新製程,technology file該如何編寫?

averyer

各位前輩想請教關於offgrid的問題,
7 ]# U! o0 u$ n% R/ X6 b9 k小弟目前剛接一個project,
. T# s3 c/ _! v  I% F/ L2 p9 P6 O手邊資料有
4 _- ^1 U. \1 c0 r0 c(1). design rule,裡面layer層min grid->0.005
+ e' N& d0 K; ]4 T( v3 c+ P1 N4 g(2). drc command file, precision:1  resolution:1000
8 A- x/ n  N0 L, H" G" J2 ?
+ `  Q! M, z: K  n% ]因為手邊無technology file,所以需自己編寫,
但在technology file裡有,  dbscale
                                      dbresolution
% ~, ~- b- x3 ^7 B                                      xgridspacing
9 [6 j8 F) U( m0 c3 ^8 M5 T, K, X                                      ygridspacing
, I8 N) F3 a5 ^* p( o5 y                                      majorgridration
) @0 E+ N7 ^  ]
9 K6 o& _0 O5 Y) K4 T: R7 u上述指令分別代表什麼意思呢?
4 Q" K$ d. D( j: L- @" t2 K, }
我一開始是
      dbscale          0.001
0 c; _+ T$ a$ v) @5 I8 E! B3 R         dbresolution  0.001
         xgridspacing  0.001
/ Y2 ]$ s( F6 I1 {" n  [3 [8 ~         ygridspacing  0.001
# X" t3 X( h' z  W         majorgridration 5
7 b  ]3 x2 v2 U0 _0 J但會有offgrid error,是我那裡搞錯了嗎?

motofatfat

改成
- v) S- ]9 |: {, o9 b1 _9 `dbscale          0.001
         dbresolution  0.005
' K3 F0 m/ ^7 a6 ], b         xgridspacing  0.005
         ygridspacing  0.005
         majorgridration 5
! W5 R; a7 {! v' U% c3 t試試

ninesky

dbscale 尺標最小單位 通常是0.001
dbresolution  游標可移動最小距離 通常是0.005  較低階的製程會用0.01
# s6 t% }8 c; v1 n/ v6 X) mxgridspacing  圖上兩個小點的水平距離
, D7 D' v7 `! J; T! l, G$ ~2 oygridspacing  圖上兩個小點的垂直距離
majorgridration  幾個小點會做一個大的點 通常是5
( t+ n; m) K6 Q5 o2 `
如果會有off grid
就是因為你的可移動距離設的太小
7 F% c/ h( V4 r, P: h; M小於drc command file的設定
有兩個選擇
將tf的dbresolution調大
& b) f- Y! k! C或是將drc command file的設定調小