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回復 1# 的帖子
有一本書我覺得蠻不錯的
% s* k; o A; M$ O4 S+ o2 [原文跟中文書都有 也是大部分技術學院大三大四, k' G1 `, e7 B# A. T9 s: }
會使用的 半導體製程概論 教材8 Z4 ^8 ?/ y! g' Y
看完這本再去看 莊達人的 VLSI 製造技術, 高立出版
6 Y: c! X4 M) h: @9 {; a+ U整個製程概論應該就會蠻了解 (莊達人這本跟施敏的半導體元件物理幾乎每個固態組的學生都會買)
& q, |2 y8 N) E3 j* [$ |% l S9 d- @+ q5 _3 P7 L7 x* b
Introduction to semiconductor manufacturing technology, ]- q5 k6 e! }* {6 t
半導體製程技術導論
z$ d& v0 g* I3 W8 Y原著 Hong Xiao4 O, S: [+ p9 X- q
譯者: 羅正忠 張鼎" E1 e, O s8 K- r9 g/ v" T
. v4 }) h+ u# { m: V以下簡列書的目錄* L; k% d& W) \8 P' V# b/ x, k
Ch1 導論
, X* \8 u5 i$ [; zCh2 積體電路生產的簡介8 @2 I! \ C( o# y, T0 Q1 {% X
Ch3 半導體的基礎
1 S& w; j" G, q a* t" d; JCh4 晶圓製造
* O& R& e8 x8 I" Y; O& M$ l' ?# MCh5 加熱製程0 |1 k% s$ ~" @0 e( P) H. c& m- K
Ch6 微影技術# j) b8 v, w) E. I, A# Z
Ch7 電漿的基礎原理8 W. Q7 R. m' T. a! c2 W
Ch8 離子佈植8 S! I0 |/ \: V/ i, l: a* M" V2 Z
Ch9 蝕刻4 {- L; T2 @% T. R6 l {4 E
Ch10 化學氣相沉積與介電質薄膜- T& n O% I/ R5 ]5 d
Ch11 金屬化製程
4 _) v: ^* }: n$ U2 l' A; ACh12 化學機械研磨- n: |' f3 x2 F5 J( M/ F: L4 p
Ch13 製程整合
1 G% i2 l2 o: `$ OCh14 CMOS製程$ {* Q L. u: C4 W% X. \' L( ~6 f
9 L8 `2 N6 {( x' q s
這些都是基礎 到了公司學到的 不同公司的製程 對各個Layer的命名方式都會有所不同
1 W0 ? E8 s# `9 v8 I$ I學習這些基本理論的原因 是要培養 你對整個半導體 從最底層到最高層一個建構剖面圖的觀念/ O: F: j; A- W3 s
用什麼製程技術產生Oxide做隔離 用什麼製程技術做成Channel 8 D: H0 y) O) T
怎麼樣做出濃度不同的diffusion, 寄生BJT或Diode又是怎麼形成的等等# g9 O, q0 t( h0 L1 `: B5 a
2 p; `1 K9 Q: P. I! n
在這邊比較可惜的是 以前的交大NDL有 半導體製程的教學網頁 會把0.35um的製程從第一個步驟介紹的最後一個步驟' Q1 T8 h$ i! x
都是用動畫的方式來呈現 對當時還在唸大學的我非常有幫助, 不過現在好像找不到這個網頁了 殘念
+ |/ g. g7 M% L5 l6 x- q. r# v/ a0 I. u* g# D- ^. |) ]
[ 本帖最後由 yhchang 於 2008-2-4 10:49 PM 編輯 ] |
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狗仔卡
發表於 2007-6-6 22:41:59
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發表於 2007-6-10 16:06:00
