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[問題求助] tsmc 0.18 BCD process 認不到 w/o salicide電阻

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發表於 2023-10-6 00:00:20 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
本帖最後由 weilun_1016 於 2023-10-6 12:29 AM 編輯 1 @9 o  h8 b7 k% p# b" w, v  `5 K& z1 P* L

3 Y% n; V' Y- @8 B5 W$ W$ p6 F) E各位前輩好
6 b; ], @! N, g( X
) |3 R# ^8 u2 f( E$ y9 x( Y小弟最近在畫layout碰到一個問題,遲遲無法解決,因此想上來詢問各位前輩的意見6 k2 i4 K6 u4 y- l/ ?) P

+ x' k; V" g, w8 @$ u小弟用的製程是 TSMC 0.18UM CMOS HV MIXED SIGNAL BASED BCD GEN2 SALICIDE
9 v/ k4 l8 @# f* y
) W7 C& f" a! p$ e, W. [/ ~: b在畫layout時有使用到 P+ Poly resistor w/o Silicide的電阻,而且都是直接用tsmc他們的PCELL8 n2 s# B) p. p& W- Z2 I
- i, z8 A3 @9 @' h9 t* z3 J
但跑LVS時,layout轉出來的netlist檔卻沒有這個電阻,所以一直有missing instance的情況
  }* t- Q0 }  Q7 r! V) u8 |
9 ~' V4 L3 O' M/ f3 Q
* f# W0 W* C# l7 d5 H以下有幾點我有先確認過,因此才推測是不是layout認不到w/o Silicide類型的電阻:
* T( R5 b4 o0 v+ I) e
! v; |; a5 ~) u0 ]* ^8 S1.用w/o Silicide的電阻時,跑LVS時,layout端會有missing instance的情況;一旦改成w/i Silicide的電阻時,LVS即可通過→排除接線問題: o3 p! U* [6 t# u3 F

' D( d* H; c. _. B7 O/ h. Z" h2.在layout中將所有PCELL內所有w/o Silicide的電阻叫出來,跑LVS時,layout端都不會有Unmatched的元件+ C) x! H# N6 ~" D+ W# g" O$ `
( c0 C0 `: _4 [2 I: g$ H
我也有去看LVS Rule的檔案,知道這兩種電阻只差在有沒有RPO Layer (Non-salicide OD Area Definition),也確認PCELL內都包含了應該有的Layer
7 t+ O% Y' [% D* s4 W& }! {$ v6 a- u1 U

! E1 {2 @0 L& O; n  n
5 }4 G- A, u0 I! x6 d" [9 @若是自己按照LVS Rule定義的layer去畫電阻,就會變成在還沒覆蓋RPO Layer時,layout認的到它是w/i Silicide的電阻[PS],1 X% {7 z" Q4 {" L  u( n% O, a* W
' R4 p$ _: Q2 Z& ?# O9 `4 n
一旦在原有w/i Silicide的電阻覆蓋RPO Layer,就missing instance了。
  X$ y' G& U# l/ a, I, J$ ~
& E# z' Q8 M8 U$ Y5 g6 @/ O6 E請各位有經驗的前輩能提點一下小弟,要怎麼解決這個問題,已經被困了好幾天了
: _2 a0 K9 o, t+ V5 K( u% i0 B- A$ m5 K6 w+ [/ I4 N

( T( T5 f& e: A" M8 l
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