各位前輩大家好: 2 [$ N2 n1 Q0 f& y小弟最近在使用UMC 0.18製程準備下線,6 m0 l/ O9 \* x3 M' h' ]
在跑DRC時卻一直出現以下的錯誤,/ a) E' @2 L. K
4.1M --> Minimum DIFFUSION density over 500um x 500 um areas is 20% in % moved in 250um increments across the chip.4 v1 n0 A. b# W# o3 {& [
將此錯誤highlight起來後,發現是M7發生錯誤,原先佈局設計是將M1利用M7保護,M1尺寸比M7還要小, ' i! B; e7 E; r在佈局時都有依照design rule來進行佈局,一直無法將此錯誤排除,7 \6 m/ T7 w+ x; N
想請問各位前輩以上錯誤是因為什麼所造成的?