請問MOS 製成中silicide 是做什麼用的？？

hyseresis

請問MOS 製成中silicide 是做什麼用的？？
是如何形成？
作用是什麼ㄋ？？

motofatfat

可以把它想成多一層 導電用物質
. h' C2 J2 i' `0 @$ d$ f" c幫助導電 ,只會附著在 poly & diff 上
* }$ o6 I1 q7 L7 P7 b會全面灑在晶圓上　如果　不想有
的地方就用　ＲＰＯ(t) 或　ＳＡＢ　(u)
( Y+ i$ i. y8 t, c: X6 [& |# u圍起來　那各地區　就會是　nonsilicide
阻值較高　通常用在　電阻　和　ＩＯ　ＣＥＬＬ　上

hyseresis

感謝！！原來如此阿!!
9 \/ _: c! r# L: E7 Z# A之前一直不是很清楚,是做什麼的！
現在了解囉

jauylmz

延續 二樓的說明   
. j* M; A3 _/ w1 `Silicide 又名 金屬矽化物  常用的幾種( TiSi2、NiSi、CoSi2、WSi2 )

, b* F7 j6 H' l, b+ K0 r* U記得以前還有Polycidce 只用在 Poly 上的