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本帖最後由 weilun_1016 於 2023-10-6 12:29 AM 編輯
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各位前輩好# x7 n1 t% x6 E+ a
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小弟最近在畫layout碰到一個問題,遲遲無法解決,因此想上來詢問各位前輩的意見
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小弟用的製程是 TSMC 0.18UM CMOS HV MIXED SIGNAL BASED BCD GEN2 SALICIDE' H1 o8 l2 p$ f& @% D: [" B. O" t
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在畫layout時有使用到 P+ Poly resistor w/o Silicide的電阻,而且都是直接用tsmc他們的PCELL c4 u: Y3 s h+ ~/ d
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但跑LVS時,layout轉出來的netlist檔卻沒有這個電阻,所以一直有missing instance的情況8 r& t. D: v) r* ^4 W! t
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以下有幾點我有先確認過,因此才推測是不是layout認不到w/o Silicide類型的電阻:
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8 i4 G/ o% R! |3 M s7 \8 Z0 J) k1 W1.用w/o Silicide的電阻時,跑LVS時,layout端會有missing instance的情況;一旦改成w/i Silicide的電阻時,LVS即可通過→排除接線問題
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$ U8 ]' x: d! r" k6 _/ {3 E2.在layout中將所有PCELL內所有w/o Silicide的電阻叫出來,跑LVS時,layout端都不會有Unmatched的元件
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我也有去看LVS Rule的檔案,知道這兩種電阻只差在有沒有RPO Layer (Non-salicide OD Area Definition),也確認PCELL內都包含了應該有的Layer- d3 c1 Z1 s+ f! C) ^5 K& R$ ]) j
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0 S' {9 l% j. P+ i若是自己按照LVS Rule定義的layer去畫電阻,就會變成在還沒覆蓋RPO Layer時,layout認的到它是w/i Silicide的電阻[PS],( A d% a t" W9 `8 H
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一旦在原有w/i Silicide的電阻覆蓋RPO Layer,就missing instance了。
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8 `( g8 _" o. ^" i5 y* k8 @) N請各位有經驗的前輩能提點一下小弟,要怎麼解決這個問題,已經被困了好幾天了# @, n+ R9 e) T* K6 q: L
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