請問 metal scheme 的意思 (ex: 5x2y2z??)

vincent_p0593

請教 foundry fab 所謂 metal scheme x/y/z 意指??
一般所謂 1P5M 即一層poly (transistor gate, maybe WSix or salicide, maybe single poly or dual poly), 五層金屬層(M1~M5, M5 thick)
X/Y/Z??

yytseng

回復 2# vincent_p0593

. w2 {( j- k' G- r2 p% K2 t5x2y2z = 1p10M
( P; }  f- j% G+ Q6 E
台積的metal定義中
5 g* D# C1 u% R+ l8 L6 LM1 為預設 寬度厚度不得更改 其他客戶可根據自己需要選擇要出幾層metal 光罩..但是最上層必須要厚的....
+ U) c/ ^: E0 w- Y( A: J  C! g* QM2以上為 X 代表一倍厚度
M5 以上可用 Y (兩倍厚度) 或是 YZ ,或是 Z(四倍厚度)

不同的 metal 組合,有不同的 min pitch 以及對應的 RC 當然 DRC rule 也不同
/ p1 s" F! }; _+ Z
1p10m5x2y2z 代表 m2~m6為 X, m7,m8 為Y ; m9,m10為Z 如果有RDL (flip chip package bump route) 則還多一層 AP (鋁)
詳細的說明拿到台積的kits都有,客戶必須要透過正式管道才能拿到

vincent_p0593

自解 : 昨天 t 朋友打電話來順便求解
5x2y2z 表示九層metal, M1~M5 用厚度1(薄), M6~M7用厚度2, M8~M9用厚度3(厚)
. I2 V% R7 P3 [( ]2 R每個process node各有其定義的厚度給x,y,z

目前的了解,...歡迎補充.

vincent_p0593

了解所述, 感謝!
9 y  w4 a' U$ Z! O如果metal只有4層 這樣是否合規定 : 1p4m2x1y?
0 Z, e8 O5 a* P9 EYZ 代表三倍厚度? or customize 2~4倍
* q" z! A% V3 C- aY, YZ, Z都可當top metal?
; p, V+ y! c0 i0 X; @6 }  L5 p
Thanks in advance.

cmyangf

要看哪一個process ~~ 有些有提供Ｙ當top metal 的. 要把design rule翻出來看.

AnnLin

原來如此, 長知識了! 感謝!

lowstar

Wow
I think this is an important item for engineers work in foundry and IC Design house.
& D2 ^) M$ [2 d" j+ G; ~! v* D

charlie0050

解了我心中的疑惑 謝謝大大
" Y: s, X% k# m1 S" o