|
用drc report上的坐標來找error5 O6 c, S5 S/ Z: @3 b
卻發現error是在corner LL之中
! ^! _: B1 d1 K如附件圖 970926-1.jpg及970926-2.jpg
0 Z. u9 D1 g; {; B4 P(兩張圖上的2個小白點即是問題所在)
) ?. V* T# V1 m這是在corner LL之中請問這該如何處理呢?
& j' j7 d; K5 q9 w! c' g將calibre drc嵌入astro中,點error坐標也是顯示在 corner LL
, E' g5 R4 x @8 r已確認過了corner LL沒有任何的線及cell放置。
# {( w! E; K4 t& N& l3 X+ `2 C$ x請各位大大幫幫忙,小弟先在這邊謝謝各位前輩了7 U1 s* U7 o% p) F# {/ c7 d
坐標及error message 如下:
) u& ? }# H( E9 C$ |) a4 c+ CM5.W.1$ p+ u' p) y" h. q7 N6 u
8 8 3 May 12 17:34:49 2009
, B: m4 k5 N2 t D8 Z% UM5.W.1 { @ M5 width < 0.28) k. i: c$ q' v! z
INT M5 < 0.28 SINGULAR REGION ABUT < 90& q* L9 h) y3 P* V" j1 y3 q3 T
}
7 c$ g" d2 M& J& L! r Ip 1 3
$ V) m1 p4 E8 d7 n" n3 e2 S205180 235000: M6 R& ~ W& t7 u. e8 `
205460 2347208 x4 G1 j: s& E
205576 235000! t* Z5 }9 @ M4 V* r/ I
p 2 33 D$ {3 ?# t. @2 B3 y
207720 235000" {( J7 q) @1 E$ f3 }: e1 ~, S6 c
208000 234720
8 b* P) t5 _& q7 J0 x; M1 L208116 2350005 M% r6 `0 f& b7 H
p 3 31 @. E: t, _2 A/ N
217525 235000' U6 H5 _- P2 @( k/ }6 ]' r6 Q1 A
217805 234720
: e* p5 e. g2 T1 u217921 235000
5 w' Y- Z. v. C- r) `) v' y3 op 4 3
0 [4 y% }/ j) z1 v226625 235000: \3 h$ W& z/ U) @3 @9 }
226905 234720/ U: i6 l+ p1 o# I
227021 235000
$ \- t& z8 v! lp 5 3$ Z9 G% l% r3 Q, J1 c) V w
234720 205460) n/ q, _5 d- E! l: L0 r
235000 205180
! `. F4 x* A8 M' w) V1 p235000 205576
P! W' m9 M" y, Fp 6 3$ f- L5 q4 F0 |) U) g' F0 v' f
234720 208000
& i t% N* _8 b- u235000 207720
. L& v7 o- p @2 a7 B235000 208116& h$ _+ j/ {; V Q8 [% Z
p 7 3/ k! F9 m) p$ I/ d. O; e8 l5 ]
234720 217805( H/ x' ]. f, _; f8 E% ^
235000 217525$ ~2 B- O6 U( ~/ C
235000 217921( ]5 H6 Z3 |; ^7 |9 u r. d- M
p 8 3, |/ d6 p6 `( ]
234720 226905
5 E# Q& K; E3 o- L; ]235000 226625
; s; _& i3 t7 d0 Q5 |" i235000 227021
% t5 V8 D- b: Q9 E( S; m( F2 b' [M4.W.18 e2 w; ?+ H3 H9 i- d, r
8 8 3 May 12 17:34:41 2009 - J; q2 A+ z, _2 u K' @) ?
