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關於diffusion會放電的事,我以前的designer是用等效電路來給我解釋的' o5 D% M. n+ k0 I% b' @
,那不是單純的那層layer會放電,比方說n diff是用ct打在pwell上,有pn就是8 a5 a9 F }: U% o, j& D
型式上的二極體.' l/ o8 b* F3 W6 U5 ?/ G
關於跳層,半導體製程是這樣的,從一個p基體開始往上做,然後nwell......poly, y( b. n8 M2 q7 B+ S8 b
==>m1==>m2==>m3.......假如你以為半導體製程是一個mos或是一個電阻# Y3 V1 x9 _& F) _) e
這樣去做的,那麼以下的說法,你可能不會了解.
6 B9 L8 t# v, h; _# W1 x5 ?; L假設有一條m1接到poly gate違反antenna rule,我們會用m2在靠近poly gate) b! \' m+ ~1 w* q: ^8 x2 r
的前方做跳接,當製程往上做到m1時,它是一個中斷不連續的狀態,在這個時候,/ \6 u/ |- Y' U" x$ w
想辦法去靜電,然後再往上做.
& n, x4 d8 q2 u* Q, |# w0 V他不是非要最top metal,你用top metal是自己找麻煩,不信去跑一下antenna rule
. o3 q) u4 [) ]" K: W6 c4 Y. q- C就知道了. |
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