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inverter 製程 0.18
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---RUN DRC----------+ G8 L( ?, N: n$ j3 S
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(OD WITHOUT IMPLANT)0 z$ M! L( e4 v3 d8 G7 H+ [
) w; S, P7 D! f! u/ b2.CHECK M1.E.2- 8 errors
7 @# P2 t( j: ? ^1 PM1.E.2(@Min extension of M1 end-of-line region beyond, |, Z# M8 q8 H+ z
C0 region is 0.06um X = ENC[C0] M1 < 0.06 ABUT < 90 opposite
& b# B4 ]1 L" l" f u$ ?INT x <0.22 ABUT == 90 intersecting only)9 @# c1 h1 R# E# @+ R
9 H& {$ g# k& o! R7 o5 U! Q
3.CHECK P0.R.3 -1 errors/ X$ s; O& z4 b6 O
Poly area coverage < 14% (exclude application forindactor)! j& G6 F( a4 W! c# j5 `1 @1 }
CHIP_NOT_IND = CHIP NOT INDDMY
& `& P+ D! ]( \2 _Density polyI_NIND CHIP_NOT_IND <0.14 print! c( A9 y$ G2 ^7 e8 h
AREA (POLYI_NIND) / AREA (CHIP_NOT_IND)
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1。因為標錯誤的圖示實在找不到,無從下手,都在亂猜,所以上來請益,3 E7 B. {. d3 S( j
希望可以指出我錯誤的地方跟改錯方法?
/ D/ ~# v& K6 M5 Fex. diffusion :gate 的寬度不能小於0.32 之類的* l- D" `* Y3 }6 n% E% N) E
2。是否有專業解說DRC error的網站?可以提供給小弟精進,還是一切1 I9 T- G' ?! q; ?" H8 n
都是憑經驗8 S8 f5 |5 }1 ~2 _. p
( P" h' b; n7 L) w& f# o% s; m4 t
初次發問,得罪的地方,請多多指教。 |
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