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[問題求助] 請問oxide是做什麼用的?

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1#
發表於 2008-12-5 11:39:35 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
請問oxide是做什麼用的?
* f; g# j; I2 W: A1 L9 Q請問thin oxide跟gate oxide跟field oxide各是做什麼用的?3 Y3 Y8 s* R7 W: [
有點搞不太清楚,還有在製成上有什麼不一樣?
+ _+ v  H- d! m' g3 a! G感謝
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2#
發表於 2008-12-9 18:03:45 | 只看該作者
oxide基本是做绝缘的,thin oxide与gate oxide是一回事吧,因为通常gate ox就是最薄的oxide。% B5 B: G6 W# W9 T% `) \' ~$ ]/ ^
没有晶体管的地方就是field ox。楼主找本制程简介的书看下就知道了
3#
發表於 2008-12-9 20:30:59 | 只看該作者
若有錯誤也請各位大大修正指導" \, [! k% F* V5 w8 G* P

+ ?  s/ \9 p8 _7 v0 G( k( Ffield oxide 場氧化層概略來說主要是用來阻隔所使用,它也可以是metal與metal間的絕緣層。/ H) M: T5 k/ Z* P6 |2 Q/ B/ ?

/ d* d/ h7 {6 ]" H" hgate oxide 閘極氧化層可以為最薄的氧化層,主要為金氧半導體閘極之下的氧化層,厚度跟晶片中所需操作的電壓成對等關係。% g, c1 d. z9 |2 M$ P. V
9 n) ^$ y1 T1 D$ f$ k) B7 C
製程的部份因為相當繁瑣複雜,可以找些製程的書籍參考
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