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[問題求助] 新製程,technology file該如何編寫?

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1#
發表於 2011-10-11 20:48:10 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
各位前輩想請教關於offgrid的問題,/ P& s* a1 c, l0 ^8 @
小弟目前剛接一個project,
  n& s. z3 p2 S$ _% v' a手邊資料有% U: \# k! G, \/ l
(1). design rule,裡面layer層min grid->0.005
3 M/ {+ ?  X5 R& `# U(2). drc command file, precision:1  resolution:10001 V* V0 J& \$ p' J, ]7 W% L8 J
  {: c4 }7 H$ X8 c) `- B* Z/ V
因為手邊無technology file,所以需自己編寫,
' J5 y2 U* O1 _但在technology file裡有,  dbscale
4 L! F3 G. m' G: K% B, p8 P7 C                                      dbresolution8 t2 _* L1 X3 Y1 f( w3 _
                                      xgridspacing
4 N# m6 U: |, J" X* I                                      ygridspacing8 y8 B$ V: G7 I
                                      majorgridration
1 B7 ~; y5 j8 E+ O' L
8 D! {0 K. H& W% Q  W上述指令分別代表什麼意思呢?
% u3 _4 t1 C8 _# X) V! P4 j
6 \/ A* E7 F3 o' u- O& w我一開始是
! Z+ {5 p7 G* y0 q' F% W8 f      dbscale          0.0016 g$ Y* }5 O6 @) ^* B
         dbresolution  0.001- l- p" ]5 V" u; o
         xgridspacing  0.0014 D+ X' C9 C) F
         ygridspacing  0.001- d1 I& U- N$ s( L  e) G
         majorgridration 5
, K- H2 A' ?8 |5 {0 h; y% n3 H但會有offgrid error,是我那裡搞錯了嗎?
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2#
發表於 2011-10-17 14:20:16 | 只看該作者
改成
0 O, `, {  R6 |- [: J" odbscale          0.0017 \3 M: B8 `2 F! ]6 |
         dbresolution  0.005! R& J, G6 R) Y8 }( N
         xgridspacing  0.005
) ]3 I$ f5 c  X: [) W         ygridspacing  0.005! T( ?) _( g# v$ w9 p
         majorgridration 5' ^& j2 q6 ~! i- [+ `
試試
3#
發表於 2011-12-2 11:06:29 | 只看該作者
dbscale 尺標最小單位 通常是0.001
3 F% j: y$ Z, \. _/ R$ K! qdbresolution  游標可移動最小距離 通常是0.005  較低階的製程會用0.01
4 p# P; h; p( L, F1 k, }- g- cxgridspacing  圖上兩個小點的水平距離
1 h4 x4 a4 L1 t3 x2 y0 Fygridspacing  圖上兩個小點的垂直距離
9 k/ c7 J2 ]9 c4 Jmajorgridration  幾個小點會做一個大的點 通常是5! s( A" j' ?' w6 Z
5 q9 p4 F; D+ M. q$ i- V8 h
如果會有off grid
' H; v( J4 T% G0 q" T' q就是因為你的可移動距離設的太小! R  Q# A9 g  m! d
小於drc command file的設定
5 ~& _; S# ~2 {+ o* H5 W有兩個選擇
2 X1 U& J) \% N- U: i' R0 M將tf的dbresolution調大3 G- R! u& w6 V( D
或是將drc command file的設定調小
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