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Chip123 科技應用創新平台»論壇 › Chip1 -- 基礎元件 › Layout設計討論區 › 需要加 DUMMY 的時機是?
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[問題求助] 需要加 DUMMY 的時機是?

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372412
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#
發表於 2010-4-29 13:07:56 | 只看該作者 回帖獎勵 |正序瀏覽 |閱讀模式
需要加 DUMMY 的時機是在何時呢?
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發表於 2010-4-30 09:45:36 | 只看該作者
一般 metal dummy 是為製程考量, 尤其是窄線寬metal, 若沒有dummy metal 護著 CMP 容易over-polishing 而斷線, 蝕刻時容易因為 local etch rate 高而斷線. 黃光曝光時也會有bias* D7 \: ~* Q5 F7 p0 X. Q

* e# f6 j9 U5 t3 W0 ]0 `poly 也一樣, 但是加 poly dummy 時要注意是否允許 floating gate 及antenna rule, floating gate可能會使下方 Si 反轉導通, 引起周圍元件leakage. 若不allow floating gate, 還要想辦法把poly 接到ground or Vss.

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參與人數 3感謝 +30 收起 理由
段睿閩@FB + 10 很給力!
w791212w + 10 很詳細
crystal_blue + 10 解說詳盡

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AIC6632
29#
發表於 2015-10-9 10:03:23 | 只看該作者
有空間就多加一點, g% ^4 d% L# D$ k  S% U
不然空著也是空著
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28#
發表於 2015-8-13 16:09:45 | 只看該作者
要看狀況吧，通常用於ｍａｔｃｈ！
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jikeey
27#
發表於 2014-11-2 16:35:33 | 只看該作者
以前做PAD時，有加dummy+ N' V0 o) W  x
但卻不知做什麼用# M& A3 M/ n7 j1 s
3 v2 ]5 h4 n: G; @. L1 Q* X
看到這篇文章
, s- F7 j+ M& W% m8 E以前輩的留言: X4 f! T4 Q" m; k) v
小弟收益良多   感恩!
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26#
發表於 2014-10-24 01:07:57 | 只看該作者
最近對Dummy也有一些疑問~
' E3 |& w. F! J# k! v# d6 c看完5樓大大的解說了解不少.
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bbok7979
25#
發表於 2014-10-22 05:51:53 | 只看該作者
感謝各位先進的回答 :>
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24#
發表於 2014-10-8 14:00:21 | 只看該作者
收穫真多 謝謝大家的分享
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bbok7979
23#
發表於 2014-10-5 22:49:47 | 只看該作者
感謝各位先進，讓我知識大長 ^^
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22#
發表於 2011-11-24 19:06:40 | 只看該作者
請問一下MOS的poly dummy 除了接VSS or VDD 以外 能接旁邊的poly信號線嗎
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cltong
21#
發表於 2011-7-8 17:11:10 | 只看該作者
一是为了匹配，二是为了达到foundy的要求
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20#
發表於 2011-6-16 10:32:36 | 只看該作者
要不要放RUMMY的DEVICE，RD有要求，就照他的要求。如有疑問，再請問RD即可，是否需要加
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19#
發表於 2011-5-9 14:52:13 | 只看該作者
回19樓- Y7 h! y" V2 s7 W1 F
$ V0 _4 A4 l) X1 Q% A' P
1.metal dummy
* _! V2 y8 b5 n: Q" o. N$ }$ ^/ e% {, G. Z- U& l
通常加metal dummy 是為了使平坦度更好,在DESIGN RULE上就會有一條metal density rule
! t/ `$ U& m" q6 X% I% O而通常可以請製程廠幫忙加,或者是用程式直接產生
/ k8 L5 t: }# {0 p8 w
0 _# Y$ a# t& |) g2.MOS DUMMY填補空缺5 {7 Q: I1 I" ^3 U  r
! B4 C; k0 R  ]7 L0 v  @
這一部分可以跟RD討論
# G! g6 _2 J" i6 D  J9 Y, ~9 R; o+ k6 d7 j
3.數位訊號不是1就是0,不像類比訊號那麼的嚴謹,且數位電電路就是要求要小,塞MOS DUMMY反而增加多餘的空間
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18#
發表於 2011-4-1 14:10:47 | 只看該作者
dummy device 也可當 redundant backup devices.
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17#
發表於 2011-3-19 09:25:08 | 只看該作者
加DMUUY 是保護match 在蝕刻上為了環境都一樣嚕
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GU
16#
發表於 2011-2-21 22:34:44 | 只看該作者
想問一下 dummy metal 是什麼東西??- }& a' h- X  T+ f3 q4 {+ u* U
3 h0 q( o- N( @" q$ q$ u
如果MOS DUMMY 是為了補空缺的位置 這樣好嗎??: f: ?+ v$ j; z% Y; c

( n: k% S6 ]8 g6 }數位電路 加MOS　DUMMY 是否很浪費呢??
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pph_cq
15#
發表於 2011-1-31 16:50:58 | 只看該作者
一般 metal dummy 是為製程考量, 尤其是窄線寬metal, 若沒有dummy metal 護著 CMP 容易over-polishing 而斷 ...2 \3 r! K+ W6 T. X# z
vincent_p0593 發表於 2010-4-30 09:45 AM

* ]9 h+ d+ O/ w+ q8 N" S6 Q3 v) I. m7 \! Z

' t* N" v1 @6 h& S) _* F" N+ W    是不是意味着窄线跟宽metal之间要特别注意加上dummy metal呢？
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14#
發表於 2010-6-12 15:40:27 | 只看該作者
5#NB！好人啊，讲那么详细！
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13#
發表於 2010-6-10 23:19:03 | 只看該作者
通常會加DMY 都是需要做對稱MOS 或是需要精準的電阻 電容
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12#
發表於 2010-6-8 16:51:55 | 只看該作者
thxs for your shows!!!( K; D; }+ [* ^! a( v" J; f
& c0 a5 q& a: `) K+ G8 g
and i love it!!!
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11#
發表於 2010-6-8 12:09:35 | 只看該作者
“還有電容也要加”，这倒不一定！普通的补偿电容不用的
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鋒鋒
10#
發表於 2010-6-6 02:47:44 | 只看該作者
op的差動輸入我是一定會加7 w- s+ L' A% J: ]
還有電容也要加
+ {, c4 g' a1 ]4 x! z若有空間能加的都加也無彷
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