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[問題求助] 請問MOS 製成中silicide 是做什麼用的??

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1#
發表於 2008-11-21 11:33:06 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
請問MOS 製成中silicide 是做什麼用的??" l, g/ W2 F; ^9 _4 F
是如何形成?; y" z  A- ?/ J$ w! P
作用是什麼ㄋ??
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2#
發表於 2008-11-21 12:48:31 | 只看該作者
可以把它想成多一層 導電用物質
- y9 \% Y6 ~. C8 _8 D" s幫助導電 ,只會附著在 poly & diff 上
9 c6 @" D. q* e! y* {" H4 K4 p7 X" J  B會全面灑在晶圓上 如果 不想有5 b4 l" q9 Z. g! {0 Q, v
的地方就用 RPO(t) 或 SAB (u)" z, T- h6 J. T+ z, {
圍起來 那各地區 就會是 nonsilicide' E3 s# w+ I  Q7 T- O* I
阻值較高 通常用在 電阻 和 IO CELL 上

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hyseresis + 3 Good answer! 優質答案!

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3#
 樓主| 發表於 2008-11-21 13:07:20 | 只看該作者

回復 2# 的帖子

感謝!!原來如此阿!!
  {) T4 W7 l( E" ^/ d之前一直不是很清楚,是做什麼的!
& J' p1 m. |+ t! _/ q, k; y$ [1 a現在了解囉
4#
發表於 2008-12-1 17:31:30 | 只看該作者
延續 二樓的說明   
6 S) Z) N9 \, r3 R! SSilicide 又名 金屬矽化物  常用的幾種( TiSi2、NiSi、CoSi2、WSi2 )3 V6 n( ?' h5 n9 G
2 E' P/ o7 I# P0 d5 O9 v
記得以前還有Polycidce 只用在 Poly 上的
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