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回復 1# 的帖子
有一本書我覺得蠻不錯的- O8 I! {! r" {
原文跟中文書都有 也是大部分技術學院大三大四5 t$ t6 q1 `' x g7 g$ Y6 c( Q
會使用的 半導體製程概論 教材
. N/ a1 \# ]7 z4 X- y3 r看完這本再去看 莊達人的 VLSI 製造技術, 高立出版
. t; W/ Q( H ?4 j: D整個製程概論應該就會蠻了解 (莊達人這本跟施敏的半導體元件物理幾乎每個固態組的學生都會買) L: ?0 o, C$ c ]
]" l( `) U& t8 f" l+ z' IIntroduction to semiconductor manufacturing technology* o) C- {. ~" X! @' s) m/ U
半導體製程技術導論
; j" B- E: m0 |2 z4 O原著 Hong Xiao! p, ]0 t3 K; O2 y
譯者: 羅正忠 張鼎4 C7 f# } i# }4 @+ T
. o" s H9 y/ K, U0 l1 B
以下簡列書的目錄
) |! H0 C: A7 ?+ GCh1 導論9 i1 ^" d, z( d0 t$ t
Ch2 積體電路生產的簡介
/ @9 h5 d( c( K) ? x+ Y) n5 cCh3 半導體的基礎
& y$ s* V+ G/ g: e' bCh4 晶圓製造* `' D( R Z6 [* r' i. X+ v+ t
Ch5 加熱製程
. y1 S$ n- v1 d3 }1 ZCh6 微影技術, K& v- {- Q" K" p$ ]
Ch7 電漿的基礎原理/ \) w& m9 J$ O, s; ?
Ch8 離子佈植3 a% f0 ^+ s" \ {4 ]& t
Ch9 蝕刻 m p, H. K1 K5 S& L
Ch10 化學氣相沉積與介電質薄膜
4 p3 k4 o) N% |+ @ \" G$ dCh11 金屬化製程 f' V G: A3 H8 O% D
Ch12 化學機械研磨
) }& c B; k: U; R3 b* c& CCh13 製程整合0 j2 O; @/ b$ E& L3 \
Ch14 CMOS製程
' V: @4 W0 X! i
& `0 d( o+ y7 O! {這些都是基礎 到了公司學到的 不同公司的製程 對各個Layer的命名方式都會有所不同
% ]% h; w' K( V- f學習這些基本理論的原因 是要培養 你對整個半導體 從最底層到最高層一個建構剖面圖的觀念
4 X1 L) I, H) y* h- I3 T8 j4 Z" A. W用什麼製程技術產生Oxide做隔離 用什麼製程技術做成Channel , p* X& p. z2 O- z: r
怎麼樣做出濃度不同的diffusion, 寄生BJT或Diode又是怎麼形成的等等
$ b W; B9 ^* J. U' _" U, @# F: R4 X/ P8 P3 n* ^ J
在這邊比較可惜的是 以前的交大NDL有 半導體製程的教學網頁 會把0.35um的製程從第一個步驟介紹的最後一個步驟
$ |1 W) S& Q. p3 \) I9 D' X都是用動畫的方式來呈現 對當時還在唸大學的我非常有幫助, 不過現在好像找不到這個網頁了 殘念$ w" C. v1 S0 m. e2 V' g
, X% ~. i0 L9 {3 t* S
[ 本帖最後由 yhchang 於 2008-2-4 10:49 PM 編輯 ] |
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狗仔卡
發表於 2007-6-6 22:41:59
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發表於 2007-6-10 16:06:00
