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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
$ V1 I6 o, [* d" L
9 a& E% c, A' d( d6 D5 zJob View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的2 B; \" O; {; V0 Q
因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK1 {4 z" |9 @, y4 O
所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK6 `& h) Q3 X3 B# f+ u- t
我認知的步驟如下:
4 r3 A5 ]( ?6 _9 \! m3 p! i& U2 K) z8 B2 p
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少; ?( ]$ ~; T( {: {; B" e0 t
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.1 {/ N6 m: _9 M1 A1 M
u' d# |3 v( b, G. X2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)
! M6 R! v, `/ H3 c 如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch0 O* w; h+ x& O6 b) o8 O
如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
+ Y& B5 u( Q" |5 O" W 選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)) ^0 M& v3 o" r: V6 s
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
5 {: P+ c# B/ R" u wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
5 Y) A) P( \5 `& }
2 u2 g; K" [- c: ^8 s3 D3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
; \2 ^4 |/ X6 l( {$ ^ 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看
- r" L* s7 L% X1 Q, W/ l$ }4 }$ t
( L! z7 ] z- {9 q: ~* q+ S4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
: T9 o% d' X; P7 G1 v S# m. A& d2 a5 v& V- l# q0 H
5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc
6 L. T& N& |9 k, O 為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失1 w# k6 t" x4 _8 r' l
9 w% V9 ?8 V( r
這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
f) `1 ~" a, n( K5 A: K8 P8 [( K9 i- a
YHCHANG |
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狗仔卡
發表於 2008-4-3 09:14:53
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發表於 2008-4-3 11:38:15
不過可能是公司制度跟自我要求吧....