各位前輩大家好:9 J1 t8 U; B# F: U, W6 ^
小弟最近在使用UMC 0.18製程準備下線,( L1 X8 i" u8 n/ }* E
在跑DRC時卻一直出現以下的錯誤, : K) b- L9 ~3 u$ V/ {( K4.1M --> Minimum DIFFUSION density over 500um x 500 um areas is 20% in % moved in 250um increments across the chip.' o: ]0 |# p/ [! u! T
將此錯誤highlight起來後,發現是M7發生錯誤,原先佈局設計是將M1利用M7保護,M1尺寸比M7還要小, : q& y- m% J M9 t在佈局時都有依照design rule來進行佈局,一直無法將此錯誤排除,! ~9 n6 k- ?: U! v4 K
想請問各位前輩以上錯誤是因為什麼所造成的?