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[問題求助] λ -base esign rules中有些規則不懂 想請教謝謝^^

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1#
發表於 2007-6-11 12:57:51 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
小妹我從唐經洲的書上看到其介紹!. ]) D# k% h/ F' i
而首先Mead&Conway只是提出λ基礎設計規則作者吧?
; ?: I1 Y" s( j接著是書上寫的名詞規則有些不是很了解 ,在此提出麻煩大大們 提供意見謝謝^^  r7 Y: h' }1 q' {1 {; R/ r
------------------------------------" P: n8 W) l( g3 t/ B5 _7 m
規則/說明
7 c, G3 q0 y/ x, yEpd>=2λ  :閘poly需超過diffusion的最小長度。若不超過話,在diffusion  or  Implant  source/drain時,將使source/drain因為+ X9 H/ F6 o# h! \6 _9 H
                 diffusion overlap而短路。- \* m- J1 h6 S# n  e5 E9 p
------------------------------------
# r* w3 L; |) @% L: k! ^& `關於diffusion overlap 這點 不懂diffusion為何會部份重疊而短路? 因為畫layout view時 畫棵mos不就先畫好diffusion後再畫poly閘極等,但diffusion已畫好了 那來的第2個diffusion來讓它部份重疊而短路呢?  還是說poly畫上 形成了s及d的diffusion 而poly未超過diffusion的最小長度將使這2區的diffsion短路呢?
5 [4 p: ?$ Q5 k5 `# k6 }; v-------------------------------------- Y! D+ s4 z+ ]0 S% D3 K8 h
名詞定義:; f8 e8 |0 M- O3 G- H
i:implantation region  
8 n" k, ~% g4 k: Simplantation region  這是畫mos有 畫到嗎? 這是什麼東西?implantation好像指摻雜區吧?3 A5 E/ V, B; ]6 E
-------------------------------------0 \' ~: R7 y' X
Emc>=1λ:contact hole 和包覆著洞外面的metal區的最小寬度
. \6 u$ Y* u8 I* m$ Q7 T------------------------------------$ c! V) Y( O$ L+ m8 h4 Y2 L6 A
上述規則是不是指包覆著洞外面的metal區從contact往外延伸的最小寬度呢?
2 g/ f  b8 e' A$ i! D------------------------------------
8 F7 h$ P. b3 `+ uOpd=1λ:poly與diffusion對接成接觸的重疊寬度。通常poly與diffusion均作成4λ寬,兩者重疊1λ的寬度,在兩者之間開一個2λ寬、4λ長的0 t9 |" Q" X9 M- N; i- R$ `' d
              contact hole置於中間,而覆蓋於其上的metal為4λ寬、6λ長的metal。+ ]3 [1 n' }5 p4 x3 c+ ]# l5 k3 f
-----------------------------------
2 u3 c  {* R. r) o. \# K上述規則介紹poly、diffusion、contact hole、metal的尺吋,但是業界每間公司都是用Mead&Conway提出λ基礎設計規則嗎?
5 Q/ L& T- O/ W! V6 k0 l還有我是使用calibre驗証軟體,我曾開啟drc  command file來看 有看過這些規則如wd>=2λ  ,sdd>=3λ ,wp>=2λ等等,只是每間公司desing rule要求的線性尺吋λ的大小 應該與Mead&Conway提出λ基礎設計規則不同大小吧?7 r  M" ?, N& i- m  s$ f
---------------------------------% B/ `. D6 M. j0 Y7 G" M
還有我跑drc 出現的錯誤訊息看不懂,但訊息中有出現這些規則如wd>=2λ 等之類的訊息,於是我去開啟drc command file內容想看看裡面的設計規則,而我不會寫command file 所以也看不懂別人寫的內容,但是跑drc時除錯的錯誤訊息的內容 不都是撰寫drc command file時寫好各物質之間的距離、寬度 及不符合規則時要出現的錯誤文字訊息嗎?: p8 e: p$ [. q. a  z/ p. f; j3 ^( z
所以我只要看的懂command file就能知drc的所有規則吧?7 h% O* E9 f  _6 ~3 `4 ]% x
簡單的就是問 如何看懂command file? 看的懂的話 那我跑drc、lvs時 的錯誤訊息 我就能清楚了解是那裡的錯誤 ,讓我方便很快的除錯。/ B7 u) k; F3 U4 a9 {4 _2 p
是有書還是網站有介紹嗎?, z7 ~+ W8 d3 Y
--------------------------------------0 P' H2 E- _3 J$ ^) F. V* z; J
Eig>=1.5λ :implantation區需超出閘poly的最小長度。( J+ ]5 s5 U6 ?' L1 E
--------------------------------------6 f3 x$ R# X" n5 B# ]
上述規則的 implantation區 我沒看過 ,到底是什麼?
