請問有做MEMS相關的大大嗎?

relax918

小弟目前研究方向是 SENSOR方面的circuit design ..
SENSOR走入MEMS應該是目前也是未來的趨勢..
: F3 i- @% @, c. X8 L% f) a但要做整個System.. 這塊餅似乎太大.. 研究所兩年可能吃不完.. 囧
0 a4 N1 k8 m. L- Y- ]0 X4 p所以可能只做後端的 read out ..
0 N3 L0 t7 h' j( S" U. @
- t4 N6 S; C9 `8 {6 ^* C9 u想請問板上的各位大大~
想Reference 前端MEMS SENSOR paper或書籍的話..
我該去哪裡找資料(IEEE之外?)  or  有沒有推薦的書?

semico_ljj

大陆的北大这个研究的不错！

DennyT

大部分的MEMS sensor對物理量的反應都是以電容變化表現，一般是數十到數百fF的量級，要做read out電路就先從微電容轉換與low Cin放大電路開始吧。

sereniva

cmos mems sensor的readout電路是個蠻大的挑戰
. v, g6 S8 U7 j2 K2 b電容變化量只有femto等級，若設計的不夠好很容易讀不到