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有一本書我覺得蠻不錯的1 p7 l2 W2 v2 n# ]# B5 O% s
原文跟中文書都有 也是大部分技術學院大三大四5 K+ G* K1 ?8 R; v- u7 i
會使用的 半導體製程概論 教材$ p. g& i6 C$ I+ z% u: ?
看完這本再去看 莊達人的 VLSI 製造技術, 高立出版
; F, U; Q% B1 s7 N整個製程概論應該就會蠻了解 (莊達人這本跟施敏的半導體元件物理幾乎每個固態組的學生都會買)
7 `1 h2 ]6 W6 d) S/ I. f& h" w% a6 l+ h+ J1 D
Introduction to semiconductor manufacturing technology
: |7 o% G/ R- D; z: P& p半導體製程技術導論
+ V' l" s9 i1 ]2 F7 E) }3 o原著 Hong Xiao6 T$ A+ a: k4 I% i2 s7 a
譯者: 羅正忠 張鼎
# v: }3 T' ]3 L: B( g( T, [4 x8 i+ D/ E# V: U6 n7 l% h% l
以下簡列書的目錄/ f7 X2 k- ]2 U1 p5 j# ^
Ch1 導論9 ~2 T; j, d3 _% v1 {6 u
Ch2 積體電路生產的簡介
$ N! L& n% ?( p4 x, lCh3 半導體的基礎
9 O& E2 H- g' N- HCh4 晶圓製造# h2 z; t# W- K4 s9 V/ i
Ch5 加熱製程" y0 ~/ j; B# }0 a- f- n
Ch6 微影技術
7 p% H4 s; d3 ], Q' o: |% w8 jCh7 電漿的基礎原理
6 ~' `/ C& R9 X: h: x/ [Ch8 離子佈植
7 `7 O9 r9 ^ ?; l( c5 v: o+ HCh9 蝕刻
' Z% O9 b9 ?5 z+ U9 O/ wCh10 化學氣相沉積與介電質薄膜; T+ r. F" B4 n% j, `
Ch11 金屬化製程
7 g3 w3 Y* Y# g1 T9 m9 c2 wCh12 化學機械研磨
5 G X \, E1 H4 V u, `. j& \Ch13 製程整合8 b6 D8 y1 e- a6 C
Ch14 CMOS製程0 S" w# t+ D% Y, d
3 Z3 T4 p& S; z) s9 s這些都是基礎 到了公司學到的 不同公司的製程 對各個Layer的命名方式都會有所不同/ q& I3 D- x1 N2 q' M" E1 G
學習這些基本理論的原因 是要培養 你對整個半導體 從最底層到最高層一個建構剖面圖的觀念
9 C% ~# I1 D r5 h, d用什麼製程技術產生Oxide做隔離 用什麼製程技術做成Channel
- k1 B/ o- c+ S3 S怎麼樣做出濃度不同的diffusion, 寄生BJT或Diode又是怎麼形成的等等
! @1 q3 W: ]+ J% B/ R! o$ S+ g' l' M* Y5 y5 o) Q
在這邊比較可惜的是 以前的交大NDL有 半導體製程的教學網頁 會把0.35um的製程從第一個步驟介紹的最後一個步驟
7 @$ S/ L5 K6 A& j8 F; ?都是用動畫的方式來呈現 對當時還在唸大學的我非常有幫助, 不過現在好像找不到這個網頁了 殘念
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9 h$ R' w+ I5 S1 l7 v9 D$ n4 S[ 本帖最後由 yhchang 於 2008-2-4 10:49 PM 編輯 ] |
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