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[問題求助] tsmc 0.18 BCD process 認不到 w/o salicide電阻

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1#
發表於 2023-10-6 00:00:20 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
本帖最後由 weilun_1016 於 2023-10-6 12:29 AM 編輯
* V8 z6 m/ v8 Z! u' M: y5 o
+ o& f, I# g8 W! @$ D7 ^1 E各位前輩好9 |' F  F9 x1 V2 ]2 m' g
" T: K9 E6 }5 d; w. p" M
小弟最近在畫layout碰到一個問題,遲遲無法解決,因此想上來詢問各位前輩的意見; `. ?+ k8 y' U& @. b( |

, J# y4 X  ~7 q小弟用的製程是 TSMC 0.18UM CMOS HV MIXED SIGNAL BASED BCD GEN2 SALICIDE
6 K1 T( R0 K' v9 U7 |8 D, N* y7 I$ r) G
在畫layout時有使用到 P+ Poly resistor w/o Silicide的電阻,而且都是直接用tsmc他們的PCELL- p  [6 w5 y% e
  j1 u7 _8 l8 |7 Q- O: q
但跑LVS時,layout轉出來的netlist檔卻沒有這個電阻,所以一直有missing instance的情況& b' J- a" t8 O1 U# Q% ^3 X
; h. ~1 O/ V8 z" ]; J  K2 `

3 b/ @* P- t" l0 v! B以下有幾點我有先確認過,因此才推測是不是layout認不到w/o Silicide類型的電阻:
3 F# J8 Z& c- Z$ K% @8 `: G! S, s# B
5 r5 r! q9 W# E* ?+ r1.用w/o Silicide的電阻時,跑LVS時,layout端會有missing instance的情況;一旦改成w/i Silicide的電阻時,LVS即可通過→排除接線問題
# c6 w) V& f% {5 W! i: `( h! L! m* U/ g* }
2.在layout中將所有PCELL內所有w/o Silicide的電阻叫出來,跑LVS時,layout端都不會有Unmatched的元件: i* |" c( i* O8 q# |& F

! n1 K3 @0 M% Y2 A) q5 ?我也有去看LVS Rule的檔案,知道這兩種電阻只差在有沒有RPO Layer (Non-salicide OD Area Definition),也確認PCELL內都包含了應該有的Layer
( P0 L" `! Y+ w5 C! L: _* y0 o) v; z! I1 l$ {" x) r& I

4 m5 I" t2 b0 m3 s. f
- v  j* D! k+ \. {/ u/ V0 Z; `2 A( S若是自己按照LVS Rule定義的layer去畫電阻,就會變成在還沒覆蓋RPO Layer時,layout認的到它是w/i Silicide的電阻[PS],# x3 z* z6 v# y% O7 o: N* M

6 _2 z  {, |+ V' V2 R一旦在原有w/i Silicide的電阻覆蓋RPO Layer,就missing instance了。# z& Y/ _5 ?3 s4 O+ c8 m1 n

- `+ Z' `, ], d0 e9 Z請各位有經驗的前輩能提點一下小弟,要怎麼解決這個問題,已經被困了好幾天了/ B8 u% Q2 v5 U' l, n. n% G
# A9 h1 o2 Q! n0 h5 U- N! E& m6 `
0 }) R7 v% A$ o6 q" O
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