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[問題求助] 請問oxide是做什麼用的?

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1#
發表於 2008-12-5 11:39:35 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
請問oxide是做什麼用的?
+ `7 \5 X: g; u) m* |% X請問thin oxide跟gate oxide跟field oxide各是做什麼用的?6 N8 _; b- Q. C% i/ ]
有點搞不太清楚,還有在製成上有什麼不一樣?0 z7 [+ O  o/ a0 U$ I
感謝
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2#
發表於 2008-12-9 18:03:45 | 只看該作者
oxide基本是做绝缘的,thin oxide与gate oxide是一回事吧,因为通常gate ox就是最薄的oxide。5 @9 S2 ?, Y4 x8 w! |
没有晶体管的地方就是field ox。楼主找本制程简介的书看下就知道了
3#
發表於 2008-12-9 20:30:59 | 只看該作者
若有錯誤也請各位大大修正指導
, T; d# F0 U% c. X2 a1 W( \- a4 W. P2 n* j/ }: G6 x4 g
field oxide 場氧化層概略來說主要是用來阻隔所使用,它也可以是metal與metal間的絕緣層。7 f! }) K# i. F( n

  t$ x( C- s, \gate oxide 閘極氧化層可以為最薄的氧化層,主要為金氧半導體閘極之下的氧化層,厚度跟晶片中所需操作的電壓成對等關係。
  D7 l& M' |' g/ s! R0 F% N+ Z9 D6 G& ?; R9 t% T
製程的部份因為相當繁瑣複雜,可以找些製程的書籍參考
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