請問MOS 製成中silicide 是做什麼用的？？

hyseresis

請問MOS 製成中silicide 是做什麼用的？？
是如何形成？
作用是什麼ㄋ？？

motofatfat

可以把它想成多一層 導電用物質
9 l; T" |2 q) \1 J. \; m& @5 E. p幫助導電 ,只會附著在 poly & diff 上
' E% n" m, \! A9 t會全面灑在晶圓上　如果　不想有
2 z. U) P3 Z' m4 k的地方就用　ＲＰＯ(t) 或　ＳＡＢ　(u)
: r4 E) ]; s3 u' ]" j圍起來　那各地區　就會是　nonsilicide
阻值較高　通常用在　電阻　和　ＩＯ　ＣＥＬＬ　上

hyseresis

感謝！！原來如此阿!!
之前一直不是很清楚,是做什麼的！
現在了解囉

jauylmz

延續 二樓的說明   
Silicide 又名 金屬矽化物  常用的幾種( TiSi2、NiSi、CoSi2、WSi2 )

記得以前還有Polycidce 只用在 Poly 上的