各位前輩大家好:# J2 J; x4 v: n# E3 d
小弟最近在使用UMC 0.18製程準備下線,+ e7 m9 Q" O- r' t; ~ t
在跑DRC時卻一直出現以下的錯誤, ) d4 g1 y6 f$ U4.1M --> Minimum DIFFUSION density over 500um x 500 um areas is 20% in % moved in 250um increments across the chip.# \2 O% v1 {( i# C- @
將此錯誤highlight起來後,發現是M7發生錯誤,原先佈局設計是將M1利用M7保護,M1尺寸比M7還要小, 3 r( w/ p: s& p! |在佈局時都有依照design rule來進行佈局,一直無法將此錯誤排除, 2 e# m, I' S1 |6 ^) p想請問各位前輩以上錯誤是因為什麼所造成的?