DRACULA 中的ATTRIBUTE CAP問題

comochen

各位好,
& w, ~9 d6 u# ]) Z8 `# T: c最近在參考Foundry的LPE command file對寄生參數的寫法時,對ATTRIBUTE  CAP的語法有些疑惑
9 C+ m" j7 R; ^' d: X" J' f! b依照Dracula Reference內ATTRIBUTE CAP章節內Case 4的定義如下
Case 4:
2 y! b" I1 p- j! B" ]PARASITIC CAP {subType} device_layer terminal_layer1 terminal_layer2
5 J( s; |' U: L2 JATTRIBUTE CAP {subType} areaCoeff perimCoeff depthRange sidewallCoeff
/ B( o; I1 k  W8 w1 \! M且參考此章節Example 4 中的例子
*OPERATION
PARASITIC   CAP[F]      M12 MET1 MET2
5 K6 z7 @( e5 I4 v6 |7 C3 bATTRIBUTE   CAP[F]      0.5  1.2  0.2 0.019 ; PIECE-WISE COEFFICIENT
" L2 i+ [3 ?" L8 \9 ]1 d& gATTRIBUTE   CAP[F]      0.5  1.2  0.6 0.032 ; PIECE-WISE COEFFICIENT
LEXTRACT NEWE M12 BY CAP[F] PFILE & ; FLEXIBLE EQUATION
EQUATION C= 0.5*AREA +1.2*(PERI-TPR) + CLL
3 m& O8 v% }3 `! j...
6 u2 \7 B* d9 S+ \2 s*END
4 G9 |2 F  t& `$ j
其中(若以下解釋有錯請糾正我)
areaCoeff為M12的單位面積寄生電容值(Ca)
perimCoeff為M12的邊緣電容值
" I- v; l4 j1 I) |) ZdepthRange為M12距離MET1的距離
2 a, z8 ]' ~" L, y* Z5 s6 d/ f( QsidewallCoeff為不同距離區間下M12與MET1的Fringe電容值
+ r& n3 K/ S# @8 m$ t
( N/ q- z2 ~; a9 m+ A  g3 @以下為我節取一段Foundry的LPE command
' [  |/ y* ]  L7 J: z' c   PARASITIC  CAP[A3]  M12      ME1       ME2      
   ATTRIBUTE  CAP[A3]  3.871E-05 4.2267E-05  0.42  1.6709E-05
/ M- F& y' v* l( ]   ATTRIBUTE  CAP[A3]  3.871E-05 4.2267E-05  0.966664  4.20651E-05
   ATTRIBUTE  CAP[A3]  3.871E-05 4.2267E-05  1.51333  5.99823E-05
   ATTRIBUTE  CAP[A3]  3.871E-05 4.2267E-05  2.06  7.1379E-05
8 \! i; b) S8 ]& H2 G5 k6 F   ATTRIBUTE  CAP[A3]  3.871E-05 4.2267E-05  2.60666  7.83301E-05
- C& E* A0 B5 t   ATTRIBUTE  CAP[A3]  3.871E-05 4.2267E-05  3.15334  8.2139E-05
為何ME1距離M12越遠Fringe電容值越大？
電容不是兩端越遠電容值越小嗎？
還是我根本就理解錯誤？
懇請各位不吝指教,感謝!!感謝!!

jkchien

你對sidewall coeff理解有疑問，你的中文解釋和圖形例子有問題
那張圖是用來說明case3 fringe coeff ，不是用來說明case 4
+ ]3 n) J9 ~3 E. d" X' M; ucase 4是 除了原本的area and peri parameters，對sidewall-up或是sidewall-down作coeff 做出計算並且透過公式加總等效電容值