% q2 c5 s& |0 V  h6 T. s* m8 G7 R* T# V9 Y5 y4 L3 |

6 \; ?' w" V: Z" a$ A2 d) a4 u! O! M
$ p- F% `! I+ v5 ?2 |麻煩大大們有空 協助解決小妹的問題  3q  ^^
* ~7 {4 p* |% P$ o/ {. B$ r
6 @  K; Y5 M; X5 ^( P* N" t. B[ 本帖最後由 君婷 於 2007-6-11 01:08 PM 編輯 ]
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2#
 樓主| 發表於 2007-6-11 21:18:27 | 只看該作者
還有一堆規局雖然寫各材質間的距離、寬度為多少λ?  但是λ只是個參數用以表示物質的線性大小,所以這與畫layout view時有關嗎?  因為畫layout時 不是都必須符合drc command file裡所設定的規則,否則跑drc就不會過了。
1 {! i* c+ {: m2 p- I* t! B1 k* T% U那麼書上的這些規則 在應用的實作上 到底是用在那阿?: a/ j  k& m. J! F# h; N3 A
希望有大大 願意回答小妹我那麼多的問題,因為才7個人看過我的文章 @@ 感恩><
3#
發表於 2007-6-11 23:16:13 | 只看該作者
λ -base 這是一個示意的 Design Rule, 也就是差不多的 rule, 相當的不經精確, 但是好備好記!0 k; [  C, I; Y( H, P( v- |, b
所以  RULE 就不需要被太多了!!
4#
發表於 2007-6-12 03:55:37 | 只看該作者
我不知道各家公司是如何運用λ參數來撰寫design rule
3 a& d: q6 W! A% H不過,我以前待過的公司是不寫λ參數的,因為,那是學術理論教學用的,它是讓你有一個概念知道各個參數的定義值是以那個作為標準
- O7 h3 K2 c& s" d+ v3 F3 `但,在實際情況裡,我們是直接用design rule來看待layout rule與command file
: }" s0 L* F7 _所以,只要照著design rule上面的定義來畫layout,就不會有問題, n" w7 q. s$ K( c/ k
而LVS,DRC,ERC等check都是依據design rule來定的,所以,有任何的錯誤訊息出現,都是因為layout上有某些地方違返了design rule# M4 Q9 V/ }* `4 Q0 Y
所以,清楚且了解design rule上面的描述,對於在除錯會有很大的幫助2 k% g6 G. q' p; i5 H/ T! |
最後,design rule上面會有圖示標出各個rule的值的定義方式,當你遇到錯誤訊息時,首先先判讀錯誤的地方是在那裡,然後翻design rule看看裡面的rule值為何
5#
 樓主| 發表於 2007-6-12 06:40:52 | 只看該作者
謝謝2位大大的答覆,請問λ -base上定義許多規則分別多少λ  只是為了讓你看懂這名詞所代表那裡不符合design rule的意思嗎?
