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[問題求助] 請問MOS 製成中silicide 是做什麼用的??

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1#
發表於 2008-11-21 11:33:06 | 只看該作者 回帖獎勵 |正序瀏覽 |閱讀模式
請問MOS 製成中silicide 是做什麼用的??
4 T# J& D6 P2 ~9 Q是如何形成?1 E$ b, \0 ^' _/ J* S8 W6 d3 Q% {
作用是什麼ㄋ??
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4#
發表於 2008-12-1 17:31:30 | 只看該作者
延續 二樓的說明     u7 |9 x. R- G: Y9 l0 S' z* Q
Silicide 又名 金屬矽化物  常用的幾種( TiSi2、NiSi、CoSi2、WSi2 )6 M7 Y% \$ ]8 G( R
- E, z3 k& G6 _: t* g
記得以前還有Polycidce 只用在 Poly 上的
3#
 樓主| 發表於 2008-11-21 13:07:20 | 只看該作者

回復 2# 的帖子

感謝!!原來如此阿!!9 y; X$ O3 g# {! {: H
之前一直不是很清楚,是做什麼的!' }) U8 @* Y- B- `& M: R
現在了解囉
2#
發表於 2008-11-21 12:48:31 | 只看該作者
可以把它想成多一層 導電用物質& K$ T6 h8 h( B  I
幫助導電 ,只會附著在 poly & diff 上+ N4 K: ]+ U3 X' R& h! p
會全面灑在晶圓上 如果 不想有
3 B  L4 v' r' s. O的地方就用 RPO(t) 或 SAB (u)9 Z, c3 ^/ P8 R. `6 ]
圍起來 那各地區 就會是 nonsilicide
6 a4 W0 x/ O5 y- G2 K阻值較高 通常用在 電阻 和 IO CELL 上

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hyseresis + 3 Good answer! 優質答案!

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