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有一本書我覺得蠻不錯的3 i% F) }3 ]$ @8 Q# ^3 x+ p) W. o
原文跟中文書都有 也是大部分技術學院大三大四1 }3 }$ J; c8 d$ }0 k
會使用的 半導體製程概論 教材% _& o6 g4 W' S& Y
看完這本再去看 莊達人的 VLSI 製造技術, 高立出版 1 A t7 f, o" I& O3 |8 {9 L
整個製程概論應該就會蠻了解 (莊達人這本跟施敏的半導體元件物理幾乎每個固態組的學生都會買)0 a$ f6 B6 O/ l. \( \
: _2 X& g9 c7 k1 K) Z& Z0 Y, }
Introduction to semiconductor manufacturing technology7 ?; j! {' B/ _+ {3 x' ~
半導體製程技術導論& K# m# G' `$ {! b
原著 Hong Xiao" v* I* L) y3 ~$ f/ `( N3 V- b
譯者: 羅正忠 張鼎
# l; B q" K# P9 e* L! J; q# A2 d8 B$ f4 M
以下簡列書的目錄1 [7 {: `; q! w
Ch1 導論
' D) F8 O- T* s+ YCh2 積體電路生產的簡介
$ ~5 Q1 m7 c; w' j$ {7 I& Z BCh3 半導體的基礎
; ]+ d, [7 ~: L3 r5 kCh4 晶圓製造1 I9 @' R' d1 z+ y) m
Ch5 加熱製程1 `& \3 h/ n- K2 Q. G& t, \5 K
Ch6 微影技術
2 e A; }( i. F6 u. zCh7 電漿的基礎原理' z' X% N( e$ {" @4 \% o; o% e
Ch8 離子佈植
0 i" w& p% a, _1 h" aCh9 蝕刻
- t0 ^8 X, ~8 P9 h5 c, d/ ^; hCh10 化學氣相沉積與介電質薄膜4 C/ X9 h+ Q0 L4 u5 O0 o4 v8 _; ~
Ch11 金屬化製程9 P9 a7 I! B: R3 h! j
Ch12 化學機械研磨
, C6 M( m# K4 q+ HCh13 製程整合
# p% R% ]& L G! b: L5 m# D% ACh14 CMOS製程1 L% k. K5 ]0 V: y
9 A r' f4 x' w這些都是基礎 到了公司學到的 不同公司的製程 對各個Layer的命名方式都會有所不同# m5 g4 h! y! C0 |+ X6 _& N
學習這些基本理論的原因 是要培養 你對整個半導體 從最底層到最高層一個建構剖面圖的觀念
8 e. M+ l- i3 L7 H) g+ `( n用什麼製程技術產生Oxide做隔離 用什麼製程技術做成Channel
, S1 B) K3 K* R) I, |' t怎麼樣做出濃度不同的diffusion, 寄生BJT或Diode又是怎麼形成的等等" g7 Z+ p' @ Y
" h/ p8 P: m9 U- U) l
在這邊比較可惜的是 以前的交大NDL有 半導體製程的教學網頁 會把0.35um的製程從第一個步驟介紹的最後一個步驟9 ]3 o, `4 s q" c1 s) s5 \& Q
都是用動畫的方式來呈現 對當時還在唸大學的我非常有幫助, 不過現在好像找不到這個網頁了 殘念( _8 ^1 O0 T$ S2 |6 ~
* |% J" t% }" p+ x2 f1 i$ t8 p[ 本帖最後由 yhchang 於 2008-2-4 10:49 PM 編輯 ] |
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