請問功率二極體/電晶體是使用什麼製程呢?

fsshlin

請教版上各位先進，功率二極體/功率電晶體是屬於高壓高電流的功率元件，必需使用什麼製程來做呢?
隨著電流電壓規格的不同，是否製程也會跟著改變呢?

bernie820

可以去翻翻製程的書
/ v# y2 d! X) n5 S, Q( V
或者是製程文件

再不然把元件書看一看可大概知道是用那些製程完程!
7 `) O9 B$ T9 C% z3 l3 n
" E3 A$ u: c4 o* A3 H. O$ i* `" ?然後以模擬方式去找嘗試

cukow

我们实验室有用.13的锗硅工艺做的

yuany

工艺文件不是都有说明的吗？？
9 x# Y5 I6 e1 J2 i& z9 G都会有个process flow
9 |  c# d$ M; h; Q
CMOS中功率器件只是多了个层次或者改了些规则而已啦。。
比如提高栅压或SD间距

chriskomh

好像是BCD製程?
雙載子CMOS高壓製程?
您可以再查查看

dreamflying61

看看电子工业出版社的 半导体制造技术吧！