各位前輩大家好: & B7 A `" E+ w2 R3 y小弟最近在使用UMC 0.18製程準備下線,1 Q6 J1 G% g: r. _
在跑DRC時卻一直出現以下的錯誤,5 g. c7 d% J, @+ H) t8 P Z) ? W
4.1M --> Minimum DIFFUSION density over 500um x 500 um areas is 20% in % moved in 250um increments across the chip.3 ~, a7 `2 G9 w" A. e
將此錯誤highlight起來後,發現是M7發生錯誤,原先佈局設計是將M1利用M7保護,M1尺寸比M7還要小, e) ?9 u# L) n' |2 z* ~+ s/ P
在佈局時都有依照design rule來進行佈局,一直無法將此錯誤排除, & m8 _8 K; W+ _- c7 f想請問各位前輩以上錯誤是因為什麼所造成的?