BJT 照 EMMI 會出現亮點嗎??

hawka

請問照EMMI (微光顯微鏡) 時
8 ^2 S4 V* h) A( O. X, F: \3 z; P9 ^在工作中的 BJT device 一定會出現亮點嗎??
; r: N, I5 C5 h4 d" o(即使該BJT電流只有 數 uA)

vjc5

不會, 應該要電流過大(mA)等級
才看的到,  換言之有亮點必須區域中電流大於其他地方就看的到

阿光

1. 一般 1mA 以下會考慮用 emmi，如果是 1mA 以上，偏壓方式又許可，有方便好用的 LCD，為何不用，當然 FA house 的 LCD 不佳，不建議使用，這裡指的 LCD 是 foundry 裡的 FA Lab
2. emmi 原理為熱載子或電子電洞結合， BJT 發光機制屬於後者，焉有不發光之理，老實講，只要 1uA 以上就不要放棄
3. 當然電流越小，做出亮點機率越低，這還得看你的 IC，如果你的電路單純，其他電路漏電也很低，那麼就有機會做到，如果其他地方漏電很大，亮點就會被忽略，注意，emmi 會主動式發光，要發光的話它一定會發光，只是操作者在操作機台時，他會調整顯示光的敏感度，如果整個電路發光情形很普遍或嚴重，那麼他自然的會把敏感度調低，因此若是低電流所導致的發光就會被削減了。
8 u) g8 z- L1 F0 ]$ Q# [4. FA house現在有出 InGaAs detector，經實務比較，確實有很高的偵測率，對於 uA order的電流，有更高的機會偵測，只是這時就要考慮 cost 與值不值得做的問題了

hawka

我目前的整個耗電為 100uA ~ 2mA
而整個面積為 18000umx950um 而BJT 僅 100x100
3 d3 T+ h- ]1 ^/ |$ S5 T0 s而照整個chip (p-sub 那面) 看得到有某些區塊發亮
* `$ d4 L6 x! R# Q9 E; \, H; t/ ?再zoom in 進去照, 發現是BJT發亮
因BJT僅 數uA, 故想請教各位大大,
" V$ V$ Z: D6 X8 r" x. UBJT的junction 電流是否會被EMMI顯示出來??
5 U  D5 X! h8 S9 o$ y: y
. M3 A+ I( h, c) E" G" t7 `' _謝謝

阿光

當 IC 照 emmi 出現多個亮點時，就必須請 designer 判斷亮點電路是否在操作時為開啟狀態，進而判斷亮點是否有意義，並不是說有亮點就代表異常，一般人以為只要 MOS 開啟就會產生亮點，其實並不全然正確，可以確定的是，當 Vg 約等於二分之一 Vdd 時，熱載子效應增加，substrate 電流也增加，此時有極高機會照到亮點，你的 IC 電流雖大，但如果 MOS 的 VDD 等於 VG，反而看不到亮點，反而是屬於電子電洞結合機制的 BJT 會看到亮點，即便只有幾 uA，尤其你是用 backside 偵測，偵測敏感度更形提高。不知你是否是用 CCD detector，如果是，看看它偵測波長的範圍，你就可以發現到 CCD 涵蓋的波長中，電子電洞結合的發光機制是它主要的偵測來源。總而言之，只要你的BJT是在啟動狀態，當然就可能會有亮點。

hawka

根據該公司的網頁, 應該是CCD detector
不過該公司說明 "假錯" 是當 BJT 在飽和區
$ |5 D- M8 c) w. g4 t" P$ p7 C% ]而我的電路設計 BJT應該在 active region, 這樣也會嗎??
- ~' Q5 q* d' V! v1 |! o1 `+ A另外只有九宮格中間的BJT有亮點, 周邊八個BJT無亮點(或說被濾掉了)
; S5 u5 \/ y7 h5 ?(周邊八個BJT的電流為中間BJT的1/8, 我推測應該有影響吧)
謝謝阿光熱心的指導