就是source跟drain,0 d  B; J% O& Q6 M* Q2 M% X! r" W
而poly跟diffusion覆蓋的區域就是gate' A" T/ ]9 B% N/ ?0 E
這是無庸置疑的嘛~2 g) u3 O' |4 c' e7 m, y
MOS一般的digital操作我們知道就是在gate上施加電壓以使其導通或截止
% q1 L& |0 H8 o" H  u書上寫的意思是說poly我們都會使它超過diffusion,# [$ Z$ G; V9 W) B+ I2 U
而超過多少則有design rule規範
2 P2 M6 r6 w- N8 {0 N如果今天poly的某一端沒有超過deffusion,
! F2 w& j+ S6 n& E也就是說poly並沒有整個把兩塊diffusion區隔開來
% u  ?5 N3 b! \: d這樣的話就沒有形成source跟drain
/ n' a0 e- f. I. T) g3 g也就不算是一顆MOS,
! J5 x" k& d( V所以書上才會說兩端短路,是因為根本沒有區隔出source跟drain+ e; ]) P9 @( |8 ?  g, q$ z1 ^# b

8 w* w& k/ X  S3 T而λ只是一個單位符號,看看就好,+ F( ~6 a' s. V# ~3 P4 g) f
他只是為了要讓看書的人大概知道幾λ幾λ,3 u1 q8 ~9 t% \
這個rule跟那個rule大概的比值是多少,
9 F9 J6 l8 a" K9 v4 q0 `& z所以不用太在意,畢竟每個process的rule都不一樣" V1 Y0 M# \' \9 K4 _  \- d
所以書上為了不想表示成一個定值7 [( w* z  y1 I
就用λ來表示,意思相信也是希望讀者不要認為它是個絕對的值
; ~7 n( X# m! S0 E& }  h: s& v3 `/ D
從您的發問可以看出來您是位剛入門的同事
1 l4 Q; w3 @; N* ~: i5 e因此建議您書上的看看就好,design rule比較重要!& K8 Q3 S+ ?- t

* G: m. y: c% x- A& x小弟的淺見!
( Z7 R+ y, s( V* z# m如果有不對的地方還請指教~6 l" R" T! n! y' x

8 |+ I9 @) I# Q- N2 R! _3 w7 w[ 本帖最後由 vlsi5575 於 2007-7-13 02:06 PM 編輯 ]

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12#
 樓主| 發表於 2007-10-22 23:38:53 | 只看該作者
使用cadence tools學習至今 發生了一個很大的問題 即LVS的除錯訊息根本幾乎不太明白其所表達的意思,無法直接從訊息中直接了解 就是指電路那裡節點有誤。
2 f6 }$ Q/ |5 b# H% k& r' D- o$ vLVS的除錯訊息有教學網站嗎?因為小妹認為除錯花最多時間的地方乃在於LVS 而DRC本身就會顯示那裡的佈局不符合規局,所以小妹現在為了LVS的除錯能力很頭疼。
. `4 Y$ B' U7 a& B5 L對於finster  副版主所提的LVS看法....- l, q% p& u9 K. _) `4 ~
小妹覺得將netlist與layout作 LVS比對時,netlist因為之前跑過pri-sim所以netlist本身一定正確,LVS有錯誤訊息 一定是Layout部份有畫錯。
+ ]4 T, i* s' d$ p/ j" I假設layout的晶體寬度與電路的寬度不同 所出現的錯誤訊息 應該是表示電路寬度與layout不符吧?
' ]# {# ^& @& S8 \4 q" P) Z而不是表示layout與電路寬度不符吧?, R" h& U7 z# [+ W% O- o
不知小妹對LVS的想法是否正確? layout錯了 但除錯訊息卻都是表示netlist與layout不符 讓初學者以為是netlist錯了?
* u& B0 K( v! w. {7 d; X麻煩大大們提供LVS除錯經驗及是否有教學資訊     謝謝唷^^
13#
發表於 2007-10-23 13:01:16 | 只看該作者
不知您是使用哪一套軟體去跑LVS
  M! W3 t' [8 q* u  q2 H& k+ Rdracula還是calibre5 z7 `" Y. r$ u* s8 b3 k9 C7 j
一般來說circuit轉出來的netlist file很少會有錯的; v: ^  u# p' Y2 s& l2 ^
您說的layout mos width 跟netlist 的不符7 k1 y# ]$ l2 Y% b: ]! `
這不就是代表您所lay的mos有錯嗎?!
/ a+ u1 }) M; Z; \% Q0 [% I怎會想去netlist錯了 = =7 d6 z$ z% E( Q2 @# v, o
總覺得您把LVS report所要表達的意思給誤解了/ N7 g# k& a  _
LVS除錯大多數都是靠經驗累積的
! a5 z/ t0 x9 }  a1 ]' _9 K" ~* U而初學者大多靠前輩帶著做學習debug的能力) k" j2 H5 c1 D4 X( ~0 l1 a& O
倒是沒聽過有教學資訊
8 p3 K* W5 f5 @/ p3 a: w或許改天請版主開個專門把LVS驗證出現的問題' q# g- V& P2 |$ i. b, l
集中在一起的版好了 ^O^
14#
 樓主| 發表於 2007-10-23 15:18:49 | 只看該作者
抱歉 我所用的是calibre  
. \  @+ Q: H3 Q/ M5 L1 H2 K對於除錯訊息心裡的確認為不符部份 絕不會指netlist部份有誤,除非是後來schematic被修改過而忘了重轉一次netlist。5 T. Q# H- U0 K, D
假設layout檢查出有17個net s和netlist 有16個nets
' B3 s, v8 C3 q  s( I, C" r就表示可能layout有某處開路 難到不會有可能是短路嗎?1 d1 a; V: `0 n. b- q" H0 p, I1 v