8 ?; b* ?- i0 G  f& l) x9 t而design rule定義的內容不是都在DRC,LVS,ERC的command file並且在裡面也定義了 若跑這3樣
& O  ~5 c2 ~2 |: hcheck時 若有違反design rule 將出現什麼錯誤訊息,我的確主要目的是 想問 怎看定義>< 才方便除錯,請問關於design rule內定義的規則和錯誤訊息 的撰寫 都是固定語法嗎?還是有相關資訊有教你怎看這間公司design rule定義的內容? 像我作DRC  check都是直接看layout view上圖示標示那裡違反規則 再從錯誤訊息中看其要求所規定的最小長度或寬度,但我錯誤訊息只看的懂上面寫的數字其它都不懂,而作LVS check時 因為design rule定義更不了解 ,而跑LVS時除錯時 沒像DRC還有在layout view有圖示 直接清楚告訴你就是那裡錯誤要修改 所以 小妹我才請教是否有相關資訊教你怎看design rule定義的內容   ^^
( [+ i7 @2 c2 l4 ]7 Z, r3 x- c同時也謝謝2位的答覆   感恩^^

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6#
發表於 2007-6-12 21:13:14 | 只看該作者
我回答一下有關於LVS check
! m+ Q' B" [! o; L; m  C& QLVS check是檢查電路與layout兩者的差異
% l' P3 _. F% Z  e  y5 z$ ^8 L/ o如一: 電路中有一NMOS,W=5.05um,L=0.88um,而你在layout上故意畫個畫了一個NMOS,W=5.04um,L=0.88um,讓W少了0.01um,所以你在作LVS check時,就會出現電路和layout的size不符的錯誤訊息! a0 i* f0 W4 K+ k* |; l
如二:原本電路上有一條線是要接到vdd,但你在layout上卻把它接到gnd,故而在作LVS check時也會出現電路和layout不符的錯誤訊息
# I) `/ d* p% Y4 d: e- O$ `因為layout是要畫出電路上的元件與各個接點接法,一旦layout並沒有完全畫出電路該有的接法與元件大小,那在作LVS check時就會出現錯誤訊息- N: [( Q6 h& v- V2 p0 W
( @, X6 r" W7 Q8 [1 g. x8 T
所以,在畫layout時,一般的作法都是先畫一個小電路,然後作LVS check,確保小電路的LVS沒問題,然後再繼續畫其他的小電路
1 D- P  B3 r0 `, r, @$ J+ K( V如此一來,在作整個大電路的LVS check時,比較不會出現找不到LVS錯誤的地方在那+ I5 L5 v7 {+ ]: i5 k
當然.這是經驗談, C  `8 I! u6 F
試想一下,你要在50個元件的layout中找出一個LVS error,和如果你要在100個元件中的layout中要找出一個LVS error,那一個比較容易些
: Q2 n. A5 G6 E+ k! |" k- G所以,一個很大的電路layout,通常LVS check會切割成好幾個小電路的LVS check,等到每個小電路的LVS都過了之後,再作完整電路的LVS check

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7#
 樓主| 發表於 2007-6-12 21:57:39 | 只看該作者
喔喔^^想請問一下您的業界經驗,因為畫的是vlsi 具有1000個邏輯閘、1000~1萬個元件,如此超大的電路畫layout view一定畫死人><% {- i9 O: F' Y
是不是習慣上 先建好各基本邏輯閘和電子元件的schematic,symbol,layout view,然後作到DRC,LVS check就好 並存在library,當要開始畫設計工程師交給你的schematic為其建layout view時 才叫出已建好的邏輯閘 來方便畫?' L# b2 G  x7 J. V) M7 i
而事先建好的電子元件和邏輯閘作到DRC,LVS check就可以了?
0 M. h, T% n+ U' o& |我的想法大略只有這樣畫vlsi電路才較快 不然會畫死人 不知畫到民國幾年@@
# h0 Z  q  K1 g. ~* J) F還有公司裡的cell library裡應該有先前的layout engineer早先建好的元件才對吧?
0 G% n7 |) l/ L8 n& i9 {; Z* o* p
- R( d2 ~4 J+ ][ 本帖最後由 君婷 於 2007-6-12 09:58 PM 編輯 ]
8#
發表於 2007-6-12 22:42:20 | 只看該作者
現在的 logic circuit 很少用人畫了說!!+ e; J0 h8 P% O3 |0 S; o1 N
現階段  都是用 APR 比較多!!!  而且 foundry 廠都會提供 cell library!# y) l/ F$ W; k* r
當然也有可能提供 MACRO cell 供 design hourse 使用!
% z. r  `8 m; q6 N0.35um  以上的製程,才有可能自己建 cell library!!
" X& @' l$ ^& j$ X$ `( @# N
. h' {% e& K- a& _! s* d; V現在的數位 designer 也很少自建 schematic entry!
