DRACULA 中的ATTRIBUTE CAP問題

comochen

各位好,
1 w! W/ u# R; n/ k, W最近在參考Foundry的LPE command file對寄生參數的寫法時,對ATTRIBUTE  CAP的語法有些疑惑
6 \- m5 C: a3 a) ?, j, {5 b: @# D依照Dracula Reference內ATTRIBUTE CAP章節內Case 4的定義如下
Case 4:
PARASITIC CAP {subType} device_layer terminal_layer1 terminal_layer2
4 d( @6 o* u* p2 O( w( QATTRIBUTE CAP {subType} areaCoeff perimCoeff depthRange sidewallCoeff
4 E2 D4 s0 I2 S4 L且參考此章節Example 4 中的例子
*OPERATION
# u0 @" f* }! XPARASITIC   CAP[F]      M12 MET1 MET2
! A7 X# y& J: |* WATTRIBUTE   CAP[F]      0.5  1.2  0.2 0.019 ; PIECE-WISE COEFFICIENT
ATTRIBUTE   CAP[F]      0.5  1.2  0.6 0.032 ; PIECE-WISE COEFFICIENT
LEXTRACT NEWE M12 BY CAP[F] PFILE & ; FLEXIBLE EQUATION
" M% o0 }0 j3 S$ SEQUATION C= 0.5*AREA +1.2*(PERI-TPR) + CLL
# }3 ~+ _: D7 P# J2 u; p' Q...
*END

其中(若以下解釋有錯請糾正我)
+ E; D4 W2 N5 E- TareaCoeff為M12的單位面積寄生電容值(Ca)
! a- h. J. Q+ o' x1 E" O4 v5 h( PperimCoeff為M12的邊緣電容值
depthRange為M12距離MET1的距離
sidewallCoeff為不同距離區間下M12與MET1的Fringe電容值

$ g: F4 {  @- S1 F6 b6 o以下為我節取一段Foundry的LPE command
   PARASITIC  CAP[A3]  M12      ME1       ME2      
( p# `- N% ?1 u5 C) v! L' R   ATTRIBUTE  CAP[A3]  3.871E-05 4.2267E-05  0.42  1.6709E-05
   ATTRIBUTE  CAP[A3]  3.871E-05 4.2267E-05  0.966664  4.20651E-05
   ATTRIBUTE  CAP[A3]  3.871E-05 4.2267E-05  1.51333  5.99823E-05
8 G6 y8 ]5 B% G# z, j- o   ATTRIBUTE  CAP[A3]  3.871E-05 4.2267E-05  2.06  7.1379E-05
! u" x3 ^- e- h6 G; n' r   ATTRIBUTE  CAP[A3]  3.871E-05 4.2267E-05  2.60666  7.83301E-05
2 A% V. ~  u' o" R- k   ATTRIBUTE  CAP[A3]  3.871E-05 4.2267E-05  3.15334  8.2139E-05
5 Y, ~) `3 R/ u, K9 @& Z為何ME1距離M12越遠Fringe電容值越大？
電容不是兩端越遠電容值越小嗎？
還是我根本就理解錯誤？
懇請各位不吝指教,感謝!!感謝!!

jkchien

你對sidewall coeff理解有疑問，你的中文解釋和圖形例子有問題
! a6 Z& e7 R1 Q那張圖是用來說明case3 fringe coeff ，不是用來說明case 4
case 4是 除了原本的area and peri parameters，對sidewall-up或是sidewall-down作coeff 做出計算並且透過公式加總等效電容值