請問 metal scheme 的意思 (ex: 5x2y2z??)

vincent_p0593

請教 foundry fab 所謂 metal scheme x/y/z 意指??
一般所謂 1P5M 即一層poly (transistor gate, maybe WSix or salicide, maybe single poly or dual poly), 五層金屬層(M1~M5, M5 thick)
X/Y/Z??

yytseng

回復 2# vincent_p0593
3 N$ x8 B* J/ V+ U4 T( A4 {/ ^0 J
" e* s7 a' b  y, l% N. k5x2y2z = 1p10M

+ a6 W* l- G$ Q$ b6 D% w4 K台積的metal定義中
: ~( H# S) T" C  W) J8 b# qM1 為預設 寬度厚度不得更改 其他客戶可根據自己需要選擇要出幾層metal 光罩..但是最上層必須要厚的....
M2以上為 X 代表一倍厚度
( X7 g* A6 ?1 l8 e; L- SM5 以上可用 Y (兩倍厚度) 或是 YZ ,或是 Z(四倍厚度)
0 Z+ f' u$ Z2 n, m9 r8 G& Y' C
! h+ t* _+ A% W- ?2 H不同的 metal 組合,有不同的 min pitch 以及對應的 RC 當然 DRC rule 也不同
; i) W% D/ n% G
1p10m5x2y2z 代表 m2~m6為 X, m7,m8 為Y ; m9,m10為Z 如果有RDL (flip chip package bump route) 則還多一層 AP (鋁)
詳細的說明拿到台積的kits都有,客戶必須要透過正式管道才能拿到

vincent_p0593

自解 : 昨天 t 朋友打電話來順便求解
5 J1 v6 f$ o, ]5x2y2z 表示九層metal, M1~M5 用厚度1(薄), M6~M7用厚度2, M8~M9用厚度3(厚)
  Q0 |- L0 R4 c1 E9 U& m5 K! ^4 z每個process node各有其定義的厚度給x,y,z

目前的了解,...歡迎補充.

vincent_p0593

了解所述, 感謝!
2 H, O. \, T5 |0 J: |如果metal只有4層 這樣是否合規定 : 1p4m2x1y?
9 R, W$ n- _- hYZ 代表三倍厚度? or customize 2~4倍
) y. o, V( s+ g; @3 h, J( ^  N' NY, YZ, Z都可當top metal?
- c6 F! I0 q7 s' Z
* f5 A' R: V, i0 U1 I; n) t8 GThanks in advance.

cmyangf

要看哪一個process ~~ 有些有提供Ｙ當top metal 的. 要把design rule翻出來看.

AnnLin

原來如此, 長知識了! 感謝!

lowstar

Wow
+ s# _: P7 c! F2 ~4 _9 [/ i+ f, TI think this is an important item for engineers work in foundry and IC Design house.
6 \* x4 m2 v6 V2 R
. z- p( i. v8 Z! R2 W
2 g, |# Q) r# J; `1 z: g' u: d

charlie0050

解了我心中的疑惑 謝謝大大
6 ~' R2 r: a; E: _! F