9 i6 ^1 ^. Q9 H( `) L假設layout檢查出有16個net s和netlist 有17個nets
+ Z. K6 P3 E9 ~8 H" P) S. @表示可能layout有某處短路 難到不會有可能是開路嗎?5 z! r9 F2 _% \. S3 W1 g

+ ?# b. y$ E) ], h9 s想請教calibre有沒很直接的指明就是layout處那裡開路或短路以及很清楚的說明就是那個一個點?      謝謝唷><& p' X" |. P! m: V
* P+ A' T( z8 Q
小妹還想請教一下關於節點node在spice的定義,node指輸入端或輸出端的端點及2接腳以上連接在同一個點都算node吧...% l3 S+ i' M6 L$ E
所以若2元件中有2接腳本來是連線在一起(只有一個node),若開路了 則在開路的2端也各算1個node於是變成2個node嗎? 謝謝$ E( s2 {# j4 t7 ]. E, }* i
: X% }8 M% H1 c) p! x) x4 w. m; l
[ 本帖最後由 君婷 於 2007-10-23 03:40 PM 編輯 ]
15#
發表於 2007-10-23 19:28:12 | 只看該作者
假設layout檢查出有16個net s和netlist 有17個nets' |6 e( D4 O+ S! v- @) t' g
表示可能layout有某處短路 難到不會有可能是開路嗎?$ i" _# r1 h3 [+ m: a, e
Ans: 是的....不可能是open.....如果是open的話8 h* ]3 v' W# A4 {# ^
         layout會多出一條net
% }. r' N7 c" f" w% K2 @' t9 v( tㄟ....不知道小妹您有沒有開啟RVE, y* i+ r/ E9 g) _' D
一般來說用RVE LVS來debug應該會很容易找到錯9 T% {8 @, S  S3 @. U; |
除了power&ground的short比較難找之外
( [% Z5 t2 \7 y' ~4 b照理說應不難除錯唷 ^^
16#
發表於 2007-10-24 11:17:46 | 只看該作者
有些問題必須從半導體製程去解釋,比方說,4 C. Z+ `2 W% A* [
=====================================================
, `) J( N, i" l6 c+ B: cEpd>=2λ  :閘poly需超過diffusion的最小長度。若不超過話,在diffusion  or  Implant  source/drain時,將使source/drain因為
1 y+ R9 k: Y" w. M* E; o2 W                 diffusion overlap而短路。5 ]8 E4 H5 E# Z8 u1 K
=====================================================
7 z9 y% ^) z, n9 t上述應該指的是endcap,如果layout上的poly是突出diff的,實際上製程廠做出來的型狀,是會往後縮,並且尾
% I! C3 @  C" _4 I3 K端呈圓弧狀,為了避免poly縮進diff中,而造成s跟d導通,所設定的rule.' p* K& K( [8 m! \1 N% L
當然有些比較特殊的mos不在此限,比如說可變電容之類.
; O" R3 B; B+ N妳把poly也就是gate當成一個控制s跟d的開關,也就不難理解了,妳後面所說的diff短路應該是指這個吧.
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