MoM電容在LVS的錯誤

wuhy

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7 y0 c7 V! V9 u4 D各位好，小第剛進入Layout工作不久，最近在繪製M1~M4的MoM遇到LVS和schematic對不上的問題
使用的製程是SMIC013，使用工具爲Laker/Calibre
9 v: C& Y) u" l/ I  wLVS錯誤如圖：h ttps://imgur.com/vnbjH5V

# @3 u8 u: m3 w0 W0 @/ Znetlist如圖：h ttps://imgur.com/IF8qvhC

layout如圖：ht tps://imgur.com/amp5eSM
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1 Z3 t$ k6 A. v1 _% e) ~
5 M8 s( Q% I2 J4 _/ e我確定我有加上MoM的layer讓LVS去認
5 h5 B1 P9 a7 t" I' z從LVS可以看到他有抓到MoM，且生成了mom14_ckt的子電路
- z5 I; A6 T% ^; e& n但問題是LVS生成的layout spice內mom14_ckt是空的（我猜是based on名為empty_subckt.sp的檔案生成layout spice）
  I: f" Y; ~# p: w( j所以LVS才會報錯

, r6 L1 i) R$ Z% ^我有看到有人在Calibre->Setup->Netlist Export Setup的Include File填入empty_subckt.sp的路徑(h ttps://zhuanlan.zhihu.com/p/87398682)

- Y" n% z' }. u% v1 G7 ~$ B
6 n$ O. m) Z" Q; I* |  Z但我使用的laker找不到能設定netlist export的地方
3 `' l3 b% O% v5 O2 h) V. nht tps://imgur.com/jzWvgoV
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請問各位先進我該如何處理這個問題？

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