# J4 c) L" Q& h$ ]4 J# G都是用 Verylog-L ........ 等等 tools, simulation, 合成, APR, .........
9#
 樓主| 發表於 2007-6-12 23:29:06 | 只看該作者
很多公司仍用0.35um以上的製程嗎?因為我學的正好是0.35的,而您介紹的verylog等tools應該是屬semi custom中分類在programmable device這一類 的tools 如FPGA、PLC等這些IC設計軟體且會自動幫你佈局拉線  設計者只要會寫程式就好 是吧^^
10#
發表於 2007-6-13 01:20:53 | 只看該作者
CIC 現在.35以下歸類為先進製程(真的有先進嘛= =?),反正差不多,不過數位的很少自己畫吧?都是直接auto placement吧?
0 e8 y5 f/ V" f7 i2 k4 W3 n9 L
& `9 `' T" G6 }! g; gλ -base只是比較適用於製程的轉換,規範不同的λ,所以rule之間的關係沒變,只要改變λ就可以。現在還有人在上這個嘛....9 E' \: h  i( G9 j! w+ i1 r; d$ p, L( b
' C* K" a# R0 p. l
還有類比跟數位那差很多的方式...妳如果要用verylog那就是tool要熟,不需要來看layout....也不用在電路元件上探討...當然是指基本的數位的,如果是特殊的比如memory那令當別論。反正就是verlog寫一寫然後轉一轉,只要跑個看有沒有timing不吻合的問題然後他就自己幫你弄到差不多了,沒人在那邊一條一條畫的。
; i0 m% g4 q- T$ d& \5 L! O/ B) z7 Z1 s8 K: f5 \/ v
妳是不是搞混了數位跟類比.....這差很多捏...主要探討的項目也不太相同,數位著重在一件事情:right go the right thing!+ w) s; W+ ?# f, }3 }
如果是VLSI那要看教學的人,我看大部分都偏數位,少部分偏類比。數位你只要不要弄到meta上面去,隨便弄不要太離譜都不會有什麼大問題,所以才可以使用這種自動佈線的方式。類比的那個可能WL差一些特性天差地遠,才會特別專注在layout跟元件上面的探討。數位的差一點反正我只要0跟1,準位差點那沒差別。我看數位好像都是套裝好的。你要memory就寫一寫他就生出一塊,然後就貼一貼拼個圖上去,然後要什麼就用tool弄一弄,貼一貼兜一兜,大該這樣就差不多了,這樣才能做的很大又很快。慢慢用手拉不僅沒意義(功能又沒比較好 做心酸)而且又浪費時間(時間=產品上市日期=金錢=公司生存率)。

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11#
發表於 2007-7-13 13:58:59 | 只看該作者

回復 #1 君婷 的帖子

關於你的問題:' X1 k4 Z6 c' ?. U7 _, |
Epd>=2λ:閘poly需超過diffusion的最小長度。若不超過話,在diffusion  or  Implant  source/drain時,將使source/drain因為diffusion overlap而短路。0 C: E* y( B3 [' `, Z6 O
/ T/ e, H: j& Z- q, @+ s- a4 j/ @
其實是多慮了,這只是特殊情況,沒有人會犯這種錯
" h+ k2 q) J. p7 J/ H+ \# [我們在畫MOS的時候不是會把poly覆蓋在diffusion上嗎?
