關於雙保護環(double guard rings)煩請高手解答

aslf

我目前在青輔會受訓非本科或相關科系學生,日前去面試時被問倒了...面試官問我一個問題要圍雙 guard ring 的用意在哪裡?假設一個Pmos已經圍了一層N GUARD RING那外面一層要圍N還是P GUARD RING？假設是圍ｐGUARD RING　那工作原理是什麼?＞＞＞這題應該是我不夠努力∼所以我回答不出來,我只知道單層的GUARD RING
以及放DUMMY的用意是什麼？我的回答是：防止過度蝕刻,當做備品用　但是面試官一直問我還有呢？還有呢？然後跟我說：你準備的不夠....但是我查了一些資料,大部分都是說這些,難道還有其他功用嗎？希望高手能幫幫忙,謝謝

Luby

我在之前的公司有lay過double guard rings,內圍是用PTHIN guard rings,外圍是用
! F2 Z. T7 w. ?2 \. ^& oNwell+NTHIN(甜甜圈結構).主要就是用來防止noise,那時是圍在Oscillator外圍.
* ?; O) A! ]8 s- }0 e! R& K) l
Dummy的話,不知道你指的是那部份?? 引述一篇paper " SmartExtract:Accurate Capacitance
1 h/ B  W* t  z( `2 BExtraction for SOC", 這裡提到的dummy是指layout完成後,在每層layer空曠處,補上同一layer
dummy, 為的是在CMP process時,有較佳的均勻性:
, F2 A, y) m& ?( mDummy(or fill) metal is introduced in the interconnect process flow to enable uniform
thickness control in the CMP process. Dummy metal needs to be treated as floating metal
2 d% k% V3 d8 A* E' nunless it is intentionally connected to a constant potential. Floating dummy metal
8 t3 [( d& I, oessentially acts as a capacitance divider.
另外有一種dummy, 之前我在做analog layout時,會在需做match的mos旁,故意lay半顆或整顆
& h6 r/ B. _9 }; Y% `mos,除了你寫的那些原因,我想是因為實體mos的邊緣不見得是像layout般的四方形(what you draw is not what you get),可能是梯形或不規則多邊形,製程上很難做到如此完美,所以為了確保
  M- \! q+ m9 @主要的mos的完整性及對稱性,在mos旁再多加dummy mos(不要讓主要mos成為最邊緣的部
' U! S$ T1 `: S$ y4 x份).以上是我自己的想法,歡迎各位先進指教

trustrain

我不常畫layout，就我知到來講...
DUMMY最常用功用就是你說的那樣，或是用來match(Pmos接GND，Nmos接VDD)
5 a9 v  n: B: r0 a* F2 g' ^GuardRing主要作用防止雜訊干擾、latch up(圍上後newll及psubstrate上的阻值會變小)
. c8 L( k/ u, {$ Y$ N* L( u) ?第二圈的話就選與第一圈相對的type...主要好像也是防止雜訊干擾
6 T% U- O) \- S" q/ l/ ~因為畫了第二圈，此區MOS與另外一區MOS間的距離增加，干擾就會較少

arthur03226

會加double guardring應該是要防止latch up 發生。
9 E5 y2 _+ D; e$ L9 g) M* K一般會加再whole chip  OR  敏感線路的外圍，
3 l! J. v0 h( i( f$ g  z  Z至於您提問的問題Pmos已有一圈N那如果造再加一圈應該是P or N?
6 X% L6 V3 E8 q5 I4 [+ q答案是P
你所問的那個情況應該是ESD proetcion吧?
( w0 @* l4 @% K' i" {( u: T, x/ u9 _( ~
至於原理~~~~~
5 m8 b1 V( d6 ~! b  l3 W他叫做(Pseudo Collector)
他是要降低等效latch up線路的集極電阻所以....有點忘了。
* o8 Y% h/ x4 D6 y& X6 u反正等效起來第2圈ring會剛好是並連許多集極。
這可能要去查一些paper了。
( v' s* J8 `/ x
/ k4 T8 o7 ~9 t1 P& m; A7 z
至於dummy 就是你所回答的那樣，面試官那麼厲害，叫他講出另一套作用來。
' _% i$ x: W, o: t0 M" m: t& j他只想考倒你而已。
' J- O2 y7 \. I! A, u2 D4 c& p
[ 本帖最後由 arthur03226 於 2008-5-14 10:47 AM 編輯 ]

sparkorange

說錯請指正，除了過度蝕刻之外，可以順便預防 LOD 效應嗎 ?