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[問題求助] 請問oxide是做什麼用的?

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1#
發表於 2008-12-5 11:39:35 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
請問oxide是做什麼用的?+ o! ~9 q6 D6 d9 I$ @. J5 I5 Y
請問thin oxide跟gate oxide跟field oxide各是做什麼用的?# e/ z1 V% g/ U; W7 C
有點搞不太清楚,還有在製成上有什麼不一樣?  [. i, e" K6 m5 ]
感謝
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2#
發表於 2008-12-9 18:03:45 | 只看該作者
oxide基本是做绝缘的,thin oxide与gate oxide是一回事吧,因为通常gate ox就是最薄的oxide。- h' R( w: ]" v
没有晶体管的地方就是field ox。楼主找本制程简介的书看下就知道了
3#
發表於 2008-12-9 20:30:59 | 只看該作者
若有錯誤也請各位大大修正指導
* j* ~# b% q4 [8 z4 [4 J2 t6 T; x5 x
field oxide 場氧化層概略來說主要是用來阻隔所使用,它也可以是metal與metal間的絕緣層。0 g' ~: t8 @! E8 d& z; _" X
! h- g% L5 ?" s9 Q: h
gate oxide 閘極氧化層可以為最薄的氧化層,主要為金氧半導體閘極之下的氧化層,厚度跟晶片中所需操作的電壓成對等關係。
) Q! J6 p% D* }. v* X8 I( J% @) k& b( C0 B  o) p! V' s" G
製程的部份因為相當繁瑣複雜,可以找些製程的書籍參考
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