請問功率二極體/電晶體是使用什麼製程呢?

fsshlin

請教版上各位先進，功率二極體/功率電晶體是屬於高壓高電流的功率元件，必需使用什麼製程來做呢?
. p2 R$ L  u& j隨著電流電壓規格的不同，是否製程也會跟著改變呢?

bernie820

可以去翻翻製程的書

! [. V" T1 h* {+ {1 t9 u) \# S或者是製程文件
, O0 T5 N- `& B  P
* v$ q3 o  Y+ r3 Y再不然把元件書看一看可大概知道是用那些製程完程!

然後以模擬方式去找嘗試

cukow

我们实验室有用.13的锗硅工艺做的

yuany

工艺文件不是都有说明的吗？？
都会有个process flow
& T5 `. j9 i* V- d, e  f
2 w# W6 T/ J5 `, N, F! d/ j8 `CMOS中功率器件只是多了个层次或者改了些规则而已啦。。
比如提高栅压或SD间距

chriskomh

好像是BCD製程?
雙載子CMOS高壓製程?
" u/ Z; D' P, u' Z$ l& y您可以再查查看

dreamflying61

看看电子工业出版社的 半导体制造技术吧！