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不過在實務layout上debug antenna DRC issue實,確必需以top metal 來跳線或是加足夠are ...* l: C) R2 @% Q$ c
ada1973 發表於 2011-7-14 02:51 PM
首先要明白Antena发生在Fabarication的过程:过长的金属会像天线一样收集电荷<=电荷来源于Fabrication中广泛使用的Plasma. 4 e$ a- M9 U; ?9 ~现在明白了吗?只要保证在使用Plasma时,连在Gate上的Metal长度不超过一定范围(不管是Metal1还是更高层的Metal),它所收集的电荷不会产生足以击穿Gate的电压,那么Gate就是安全的7 B+ H8 F' F. e
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这也就是为什么采用断开下层金属用更高层金属跳线可以消除绝大多数Antena效应的原因;而插入Area适当的Diode,就是为了在Fabrication过程中消除过多的电荷积累,在无法用跳线解决Antena效应的情况下,插入Diode通常不会影响电路的功能和性能,视Designer的要求了