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請問大大,我現在想學關於高壓製程Layout& v. y( }) j0 c' a- \
那我對高壓製程的構造不是很了解,可以介紹網站或資料給我做參考 ...+ o& Z7 z1 B6 V% e2 ~: X
b0917353006cool 發表於 2011-6-10 06:20 PM 0 a+ ]( N& u% n/ O) u( _, U
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個人淺見,分享下關於高壓製程和佈圖學習應驗
* R" n7 e M9 W' o1:首先理解目前我們HV製程的一個簡單劃分
5 r' u. Z3 \# v7 x1 m9 A3 _ 不同的廠家,會有不同的定義,在深亞微米中,可能5V VBRDS的Device已經被識別為高壓。( L7 {! L: T: k6 C9 C3 ^ F
依據VBRDS/VGSmax大致可以作一個劃分: {: b2 O$ d# M4 C; n# S; t
LV9 {; J- S+ m7 n
VbrDS<5V1 q: g- V5 _' r, E9 r# P
MV & }) g% }: s# q" k# t3 f4 p. G
15V<VbrDS<25V
' P- _+ J1 [3 p HV
$ E6 ?/ n( \! K% A2 k 30 <VbrDS<45V
) R& v% ~6 W3 y; ^$ F 45<VbrDS<80V) o- y+ a; \, o: z1 i: ?
UHV
3 z4 G, N8 K! \ h 80<VbrDS<120V
6 t6 k. y9 r# N' u9 [1 Q5 q 500V<VbrDS, G/ A$ F. l+ r7 C, s
800V<VbrDS
: W6 [( T2 I. j3 l- J1 x3 T1 S; w 目前大致會做這樣幾個區間的劃分,這種狀況與製成本身的發展,產品系列兼容,甚至考慮兼容早期BIPOLAR用於電力,電機產品有一定關係。
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2:此後,可以按照自己學習興趣與工作需求,選取制定學習計劃/ D, t% _& }! d5 ]6 R! [: w
並理解器件的物理和電學特性
, f+ \# w1 I7 a& ] 這樣做是必須的,好處也很明顯。只有這樣才能避免犯錯誤,才能理解高壓規則的制訂依據或者限制級在那裏。
h! [; z* E1 o0 B* w( R' U* ^ 一些圖書是必須的,製程介紹類的圖書相信大家都不會缺少,特別強調下,在30V以上時,最好下功夫對LDMOS做細緻的學習。2 E5 @2 u5 F- V3 [4 j3 q/ F5 F* T
如果涉及到80V左右的應用,尤其需要謹慎,因爲在CMOS時代這個電壓區間是比較尷尬的,HVI可能會帶來leakage current的問題,一定要與廠家做好細緻溝通,並在Pre-tapout前作好Review。) W6 ^" c, i; y
500V之上的的單片集成應用必然會涉及到Resurf技術或者SOI的應用,這樣的製程會與普通的結隔離又較大的差異,HVI也會帶來影響。不過一般廠家都會給出一些解決方案,: H1 ^5 P, W* y' B
IR,摩托等等公司也產生了很多專利 ,讓人感嘆設計師的創造力之強 。0 m0 h$ H' d. h+ S( o8 i3 {/ X
理論的學習,
; L5 t9 y+ J+ |* A/ W 推介使用陈星弼老先生的那本《功率mosfet與高壓集成電路》,這是一部相當老的圖書,出版于幾十年前,但是對基本結構,如場板,終端結構等等的介紹很清晰明瞭。
) ]" w" o0 D5 g& \ 原書已經絕版,好在資料可以到網路上搜索到。8 H4 F4 T1 W# |! P/ S2 X
) Z$ A' ?" _+ o( w1 `" Q a3:實踐
( _4 A) U7 F( d" e/ D& Z' u2 T 檢索了目前大多數的論文與報告,並不令人滿意。在這個工程領域,主要的技術應當是各個廠家。8 S0 P+ Y$ o; i3 [: a" G
UMC/TSMC年前都對這個領域作了開發,可能主要的目標是指向對新能源產品的支持,可以咨詢並下載相關文檔。其中給出了Refrence Rules和相應的guide line,這些規則大部分對其他產品設計依然有
) ^! `4 k+ R" \5 R 參考的作用。此外 X-FAB,AMIS在這個領域可以說是歐美洲區域領導者地位,結構也與台系有區別。尤其AMIS。不過好像已經被ON收購,可能會在合作中產生一定障礙。
1 _! y" ~$ P3 t 特別提一下新竹的EPISL,應當是臺灣較早投入這個領域的廠家之一,EPI是HVDevice的關鍵之一,或許是EPISL的最大優勢。當然,還有極低的價格。
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4:Reverse engineering( W' M* p, h7 |) P% k$ l7 |5 _3 @
對於新的公司新的設計,是個可選,當然僅限與佈圖參考,如果完全依賴,那就驚險了。, E( A& a* g F, Y h/ H& w+ Z2 o2 }9 V4 X/ _
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淺見,歡迎拍塼! |
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