請問有做MEMS相關的大大嗎?

relax918

小弟目前研究方向是 SENSOR方面的circuit design ..
' `; [1 q! M) n( M6 ]' X& u% xSENSOR走入MEMS應該是目前也是未來的趨勢..
但要做整個System.. 這塊餅似乎太大.. 研究所兩年可能吃不完.. 囧
( C/ g2 x+ ^  h( V+ v* e4 [' E- {所以可能只做後端的 read out ..
" s& b0 V( C% H! K' }, O. }1 G+ `
想請問板上的各位大大~
想Reference 前端MEMS SENSOR paper或書籍的話..
9 O  r1 q7 T. X6 |! R8 |我該去哪裡找資料(IEEE之外?)  or  有沒有推薦的書?

semico_ljj

大陆的北大这个研究的不错！

DennyT

大部分的MEMS sensor對物理量的反應都是以電容變化表現，一般是數十到數百fF的量級，要做read out電路就先從微電容轉換與low Cin放大電路開始吧。

sereniva

cmos mems sensor的readout電路是個蠻大的挑戰
9 f6 R' ~! Z* W% t電容變化量只有femto等級，若設計的不夠好很容易讀不到