' H. E: C4 N! O( G7 B/ G0 h& m其中的兩邊就是source跟drain,
& u( ?4 U& c, y. n4 a! P而poly跟diffusion覆蓋的區域就是gate! G. D  ]  @3 r  V; @$ w8 n% ]
這是無庸置疑的嘛~
# C+ x( v! R' Z# k. gMOS一般的digital操作我們知道就是在gate上施加電壓以使其導通或截止
$ ~9 R, |$ ~' M! K0 R# Y書上寫的意思是說poly我們都會使它超過diffusion,
! r; f6 L! j0 T( i' }! N而超過多少則有design rule規範
( `' n- z2 r7 H9 Y! W+ n& u; P如果今天poly的某一端沒有超過deffusion," K. Z" Q' m' H% P
也就是說poly並沒有整個把兩塊diffusion區隔開來
# q' K3 l# q) p這樣的話就沒有形成source跟drain
3 l. R$ f8 _" r% M也就不算是一顆MOS,
" C# |# m1 ]- t5 l$ F4 Y2 n. R所以書上才會說兩端短路,是因為根本沒有區隔出source跟drain
: Q  P* n# ?7 |! h" A% b2 A
4 a9 }: h4 x- p4 u* W$ H3 H而λ只是一個單位符號,看看就好,
' E8 Y4 F) W3 Y8 C9 H- R+ C他只是為了要讓看書的人大概知道幾λ幾λ,+ L2 h: n& A# x: m0 i
這個rule跟那個rule大概的比值是多少,$ Z( `+ r- y4 ?9 O7 {! f( p) ]8 e
所以不用太在意,畢竟每個process的rule都不一樣) m' ~4 [. H) l2 H$ I3 ^
所以書上為了不想表示成一個定值
# i* R% u. v. S: ~/ n2 @7 v就用λ來表示,意思相信也是希望讀者不要認為它是個絕對的值- y% ^( I( y3 L( v7 ]" c
/ T- u. J: l/ c' v* I
從您的發問可以看出來您是位剛入門的同事
$ g& W$ O3 y# N! d5 H% u) |/ J因此建議您書上的看看就好,design rule比較重要!
# W$ N) Z6 R$ s# R# X- o" ^5 K5 K' T$ O4 n7 b4 S
小弟的淺見!. E: W( c$ s) |+ R5 E1 K& C
如果有不對的地方還請指教~
. B2 Q+ f' J4 ^" ?2 e. B5 w! s9 s7 W7 j
[ 本帖最後由 vlsi5575 於 2007-7-13 02:06 PM 編輯 ]

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12#
 樓主| 發表於 2007-10-22 23:38:53 | 只看該作者
使用cadence tools學習至今 發生了一個很大的問題 即LVS的除錯訊息根本幾乎不太明白其所表達的意思,無法直接從訊息中直接了解 就是指電路那裡節點有誤。" _* i; ^0 ^, l" P" j+ S
LVS的除錯訊息有教學網站嗎?因為小妹認為除錯花最多時間的地方乃在於LVS 而DRC本身就會顯示那裡的佈局不符合規局,所以小妹現在為了LVS的除錯能力很頭疼。
; N/ Z: j4 C: E0 F對於finster  副版主所提的LVS看法....6 B! `6 I, |; R8 S
小妹覺得將netlist與layout作 LVS比對時,netlist因為之前跑過pri-sim所以netlist本身一定正確,LVS有錯誤訊息 一定是Layout部份有畫錯。
! D: N. K& A7 r( W- g5 R假設layout的晶體寬度與電路的寬度不同 所出現的錯誤訊息 應該是表示電路寬度與layout不符吧?
' ~6 b* U/ c" y( z& W* e* x# P而不是表示layout與電路寬度不符吧?
+ y7 U# Q* e/ N* a" O' Q不知小妹對LVS的想法是否正確? layout錯了 但除錯訊息卻都是表示netlist與layout不符 讓初學者以為是netlist錯了?
