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各位好,
* f H& w$ S, R. ?' U; f最近在參考Foundry的LPE command file對寄生參數的寫法時,對ATTRIBUTE CAP的語法有些疑惑
5 d+ U r) U5 S8 F# x0 U依照Dracula Reference內ATTRIBUTE CAP章節內Case 4的定義如下
+ }7 C& g1 [) J: ECase 4:
: A1 p3 r( _9 g1 }, pPARASITIC CAP {subType} device_layer terminal_layer1 terminal_layer2& H; h+ H2 P$ z$ j
ATTRIBUTE CAP {subType} areaCoeff perimCoeff depthRange sidewallCoeff
. P3 @+ f( u; e1 _ I; J且參考此章節Example 4 中的例子
Y7 M* |/ {% I*OPERATION
' @* S8 [- S. m% J. |PARASITIC CAP[F] M12 MET1 MET2
7 K' M, r8 F; ?ATTRIBUTE CAP[F] 0.5 1.2 0.2 0.019 ; PIECE-WISE COEFFICIENT; J# D9 [ J: {6 K' u" q4 `% ~
ATTRIBUTE CAP[F] 0.5 1.2 0.6 0.032 ; PIECE-WISE COEFFICIENT
) n, O( w* Z+ g/ y# {2 I1 u& {LEXTRACT NEWE M12 BY CAP[F] PFILE & ; FLEXIBLE EQUATION
5 q9 t2 I2 {: | l" W$ v+ i: eEQUATION C= 0.5*AREA +1.2*(PERI-TPR) + CLL
8 q% k# ?! i S2 ^5 `& K$ m$ [# I...9 R, W! Q1 C: H3 ?: N
*END0 t- s! N* l) @- ]) F$ D( X0 x
( N- ?% k/ S4 u% ^1 q" u j3 p! G其中(若以下解釋有錯請糾正我)3 J7 @0 b3 p0 k" P( C
areaCoeff為M12的單位面積寄生電容值(Ca)3 b, l0 K5 Y; A7 f) f
perimCoeff為M12的邊緣電容值
9 F' K% r& E! bdepthRange為M12距離MET1的距離% v5 ^0 K8 k7 Y/ ?
sidewallCoeff為不同距離區間下M12與MET1的Fringe電容值. q# u2 O* b- ?, C, |4 t
# K3 c3 j! z( r: g3 y/ l以下為我節取一段Foundry的LPE command
! @$ `: }+ v3 E8 K5 g' l' F PARASITIC CAP[A3] M12 ME1 ME2
! y4 i) q: b5 u- T: K) k ATTRIBUTE CAP[A3] 3.871E-05 4.2267E-05 0.42 1.6709E-054 |' L- V; s2 z+ w* p
ATTRIBUTE CAP[A3] 3.871E-05 4.2267E-05 0.966664 4.20651E-050 a0 g; {" A) G! o7 y4 D- N7 Q
ATTRIBUTE CAP[A3] 3.871E-05 4.2267E-05 1.51333 5.99823E-05
8 y" k' R: o8 O2 r) h u: W/ ?; J+ ~ ATTRIBUTE CAP[A3] 3.871E-05 4.2267E-05 2.06 7.1379E-05) c" y" W7 N4 T: t
ATTRIBUTE CAP[A3] 3.871E-05 4.2267E-05 2.60666 7.83301E-05: O' J% q+ O" a2 k c2 G
ATTRIBUTE CAP[A3] 3.871E-05 4.2267E-05 3.15334 8.2139E-051 E3 M. O2 I/ C
為何ME1距離M12越遠Fringe電容值越大?
% y, D& P) a9 S電容不是兩端越遠電容值越小嗎?2 L7 s m! O9 K O- J
還是我根本就理解錯誤?4 ?5 ~- B a4 w0 s) N$ g
懇請各位不吝指教,感謝!!感謝!! |
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