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[問題求助] tsmc 0.18 BCD process 認不到 w/o salicide電阻

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1#
發表於 2023-10-6 00:00:20 | 只看該作者 回帖獎勵 |正序瀏覽 |閱讀模式
本帖最後由 weilun_1016 於 2023-10-6 12:29 AM 編輯
6 [" R, U' F$ |, w' P# m  M
# e* J6 Y) O4 T  F* b6 r* S% J9 c各位前輩好
2 C5 r6 l; m2 {* L6 Z7 J3 w# J8 f
小弟最近在畫layout碰到一個問題,遲遲無法解決,因此想上來詢問各位前輩的意見
+ z. X% k# T9 \$ c, _
! h. i' ~4 a! ]小弟用的製程是 TSMC 0.18UM CMOS HV MIXED SIGNAL BASED BCD GEN2 SALICIDE
. w; a; b2 G8 ~0 K: E: Z% q4 N& @" \* F$ B7 @  V/ p! l& V
在畫layout時有使用到 P+ Poly resistor w/o Silicide的電阻,而且都是直接用tsmc他們的PCELL! q/ d" {  b. B, Y( n# U; F
3 O- r1 I# {) U. i
但跑LVS時,layout轉出來的netlist檔卻沒有這個電阻,所以一直有missing instance的情況
3 r3 K, R) X7 i/ u/ X# t
6 ^2 A+ @5 c& O. }
* D9 N3 p. ^. r* w以下有幾點我有先確認過,因此才推測是不是layout認不到w/o Silicide類型的電阻:# z/ M' M! P/ ~4 T1 b# o) N, J# i
6 v/ s8 X: M+ l0 j" g
1.用w/o Silicide的電阻時,跑LVS時,layout端會有missing instance的情況;一旦改成w/i Silicide的電阻時,LVS即可通過→排除接線問題
3 l$ e9 Y. V- u. }; w5 K0 h1 T* \0 A" i
2.在layout中將所有PCELL內所有w/o Silicide的電阻叫出來,跑LVS時,layout端都不會有Unmatched的元件
* E, G: r/ Y4 U8 v) U. k0 S+ J8 p. j3 {7 L& M% |
我也有去看LVS Rule的檔案,知道這兩種電阻只差在有沒有RPO Layer (Non-salicide OD Area Definition),也確認PCELL內都包含了應該有的Layer( J/ L4 F9 ?! O9 y, g
4 [' \$ d7 c8 C- g1 Q

% l" I, p/ P8 O8 k+ k$ d8 K5 d" x7 N5 e' I; O) I' N' R
若是自己按照LVS Rule定義的layer去畫電阻,就會變成在還沒覆蓋RPO Layer時,layout認的到它是w/i Silicide的電阻[PS],5 ], C6 W, n% ]' s$ C: ?+ W/ b( s8 y( Z

$ q  o8 E8 P) x" {) @* L: E, W- r) J一旦在原有w/i Silicide的電阻覆蓋RPO Layer,就missing instance了。! e8 r7 r+ _+ j

! n. _! T! c2 F" s0 l' |' p請各位有經驗的前輩能提點一下小弟,要怎麼解決這個問題,已經被困了好幾天了6 l: |' s- j! P  T0 ]
1 f( z& t( S- S/ {0 S* P
/ D0 s; g& R- Y; i* f
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