ESD失效分析求助

andyjackcao

2颗VDD到地测试
1），第1颗从500V开始测试，大部分在500V时就失效
" f' [. t/ a' D0 D3 t2），第2颗从1000V开始测试，大部分在1500V时失效
电源到地的结构为分布式的GGNMOS结构
1 D- o0 b8 c$ P. E' R& E- X. B失效机理是怎么会事，多谢

klim

要回答你的問題前, 我要知道一些東東:
2 N  v+ |0 u' b% @- E% _% x4 L0 H1. 請問製程為何?
2. MM:HBM約為1:10, 你HBM從1KV開始打, MM卻從500V開始打, 為何?
3. 你的GGNMOS的W=?, L=?, M=?, DCG=?
要有上述的數據才能做最基本的分析.

andyjackcao

要回答你的問題前, 我要知道一些東東:
1. 請問製程為何?
' s. f( q) L3 ?$ J. [* `2. MM:HBM約為1:10, 你HBM從1KV開始打, MM卻從500V ...
. k4 W& O1 v, [% |0 pklim 發表於 2011-1-18 14:32

9 j0 J& |' _3 ?7 B4 ?: M; W2 T/ l: ~- X
( n4 }8 d- s" d7 s1), 請問製程為何?
* ]. ~$ d  H' K2 J! I6 ^ tsmc 0.18um

3 U# s0 u0 F' r' u2. MM:HBM約為1:10, 你HBM從1KV開始打, MM卻從500V ...
两个芯片均测试HBM模式，故意一个从500V开始打，一个从1000V开始打

) l) T9 C* P% Y2 [- a8 E3.ESD 的layout遵循了TSMC的<<esd design rule>>，只是没有固定的电源引脚，而是，通过配制IO口的属性来设置电源引脚的位置

postme

感兴趣问题的进展，是样品概率问题吗？

andyjackcao

感谢关注,ESD问题已经解决

tuza2000

how to resolved it????

andyjackcao

在不同电源之间，电源和地之间，建立了更多，均匀的ESD通路

chang707070

在不同电源之间，电源和地之间，建立了更多，均匀的ESD通路 ??
均勻是指什麼
6 x- ?; F. p! ?) }* H( n# [' ^+ @方便貼圖上來嗎