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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:6 o3 T2 U: T# @7 A
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Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
V9 `5 t1 p. m: u: q因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
6 e O) b5 K! ^* l# a. k所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK
; \( `- ]0 [+ J7 W0 p我認知的步驟如下:
& W+ h- t$ ]6 T
) S, m. I9 j4 |3 e" p1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少
% Q( a4 N4 n) u 就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.
3 M+ V& c5 |- ~5 f5 `) b# l, \3 L" i: Z6 Q$ t, x
2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)" R& v D u) n- G* p. C: t
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch" S; q! k7 ]1 `! n
如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量( h, ]3 U% B, b5 e9 D0 _
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)
$ d& o- Y2 V2 e% R: P 在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
/ P* e I# `! g- s+ G wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
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; ?2 u' |& L& d/ R6 X! v' s: r3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift; W1 b" K2 {' Z; r/ p! R5 r
把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看
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4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
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5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc
8 @# p8 l* H. X5 ~- d+ L 為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失0 q0 R4 g& m2 j! Z$ {. V
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這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
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