DRACULA 中的ATTRIBUTE CAP問題

comochen

各位好,
' d1 ~( W8 F( N, r1 f9 b. x8 i最近在參考Foundry的LPE command file對寄生參數的寫法時,對ATTRIBUTE  CAP的語法有些疑惑
依照Dracula Reference內ATTRIBUTE CAP章節內Case 4的定義如下
Case 4:
PARASITIC CAP {subType} device_layer terminal_layer1 terminal_layer2
. |! l- `& i7 e( J( y( X; ]ATTRIBUTE CAP {subType} areaCoeff perimCoeff depthRange sidewallCoeff
# d) e% h( t* E  `) f! }  ]且參考此章節Example 4 中的例子
*OPERATION
PARASITIC   CAP[F]      M12 MET1 MET2
. I, q' [8 X8 z* TATTRIBUTE   CAP[F]      0.5  1.2  0.2 0.019 ; PIECE-WISE COEFFICIENT
' ?: x0 c% j8 f# H1 o/ ?ATTRIBUTE   CAP[F]      0.5  1.2  0.6 0.032 ; PIECE-WISE COEFFICIENT
% T6 \" r  r; N7 M  HLEXTRACT NEWE M12 BY CAP[F] PFILE & ; FLEXIBLE EQUATION
* b( B6 O4 U2 \1 w7 [- fEQUATION C= 0.5*AREA +1.2*(PERI-TPR) + CLL
. P. I8 I3 m: m; v" m...
$ @% P( N6 N( d! f. A*END

其中(若以下解釋有錯請糾正我)
' S9 a4 F! M* R- O! b$ S& F% TareaCoeff為M12的單位面積寄生電容值(Ca)
6 }1 \. ^3 ~' I1 ZperimCoeff為M12的邊緣電容值
depthRange為M12距離MET1的距離
; m# U. N' I+ @' j4 k6 @6 n0 o/ \sidewallCoeff為不同距離區間下M12與MET1的Fringe電容值

以下為我節取一段Foundry的LPE command
+ l5 {9 S8 H& |3 G  E* ~2 |8 b   PARASITIC  CAP[A3]  M12      ME1       ME2      
   ATTRIBUTE  CAP[A3]  3.871E-05 4.2267E-05  0.42  1.6709E-05
   ATTRIBUTE  CAP[A3]  3.871E-05 4.2267E-05  0.966664  4.20651E-05
& J! X" Z; H9 V+ v- T0 m/ G   ATTRIBUTE  CAP[A3]  3.871E-05 4.2267E-05  1.51333  5.99823E-05
   ATTRIBUTE  CAP[A3]  3.871E-05 4.2267E-05  2.06  7.1379E-05
   ATTRIBUTE  CAP[A3]  3.871E-05 4.2267E-05  2.60666  7.83301E-05
   ATTRIBUTE  CAP[A3]  3.871E-05 4.2267E-05  3.15334  8.2139E-05
$ u8 U( c: W- q- ^* z0 ?為何ME1距離M12越遠Fringe電容值越大？
* d! k* t3 H( o. M. l: `電容不是兩端越遠電容值越小嗎？
3 [( {( a8 I& @還是我根本就理解錯誤？
懇請各位不吝指教,感謝!!感謝!!

jkchien

你對sidewall coeff理解有疑問，你的中文解釋和圖形例子有問題
那張圖是用來說明case3 fringe coeff ，不是用來說明case 4
; V4 g% T, K  d  Ocase 4是 除了原本的area and peri parameters，對sidewall-up或是sidewall-down作coeff 做出計算並且透過公式加總等效電容值