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[問題求助] tsmc 0.18 BCD process 認不到 w/o salicide電阻

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1#
發表於 2023-10-6 00:00:20 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
本帖最後由 weilun_1016 於 2023-10-6 12:29 AM 編輯
9 Y5 H9 d# `& h8 c* r$ }2 [# y/ c* }4 j
各位前輩好# x7 n1 t% x6 E+ a
/ e) e9 a* Q4 t& n
小弟最近在畫layout碰到一個問題,遲遲無法解決,因此想上來詢問各位前輩的意見
4 a" `  l& u" i, B, W! Y3 d# ?" j. c+ Q( r
小弟用的製程是 TSMC 0.18UM CMOS HV MIXED SIGNAL BASED BCD GEN2 SALICIDE' H1 o8 l2 p$ f& @% D: [" B. O" t
' ^- F1 W3 v, w  i6 p0 N$ G$ B7 @
在畫layout時有使用到 P+ Poly resistor w/o Silicide的電阻,而且都是直接用tsmc他們的PCELL  c4 u: Y3 s  h+ ~/ d
5 U7 E3 M# z' T) J9 M- L# }$ }
但跑LVS時,layout轉出來的netlist檔卻沒有這個電阻,所以一直有missing instance的情況8 r& t. D: v) r* ^4 W! t

: i9 \/ ?- D1 F2 _% D. x, Q9 b; D; {
以下有幾點我有先確認過,因此才推測是不是layout認不到w/o Silicide類型的電阻:
3 [; A& L( ]( |5 k5 Y: I
8 i4 G/ o% R! |3 M  s7 \8 Z0 J) k1 W1.用w/o Silicide的電阻時,跑LVS時,layout端會有missing instance的情況;一旦改成w/i Silicide的電阻時,LVS即可通過→排除接線問題
. k( g& S4 W, V. C1 v
$ U8 ]' x: d! r" k6 _/ {3 E2.在layout中將所有PCELL內所有w/o Silicide的電阻叫出來,跑LVS時,layout端都不會有Unmatched的元件
2 n9 I: ~5 l" z4 f4 k# O' X( f3 _7 g9 t; {& T( @
我也有去看LVS Rule的檔案,知道這兩種電阻只差在有沒有RPO Layer (Non-salicide OD Area Definition),也確認PCELL內都包含了應該有的Layer- d3 c1 Z1 s+ f! C) ^5 K& R$ ]) j
: a% K. G4 N( v
- W, F) e) l/ l9 k1 H

0 S' {9 l% j. P+ i若是自己按照LVS Rule定義的layer去畫電阻,就會變成在還沒覆蓋RPO Layer時,layout認的到它是w/i Silicide的電阻[PS],( A  d% a  t" W9 `8 H
( N7 \6 n8 {& C. u  v! T, B
一旦在原有w/i Silicide的電阻覆蓋RPO Layer,就missing instance了。
8 T/ ~" e& r0 ~$ v
8 `( g8 _" o. ^" i5 y* k8 @) N請各位有經驗的前輩能提點一下小弟,要怎麼解決這個問題,已經被困了好幾天了# @, n+ R9 e) T* K6 q: L
% v% a8 p+ x4 i! y0 ^6 ^

# v8 h! \  {. L  j% T
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