請問MOS 製成中silicide 是做什麼用的？？

hyseresis

請問MOS 製成中silicide 是做什麼用的？？
) Z3 C8 C8 k. m) q6 n" C9 _/ z" o是如何形成？
作用是什麼ㄋ？？

motofatfat

可以把它想成多一層 導電用物質
& f9 r; `* p/ E4 b1 t/ q1 P幫助導電 ,只會附著在 poly & diff 上
會全面灑在晶圓上　如果　不想有
的地方就用　ＲＰＯ(t) 或　ＳＡＢ　(u)
圍起來　那各地區　就會是　nonsilicide
阻值較高　通常用在　電阻　和　ＩＯ　ＣＥＬＬ　上

hyseresis

感謝！！原來如此阿!!
. m5 N! w2 b) V1 t之前一直不是很清楚,是做什麼的！
8 I, j! \0 W4 \5 B5 b8 Z8 x現在了解囉

jauylmz

延續 二樓的說明   
Silicide 又名 金屬矽化物  常用的幾種( TiSi2、NiSi、CoSi2、WSi2 )

記得以前還有Polycidce 只用在 Poly 上的