6 P& i0 N) s) F4 m4 }麻煩大大們提供LVS除錯經驗及是否有教學資訊     謝謝唷^^
13#
發表於 2007-10-23 13:01:16 | 只看該作者
不知您是使用哪一套軟體去跑LVS; ^: G, \2 Y- q: T, c6 t0 [
dracula還是calibre
5 K# h9 M+ W( Z  F  w; c: f一般來說circuit轉出來的netlist file很少會有錯的  [+ I, p- j5 ]! |0 V. f
您說的layout mos width 跟netlist 的不符
0 O/ f) M8 e' e- B% Q6 m這不就是代表您所lay的mos有錯嗎?!
9 S$ ^/ R7 }, k( |8 ?0 v6 B怎會想去netlist錯了 = =$ O8 d3 E& s: |/ S: j* v6 `
總覺得您把LVS report所要表達的意思給誤解了1 s: \9 X6 r# k% _
LVS除錯大多數都是靠經驗累積的
1 I9 n) I+ Q$ X- q/ \  V8 L1 Z而初學者大多靠前輩帶著做學習debug的能力
7 R  w; s+ T8 i) w/ z倒是沒聽過有教學資訊
  Q& k1 W- X* V或許改天請版主開個專門把LVS驗證出現的問題
3 j0 C5 ~. o2 R( V& `3 [集中在一起的版好了 ^O^
14#
 樓主| 發表於 2007-10-23 15:18:49 | 只看該作者
抱歉 我所用的是calibre   : _7 z, i6 N* V6 w/ b: L5 L
對於除錯訊息心裡的確認為不符部份 絕不會指netlist部份有誤,除非是後來schematic被修改過而忘了重轉一次netlist。
: g+ C, J4 m8 f' g假設layout檢查出有17個net s和netlist 有16個nets7 n# _; \0 n8 c' y% W- J3 F  L: y2 H
就表示可能layout有某處開路 難到不會有可能是短路嗎?
' \3 W' J7 Z  z4 }( H' J: M7 k. \; H& N' Q3 {2 S8 t. b
假設layout檢查出有16個net s和netlist 有17個nets
7 R( ?1 R" Y6 r, H% ^+ E. L表示可能layout有某處短路 難到不會有可能是開路嗎?2 t0 R4 S, r, I+ S0 `& b, `
  h3 w: a7 a8 m$ b# L- L
想請教calibre有沒很直接的指明就是layout處那裡開路或短路以及很清楚的說明就是那個一個點?      謝謝唷><
* W3 k! Q( v7 ~  s2 o0 M; F3 l. _
小妹還想請教一下關於節點node在spice的定義,node指輸入端或輸出端的端點及2接腳以上連接在同一個點都算node吧...3 ?- u  ^" l& w7 u. Y. y
所以若2元件中有2接腳本來是連線在一起(只有一個node),若開路了 則在開路的2端也各算1個node於是變成2個node嗎? 謝謝
' o6 Q( ?/ H; m4 S
; l' X$ L1 q0 l) G[ 本帖最後由 君婷 於 2007-10-23 03:40 PM 編輯 ]
15#
發表於 2007-10-23 19:28:12 | 只看該作者
假設layout檢查出有16個net s和netlist 有17個nets
1 I; x$ r# c1 ?2 `' N8 B6 A6 ?表示可能layout有某處短路 難到不會有可能是開路嗎?
$ q6 i! i8 L' S$ uAns: 是的....不可能是open.....如果是open的話
' {' r5 C1 b" I9 N5 m9 F% s& t1 K- T         layout會多出一條net
5 n# L# m2 h1 Y0 {  q6 h5 c# Oㄟ....不知道小妹您有沒有開啟RVE, b" H; A- J) {9 p( V6 F/ k5 o
一般來說用RVE LVS來debug應該會很容易找到錯
! K& w" n, V; \- Y: E除了power&ground的short比較難找之外9 b2 w4 w- A3 g+ A2 ?
照理說應不難除錯唷 ^^
16#
發表於 2007-10-24 11:17:46 | 只看該作者
有些問題必須從半導體製程去解釋,比方說,
. A# q0 U1 U6 F* G7 P% y2 p=====================================================0 v) c& ?+ a4 u4 S
Epd>=2λ  :閘poly需超過diffusion的最小長度。若不超過話,在diffusion  or  Implant  source/drain時,將使source/drain因為  X0 I+ X& I( z
                 diffusion overlap而短路。. \* |1 J. Q7 D* _% y: c1 m. }
=====================================================' L) O7 ?1 }& i5 x, a! a
上述應該指的是endcap,如果layout上的poly是突出diff的,實際上製程廠做出來的型狀,是會往後縮,並且尾0 X( X6 N% t5 r* Q4 a5 J
端呈圓弧狀,為了避免poly縮進diff中,而造成s跟d導通,所設定的rule.
+ D1 `9 o2 c6 ?0 |1 P- g5 {當然有些比較特殊的mos不在此限,比如說可變電容之類.. R. e# F+ L( y* n2 ]
妳把poly也就是gate當成一個控制s跟d的開關,也就不難理解了,妳後面所說的diff短路應該是指這個吧.
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