M4.W.1 { @ M4 width < 0.28
' D ]/ g/ w& U9 M4 l4 g, U$ y INT M4 < 0.28 SINGULAR REGION ABUT < 903 _% y: X0 I( r! N0 B5 R) _
}3 z1 l! K' p, ]& u* Q" R0 {
p 1 3# C( G% J3 n( B3 j0 }/ Q2 `
205180 235000! Z" N* x6 U( R5 z
205460 234720
/ h& Y0 A* a7 K0 |9 C, }205576 235000% C4 r; Z6 l+ q
p 2 3
. W2 |: U, O+ u& B' {207720 235000
9 C0 H2 r4 w8 H; I/ t& |208000 234720
+ w- s$ w: Q; F$ g9 B208116 2350003 K- F4 e, O1 d& |) ?7 G ?( D1 r2 c7 P
p 3 3
9 M' M8 P, T/ h R3 M) `217525 235000$ B& A( {& e2 A9 z
217805 234720: P% g/ c1 j8 a9 \3 J$ T5 [; F
217921 2350000 G) }: p2 F2 r7 U3 j
p 4 3
- d: N. F: O; f7 h+ E9 O226625 235000
! @' X* K5 {! [4 L% h a, U226905 234720
" R/ i! X& N+ T d227021 235000. E! G; h) T' I$ B( f
p 5 3, ]$ k& m6 u1 y/ k* \6 j
234720 2054608 L& Q# w% N7 ]: ^# I
235000 205180' Z7 _4 L G- _* N4 B+ _4 B
235000 205576
2 ], |; c9 t5 p& R8 F" ?p 6 3
6 [' n2 y2 j, U4 M9 y234720 208000
% i8 J- N0 {, v% Z3 `235000 207720! l2 w" n: @: k3 M
235000 208116
0 E4 N; U1 Q. K' Z1 z$ g8 }+ [p 7 3
& w* l. R. ?& ], {& B6 L0 ^( o234720 217805
( i; w9 O! y3 r- _9 T# a235000 217525
* z* c# ?6 k. J4 h235000 217921" k; V! G+ r: N3 x
p 8 3! \; e' ^/ p+ o2 X
234720 226905
! H( b) h. q% C! s" |235000 226625
: J ]' F' E3 I/ B! B( W' d235000 227021
' G" q$ Y. c7 p" y7 a! h
F% q# A- F- @; g8 f* y; }M3.W.1
$ Z& \0 [; x+ O3 C9 F7 W8 8 3 May 12 17:34:15 2009 9 @4 M) z0 P) e9 |
M3.W.1 { @ M3 width < 0.28
7 J5 s9 M5 s) X4 |1 I INT M3 < 0.28 SINGULAR REGION ABUT < 90# N2 ?0 q H/ |! o! _ S
}0 V" z% d! c0 @9 Z. q/ G2 a: w
p 1 3
/ F! c) _8 |' V$ E. H2 p8 ]205180 235000; V$ T4 j5 U) x8 w
205460 234720
0 C0 c& U2 l- l2 x% g |205576 235000" r p2 M& a5 ~" y( r
p 2 35 k9 A: o1 E- k3 I2 i/ [8 a( _
207720 2350000 a3 L1 F: i5 H: @) A
208000 234720: K1 @; ?7 b, a$ Q7 S: d1 ]% l
208116 235000
2 K- |% y' V/ i! m& Lp 3 3* @9 y( O8 B# ?& M4 @1 a( @
217525 2350000 N' i. D# z: P( S" V1 W6 R( w
217805 234720
$ ^( W& ^; R' U6 \% G" A, T217921 235000
1 V2 d8 H. ]* C) c, pp 4 3& v) `0 h' [, ~$ z
226625 235000( k/ j9 W& F3 m9 e( N! C
226905 234720. \# S( B9 g, j5 Y1 T! p
227021 235000- P4 M2 M7 E- g7 w$ x- R! l) N
p 5 37 U$ p0 m! j6 C# e4 B5 j5 Y* C
234720 2054600 g" u6 T3 z! X, O
235000 205180$ L( n9 i9 l0 M, T
235000 205576) I% t( l8 }0 O0 x, V
p 6 31 m0 s2 n9 l: s0 D6 H, H
234720 208000
( k, c9 J! q; ^$ }, i235000 207720
: h! P1 C9 t Y& s9 B, r- p: R4 d235000 2081167 G9 O! D, N% G3 S/ [ T7 m3 Z
p 7 3" d+ z# S; t" g& ]# N/ X& d+ T
234720 217805
+ Q: y# V% @7 \0 |/ r235000 217525
" O9 n3 ?/ t' G H: O; `$ l235000 217921
- j! c, K4 h- b: w& Tp 8 3: x2 i2 Z! F% J0 y' g
234720 226905
. I/ {2 `7 [* a/ v) ?235000 226625$ f2 r7 P6 ^( O
235000 227021 |
本帖子中包含更多資源
您需要 登錄 才可以下載或查看,沒有帳號?申請會員
x
|