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Chip123 科技應用創新平台»論壇 › Chip1 -- 基礎元件 › Layout設計討論區 › 請問MOS 製成中silicide 是做什麼用的？？
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[問題求助] 請問MOS 製成中silicide 是做什麼用的？？

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1#
發表於 2008-11-21 11:33:06 | 只看該作者 回帖獎勵 |正序瀏覽 |閱讀模式
請問MOS 製成中silicide 是做什麼用的？？. I- O4 a, {* v  s4 e
是如何形成？) V) a7 h$ Y# D- q5 b, i  {
作用是什麼ㄋ？？
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jauylmz
4#
發表於 2008-12-1 17:31:30 | 只看該作者
延續 二樓的說明   , \( V) K7 X& I; D( _& }/ `
Silicide 又名 金屬矽化物  常用的幾種( TiSi2、NiSi、CoSi2、WSi2 )
7 E4 ]" ^" I6 P, S8 ^
+ V: I5 L' }; W, H6 a記得以前還有Polycidce 只用在 Poly 上的
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3#
 樓主| 發表於 2008-11-21 13:07:20 | 只看該作者

回復 2# 的帖子

感謝！！原來如此阿!!
8 _4 q/ z, P2 Z8 I* a% E# p之前一直不是很清楚,是做什麼的！% r8 x$ |" q8 g0 b% I
現在了解囉
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2#
發表於 2008-11-21 12:48:31 | 只看該作者
可以把它想成多一層 導電用物質
9 q( Z9 ?" V0 o$ K幫助導電 ,只會附著在 poly & diff 上
  U1 S5 F4 ?# W  G+ V( E會全面灑在晶圓上　如果　不想有, \7 q2 j4 A' A  d7 o
的地方就用　ＲＰＯ(t) 或　ＳＡＢ　(u)- |- H  x# B. B8 [
圍起來　那各地區　就會是　nonsilicide' g3 k( X! F! y& V6 c* D0 j
阻值較高　通常用在　電阻　和　ＩＯ　ＣＥＬＬ　上

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hyseresis + 3 Good answer! 優質答案！

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