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請問大大,我現在想學關於高壓製程Layout
' n- O2 K& F/ } o& I那我對高壓製程的構造不是很了解,可以介紹網站或資料給我做參考 ...
; B ]0 a( ^ w0 _0 \b0917353006cool 發表於 2011-6-10 06:20 PM
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個人淺見,分享下關於高壓製程和佈圖學習應驗" s1 c3 i' q6 Y; K& \- o
1:首先理解目前我們HV製程的一個簡單劃分
6 T" t- _% e6 B$ `* O' }4 s 不同的廠家,會有不同的定義,在深亞微米中,可能5V VBRDS的Device已經被識別為高壓。6 A7 `/ T) O( |. n6 o
依據VBRDS/VGSmax大致可以作一個劃分
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' n% @# R9 G: K" r VbrDS<5V
. R) X4 r+ m+ ~( v0 ]# k MV 7 p# x' M( }* q8 N7 Q7 f
15V<VbrDS<25V
7 n. N1 l( z$ y7 ~. M& I9 X- G5 O HV% [5 N$ Z- N+ _0 ^( O. P+ }3 {
30 <VbrDS<45V
' v' j1 J6 @4 F, f$ ~1 m 45<VbrDS<80V
4 m X& H9 `$ G' r UHV$ y- J8 e8 A" X3 x' e
80<VbrDS<120V
: J0 \# i# f& L 500V<VbrDS- v7 e3 @: E# `' W
800V<VbrDS- d1 M7 ^5 f. @' l: `, {6 ~
目前大致會做這樣幾個區間的劃分,這種狀況與製成本身的發展,產品系列兼容,甚至考慮兼容早期BIPOLAR用於電力,電機產品有一定關係。
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2:此後,可以按照自己學習興趣與工作需求,選取制定學習計劃" M9 s% D2 B, m5 @
並理解器件的物理和電學特性
: V6 C: s' n# i5 f 這樣做是必須的,好處也很明顯。只有這樣才能避免犯錯誤,才能理解高壓規則的制訂依據或者限制級在那裏。& b$ p& o; h8 m( O3 q3 N1 u' s
一些圖書是必須的,製程介紹類的圖書相信大家都不會缺少,特別強調下,在30V以上時,最好下功夫對LDMOS做細緻的學習。
9 {+ Z* S: ` S( Y3 }2 d z& m; R9 O 如果涉及到80V左右的應用,尤其需要謹慎,因爲在CMOS時代這個電壓區間是比較尷尬的,HVI可能會帶來leakage current的問題,一定要與廠家做好細緻溝通,並在Pre-tapout前作好Review。
+ V6 l( z2 b( @" T6 s- u! Y; K9 z 500V之上的的單片集成應用必然會涉及到Resurf技術或者SOI的應用,這樣的製程會與普通的結隔離又較大的差異,HVI也會帶來影響。不過一般廠家都會給出一些解決方案,# c$ S' j. p% v- i' R4 t+ E# [; D
IR,摩托等等公司也產生了很多專利 ,讓人感嘆設計師的創造力之強 。
! d! |# ?# A, e$ d* Z3 J7 G 理論的學習,* j& N" D9 K6 h$ h$ A5 f
推介使用陈星弼老先生的那本《功率mosfet與高壓集成電路》,這是一部相當老的圖書,出版于幾十年前,但是對基本結構,如場板,終端結構等等的介紹很清晰明瞭。
9 v, e1 h% m# E) }! ?2 L 原書已經絕版,好在資料可以到網路上搜索到。0 d5 Q1 A7 w- b
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3:實踐
% I" |( p% m' b5 C 檢索了目前大多數的論文與報告,並不令人滿意。在這個工程領域,主要的技術應當是各個廠家。
' Y: L) T8 ~0 Y/ P( _+ i& ? UMC/TSMC年前都對這個領域作了開發,可能主要的目標是指向對新能源產品的支持,可以咨詢並下載相關文檔。其中給出了Refrence Rules和相應的guide line,這些規則大部分對其他產品設計依然有
" q1 ]' C8 Q7 t3 k' z: b- Z 參考的作用。此外 X-FAB,AMIS在這個領域可以說是歐美洲區域領導者地位,結構也與台系有區別。尤其AMIS。不過好像已經被ON收購,可能會在合作中產生一定障礙。
; M! ?% b0 f ?' P3 g0 \/ y- U- q 特別提一下新竹的EPISL,應當是臺灣較早投入這個領域的廠家之一,EPI是HVDevice的關鍵之一,或許是EPISL的最大優勢。當然,還有極低的價格。: d2 P8 M4 b. T' z8 B
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4:Reverse engineering
' I7 L& I' b0 v3 n+ @+ ? 對於新的公司新的設計,是個可選,當然僅限與佈圖參考,如果完全依賴,那就驚險了。6 ^$ L9 ]8 C$ \4 M, S" h9 ]7 j
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淺見,歡迎拍塼! |
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