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Chip123 科技應用創新平台»論壇 › Chip1 -- 基礎元件 › Layout設計討論區 › 請問MOS 製成中silicide 是做什麼用的？？
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[問題求助] 請問MOS 製成中silicide 是做什麼用的？？

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1#
發表於 2008-11-21 11:33:06 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
請問MOS 製成中silicide 是做什麼用的？？  Y5 I. N. k2 r
是如何形成？0 I9 c+ A9 ^1 [/ j0 h! w
作用是什麼ㄋ？？
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2#
發表於 2008-11-21 12:48:31 | 只看該作者
可以把它想成多一層 導電用物質5 q0 Z5 F+ X+ Z" B, {( ^4 [% T
幫助導電 ,只會附著在 poly & diff 上
1 f! i" F9 R6 W3 _. b會全面灑在晶圓上　如果　不想有
" s' @) Y0 h% s的地方就用　ＲＰＯ(t) 或　ＳＡＢ　(u)
' F9 R6 S; M. g1 l( d. L: p! A! R圍起來　那各地區　就會是　nonsilicide6 B. ]: a3 O! n8 j5 W. V: X6 O+ E
阻值較高　通常用在　電阻　和　ＩＯ　ＣＥＬＬ　上

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hyseresis + 3 Good answer! 優質答案！

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3#
 樓主| 發表於 2008-11-21 13:07:20 | 只看該作者

回復 2# 的帖子

感謝！！原來如此阿!!; ?2 h+ ~, a' s; J
之前一直不是很清楚,是做什麼的！
# Y2 v  @2 W* n, ?. g; w/ G現在了解囉
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jauylmz
4#
發表於 2008-12-1 17:31:30 | 只看該作者
延續 二樓的說明   # O3 M; I5 i, G" r8 Y. P9 w3 q' T
Silicide 又名 金屬矽化物  常用的幾種( TiSi2、NiSi、CoSi2、WSi2 )
" z0 P2 U' O% [, x: z: F* c0 L( s' i/ o7 O
記得以前還有Polycidce 只用在 Poly 上的
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