DRACULA 中的ATTRIBUTE CAP問題

comochen

各位好,
最近在參考Foundry的LPE command file對寄生參數的寫法時,對ATTRIBUTE  CAP的語法有些疑惑
" N  x) n" n: c( |0 X$ F依照Dracula Reference內ATTRIBUTE CAP章節內Case 4的定義如下
/ [" D* t0 R4 Q6 X  r1 h2 q% _Case 4:
PARASITIC CAP {subType} device_layer terminal_layer1 terminal_layer2
ATTRIBUTE CAP {subType} areaCoeff perimCoeff depthRange sidewallCoeff
且參考此章節Example 4 中的例子
*OPERATION
& w" n3 V& N2 s" J/ xPARASITIC   CAP[F]      M12 MET1 MET2
ATTRIBUTE   CAP[F]      0.5  1.2  0.2 0.019 ; PIECE-WISE COEFFICIENT
ATTRIBUTE   CAP[F]      0.5  1.2  0.6 0.032 ; PIECE-WISE COEFFICIENT
3 I+ C1 p. G9 z2 J& uLEXTRACT NEWE M12 BY CAP[F] PFILE & ; FLEXIBLE EQUATION
2 a1 p$ x8 T5 nEQUATION C= 0.5*AREA +1.2*(PERI-TPR) + CLL
0 S7 u9 }# {+ [0 g: a...
: y) p/ v( d9 N6 q  E6 c*END
" f4 F6 F; {  I! g, l! Y
/ s& D( K8 h4 y5 w9 p其中(若以下解釋有錯請糾正我)
areaCoeff為M12的單位面積寄生電容值(Ca)
perimCoeff為M12的邊緣電容值
+ @( R& Z3 m  l# ]' EdepthRange為M12距離MET1的距離
sidewallCoeff為不同距離區間下M12與MET1的Fringe電容值
6 n' S/ g4 p/ A1 \" C1 {6 J
以下為我節取一段Foundry的LPE command
' w7 C. A3 s, G   PARASITIC  CAP[A3]  M12      ME1       ME2      
/ J$ M0 V  X1 c' V   ATTRIBUTE  CAP[A3]  3.871E-05 4.2267E-05  0.42  1.6709E-05
   ATTRIBUTE  CAP[A3]  3.871E-05 4.2267E-05  0.966664  4.20651E-05
, c( {( V( m5 o8 C" d4 Y: T   ATTRIBUTE  CAP[A3]  3.871E-05 4.2267E-05  1.51333  5.99823E-05
   ATTRIBUTE  CAP[A3]  3.871E-05 4.2267E-05  2.06  7.1379E-05
   ATTRIBUTE  CAP[A3]  3.871E-05 4.2267E-05  2.60666  7.83301E-05
   ATTRIBUTE  CAP[A3]  3.871E-05 4.2267E-05  3.15334  8.2139E-05
$ S+ G. N0 B) f4 r' h3 l  Y5 j為何ME1距離M12越遠Fringe電容值越大？
電容不是兩端越遠電容值越小嗎？
還是我根本就理解錯誤？
" G7 l) S- z$ j8 M懇請各位不吝指教,感謝!!感謝!!

jkchien

你對sidewall coeff理解有疑問，你的中文解釋和圖形例子有問題
那張圖是用來說明case3 fringe coeff ，不是用來說明case 4
case 4是 除了原本的area and peri parameters，對sidewall-up或是sidewall-down作coeff 做出計算並且透過公式加總等效電容值