請問 metal scheme 的意思 (ex: 5x2y2z??)

vincent_p0593

請教 foundry fab 所謂 metal scheme x/y/z 意指??
. c! g& i" M) s( L; B8 t* |一般所謂 1P5M 即一層poly (transistor gate, maybe WSix or salicide, maybe single poly or dual poly), 五層金屬層(M1~M5, M5 thick)
  c6 ?  y/ o) P. I0 \) f2 hX/Y/Z??

vincent_p0593

自解 : 昨天 t 朋友打電話來順便求解
7 B% O& J3 \2 {( n8 V* \5x2y2z 表示九層metal, M1~M5 用厚度1(薄), M6~M7用厚度2, M8~M9用厚度3(厚)
每個process node各有其定義的厚度給x,y,z
* K" {" L6 b& c% j5 C) a8 x
: C# m5 v$ `* H- z目前的了解,...歡迎補充.

vincent_p0593

了解所述, 感謝!
如果metal只有4層 這樣是否合規定 : 1p4m2x1y?
: D5 v  X' A! m3 g$ I- PYZ 代表三倍厚度? or customize 2~4倍
Y, YZ, Z都可當top metal?

Thanks in advance.