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Chip123 科技應用創新平台»論壇 › Chip1 -- 基礎元件 › Layout設計討論區 › 請問MOS 製成中silicide 是做什麼用的？？
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[問題求助] 請問MOS 製成中silicide 是做什麼用的？？

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1#
發表於 2008-11-21 11:33:06 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
請問MOS 製成中silicide 是做什麼用的？？
* c6 `4 ^  \! `) M是如何形成？  p$ o. r6 ~5 m. Q4 _) n/ |$ |0 u2 d
作用是什麼ㄋ？？
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2#
發表於 2008-11-21 12:48:31 | 只看該作者
可以把它想成多一層 導電用物質. G! Y7 M. K9 C- a; H* Q
幫助導電 ,只會附著在 poly & diff 上
: n: {. J5 m3 w. I- [. Z! r8 w會全面灑在晶圓上　如果　不想有
$ l+ ?+ \+ W% {5 I0 _; T的地方就用　ＲＰＯ(t) 或　ＳＡＢ　(u)
  R6 E4 M0 k: c6 p8 t/ I( M圍起來　那各地區　就會是　nonsilicide1 E& w' y* I' @% k% x
阻值較高　通常用在　電阻　和　ＩＯ　ＣＥＬＬ　上

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hyseresis + 3 Good answer! 優質答案！

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3#
 樓主| 發表於 2008-11-21 13:07:20 | 只看該作者

回復 2# 的帖子

感謝！！原來如此阿!!
0 F" j0 p) I' p- D0 E0 b) m之前一直不是很清楚,是做什麼的！2 B/ X; ~+ E1 B! g1 Z8 A
現在了解囉
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jauylmz
4#
發表於 2008-12-1 17:31:30 | 只看該作者
延續 二樓的說明   + R( |! j1 c+ b, _" N4 I! ^
Silicide 又名 金屬矽化物  常用的幾種( TiSi2、NiSi、CoSi2、WSi2 )
% c- {# g; f" G3 a3 ~4 U" x' d/ x+ R$ [( h) i
記得以前還有Polycidce 只用在 Poly 上的
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